Δακτύλιος επικαλυμμένου με TAC

Το Veteksemi TAC επικαλυμμένο δακτύλιο είναι ένα συστατικό υψηλής απόδοσης προσαρμοσμένο για διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Η μοναδικά σχεδιασμένη επίστρωση καρβιδίου του ταντάλου (TAC) δίνει στο προϊόν εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση και μηχανική σταθερότητα, βελτιώνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής και την αξιοπιστία των εξαρτημάτων γραφίτη στον εξοπλισμό ημιαγωγών.

Ανώτερη απόδοση των επικαλύψεων καρβιδίου tantalum:

● Αντίσταση θερμοκρασίας εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας: Οι επικαλύψεις TAC μπορούν εύκολα να αντέξουν τις ακραίες θερμοκρασίες μέχρι 2200 ° C και να παραμείνουν σταθερές σε περιβάλλοντα θερμικού σοκ κοινού στην κατασκευή ημιαγωγών.

● Εξαιρετική χημική σταθερότητα: Η επικάλυψη παρουσιάζει ισχυρή αντίσταση σε κοινά διαβρωτικά αέρια όπως υδρογόνο, αμμωνία, σιλάνη και πυρίτιο, προστατεύοντας αποτελεσματικά το υπόστρωμα από χημική επίθεση.

● Εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες: Η επικάλυψη TAC έχει υψηλή σκληρότητα, υψηλή αντοχή στη φθορά και καλή αντοχή σε θερμικό σοκ και μπορεί να λειτουργήσει σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα κάτω από σκληρές συνθήκες εργασίας.

● Εξαιρετική προσκόλληση: Η επικάλυψη είναι στενά συνδεδεμένη με το υπόστρωμα γραφίτη, εμποδίζοντας αποτελεσματικά την επικάλυψη να ξεφλουδίζει και να εξασφαλίζει συνεπή απόδοση καθ 'όλη τη διάρκεια ζωής του προϊόντος.

● Υψηλή καθαρότητα: Η επίστρωση TAC που παρασκευάζεται από την CVD έχει εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, η οποία ελαχιστοποιεί την εισαγωγή ακαθαρσιών και παρέχει ένα καθαρό περιβάλλον διεργασίας για την κατασκευή ημιαγωγών.

Πλεονεκτήματα των δακτυλίων επικαλυμμένων με καρβίδιο Tantalum:

● Ζωή εκτεταμένου εξοπλισμού: Η επικάλυψη TAC εμποδίζει αποτελεσματικά τις χημικές αντιδράσεις και τη διάχυση των ακαθαρσιών, επεκτείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων γραφίτη και μειώνοντας το κόστος συντήρησης.

● Βελτίωση της αποδοτικότητας παραγωγής: Η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία του προϊόντος και η αντίσταση στη διάβρωση του επιτρέπουν να λειτουργεί υπό πιο απαιτητικές συνθήκες, συντομεύοντας τον κύκλο παραγωγής και αυξάνοντας την παραγωγική ικανότητα.

● Βελτιωμένη ποιότητα προϊόντος: Η επικάλυψη TAC υψηλής καθαρότητας βοηθά στη μείωση της μόλυνσης, εξασφαλίζοντας την ποιότητα και τη συνοχή των προϊόντων ημιαγωγών.

Το Vetek Semiconductor έχει εξειδικευτεί σε προϊόντα επίστρωσης TAC όπωςΤσακ επικάλυψη TAC, Πλάκα περιστροφής επικάλυψης TAC, TAC Coating Subser, Επικαλυμμένο με TAC Sensceptorγια πολλά χρόνια. Τα προϊόντα δακτυλίων με επικαλυμμένη με TAC έχουν τις λειτουργίες της διάρκειας ζωής του εκτεταμένου εξοπλισμού, τη βελτίωση της αποδοτικότητας της παραγωγής και τη βελτιωμένη ποιότητα του προϊόντος. Ταυτόχρονα, η Vetek Semiconductor έχει δεσμευτεί από καιρό να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. 

Λόγω των διαφορετικών χημικών ιδιοτήτων των υλικών καρβιδίου γραφίτη και τανταλίου, ο συντελεστής θερμικής διαστολής δεν θα ταιριάζει και είναι εύκολο να θερμαίνεται σε υψηλής θερμοκρασίας με το ημιαγωγό Vetek μέσω μιας συγκεκριμένης διαδικασίας για την προώθηση του σχηματισμού της επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου που εναποτίθεται εν μέρει στην επιφάνεια της μήτρας και εν μέρει διεισδύει σε γραφήτη με το στρώμα. Με αυτόν τον τρόπο, η επίστρωση καρβιδίου του ταντάλου είναι σφιχτά ένθετη στη μήτρα γραφίτη μέσω της επιτόπιας ανάπτυξης, η οποία αυξάνει σημαντικά τη δύναμη δέσμευσης μεταξύ της επίστρωσης και της μήτρας και εμποδίζει αποτελεσματικά το ξεφλούδισμα της επικάλυψης καρβιδίου του ταντάλου.

Καταστήματα δακτυλίων επικαλυμμένων με καρβίδιο: