TAC Coating Subser

Vetek Semiconductor's TAC Coated Sensceptor καιΕπικαλυμμένο με TACδαχτυλίδιΣυνεργαστείτε στον αντιδραστήρα επιταξιακής ανάπτυξης καρβιδίου LPE Silicon:

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας: ΤοΕπίστρωση TACΟ Sensceptor έχει εξαιρετική αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας, ικανή να αντέξει τις ακραίες θερμοκρασίες μέχρι 1500 ° C στοΑντιδραστήρας LPE. Αυτό εξασφαλίζει ότι ο εξοπλισμός και τα εξαρτήματα δεν παραμορφώνονται ή υποβάλλονται σε ζημιά κατά τη διάρκεια της μακροπρόθεσμης λειτουργίας.

● Χημική σταθερότητα: Το TAC Coating Sensceptor εκτελεί εξαιρετικά καλά στο περιβάλλον ανάπτυξης καρβιδίου του διαβρωτικού πυριτίου, προστατεύοντας αποτελεσματικά τα συστατικά του αντιδραστήρα από τη διαβρωτική χημική επίθεση, επεκτείνοντας έτσι τη διάρκεια ζωής τους.

● Θερμική σταθερότητα: Το TAC Coating Sensceptor έχει καλή θερμική σταθερότητα, διατηρώντας την επιφανειακή μορφολογία και την τραχύτητα για να εξασφαλιστεί η ομοιομορφία του πεδίου θερμοκρασίας στον αντιδραστήρα, ο οποίος είναι επωφελής για την ανάπτυξη υψηλής ποιότητας των επιταξιακών στρωμάτων καρβιδίου πυριτίου.

● Αντι-μόλυνση: Η ομαλή επιφανειακή επιφάνεια TAC και η ανώτερη απόδοση TPD (προγραμματισμένη εκρόφηση θερμοκρασίας) μπορούν να ελαχιστοποιήσουν τη συσσώρευση και την προσρόφηση σωματιδίων και ακαθαρσιών μέσα στον αντιδραστήρα, αποτρέποντας τη μόλυνση των επιταξιακών στρωμάτων.

Συνοπτικά, ο επικαλυμμένος με TAC Sensceptor και ο Ring διαδραματίζουν έναν κρίσιμο προστατευτικό ρόλο στον επιταξιακό αντιδραστήρα επιταξιακής ανάπτυξης του πυριτίου LPE, εξασφαλίζοντας τη μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία του εξοπλισμού και την υψηλής ποιότητας ανάπτυξη των επιταξιακών στρωμάτων.