Δακτύλιος επικαλυμμένου με καρβίδιο του ταντάλου

Το Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Ring είναι κατασκευασμένο απόγραφίτηςκαι επικαλυμμένο με καρβίδιο tantalum, έναν συνδυασμό που αξιοποιεί τις καλύτερες ιδιότητες και των δύο υλικών για να εξασφαλίσει ανώτερη απόδοση και μακροζωία. 

Η επίστρωση TAC στον δακτύλιο επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου εξασφαλίζει ότι παραμένει χημικά αδρανή στις αντιδραστικές ατμόσφαιρες των κλιβάνων ανάπτυξης κρυστάλλων SIC, οι οποίες συχνά περιλαμβάνουν αέρια όπως υδρογόνο, αργό και άζωτο. Αυτή η χημική αδράνεια είναι ζωτικής σημασίας για την πρόληψη οποιασδήποτε μόλυνσης του αναπτυσσόμενου κρυστάλλου, γεγονός που θα μπορούσε να οδηγήσει σε ελαττώματα και μειωμένη απόδοση των τελικών προϊόντων ημιαγωγών. Επιπλέον, η θερμική σταθερότητα που παρέχεται από την επικάλυψη TAC επιτρέπει στον δακτύλιο επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου να λειτουργεί αποτελεσματικά στις υψηλές θερμοκρασίες που απαιτούνται για την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC, συνήθως υπερβαίνει τους 2000 ° C.

Η πυκνή και ομοιόμορφη επίστρωση TAC μπορεί να παρασκευαστεί στην επιφάνεια γραφίτη με ψεκασμό πλάσματος, μέθοδο CVD και μέθοδο πυροσυσσωμάτωσης, αλλά η μέθοδος ψεκασμού πλάσματος έχει υψηλές απαιτήσεις εξοπλισμού και σχηματισμό TA2C. Είναι δύσκολο να προετοιμαστεί σύνθετη επικάλυψη με μέθοδο πυροσυσσωμάτωσης ιλύος και η αντοχή θερμικής σοκ της επίστρωσης είναι φτωχή. Η επικάλυψη που παρασκευάζεται με μέθοδο CVD έχει ελεγχόμενη σύνθεση και υψηλότερη πυκνότητα, η οποία είναι μια κοινή μέθοδος επίστρωσης καρβιδίου ταντάλου επί του παρόντος.

Οι μηχανικές ιδιότητες του TAC μειώνουν σημαντικά τη φθορά στο δακτύλιο επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου. Αυτό είναι κρίσιμο λόγω της επαναλαμβανόμενης φύσης της διαδικασίας ανάπτυξης κρυστάλλων, η οποία εκθέτει τον δακτύλιο οδηγών σε συχνές θερμικές κύκλους και μηχανικές τάσεις. Η σκληρότητα και η αντοχή της φθοράς της TAC εξασφαλίζουν ότι ο δακτύλιος με επικάλυψη TAC διατηρεί τη δομική ακεραιότητα και τις ακριβείς διαστάσεις σε μεγάλες περιόδους, ελαχιστοποιώντας την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις και μείωση του χρόνου διακοπής της παραγωγής στη διαδικασία παραγωγής. 

Η χύδην πυκνότητα της επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου είναι 14,3gm/cm3, εκπομπή 0,3, η σκληρότητα είναι 2000hk, το σημείο τήξης είναι 3950s ℃ και οι καλές φυσικές ιδιότητες έχουν επιλεγεί ως κοινό υλικό για την τρίτη γενιά ημιαγωγών.

Επιπλέον, ο συνδυασμός γραφίτη και TAC στο δακτύλιο επίστρωσης καρβιδίου του ταντάλου βελτιστοποιεί τη θερμική διαχείριση μέσα στον κλίβανο της κρυστάλλου. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη διανέμεται αποτελεσματικά θερμότητα, εμποδίζοντας τα hotspots και προωθώντας την ομοιόμορφη ανάπτυξη κρυστάλλων. Εν τω μεταξύ, η επίστρωση TAC χρησιμεύει ως θερμικό φράγμα, προστατεύοντας τον πυρήνα γραφίτη από άμεση έκθεση σε υψηλές θερμοκρασίες και αντιδραστικά αέρια. Αυτή η συνέργεια μεταξύ του πυρήνα και των υλικών επικάλυψης έχει ως αποτέλεσμα έναν οδηγό δακτύλιο που όχι μόνο αντέχει στις σκληρές συνθήκες τουΑνάπτυξη κρυστάλλωναλλά επίσης ενισχύει τη συνολική αποτελεσματικότητα και την ποιότητα της διαδικασίας.

Το Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Ring είναι ένα βασικό συστατικό στη βιομηχανία ημιαγωγών, ειδικά σχεδιασμένο για την ανάπτυξη τουΚρυστάλλοι καρβιδίου πυριτίου. Ο σχεδιασμός του αξιοποιεί τα πλεονεκτήματα του γραφίτη και του καρβιδίου Tantalum για να προσφέρει εξαιρετικές επιδόσεις σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής πίεσης. Η επικάλυψη TAC εξασφαλίζει χημική αδράνεια, μηχανική ανθεκτικότητα και θερμική σταθερότητα, τα οποία είναι κρίσιμα για την παραγωγή κρυστάλλων SIC υψηλής ποιότητας. Διατηρώντας την ακεραιότητα και τη λειτουργικότητά του υπό ακραίες συνθήκες, ο δακτύλιος υποστηρίζει την αποτελεσματική και χωρίς ελάττωμα την ανάπτυξη των κρυστάλλων SIC, συμβάλλοντας στην πρόοδο των συσκευών ημιαγωγών υψηλής ισχύος και υψηλής συχνότητας.

Το Vetek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής τουΕπίστρωση καρβιδίου του ταντάλου, Επίστρωση καρβιδίου πυριτίουκαιΕιδικός γραφίτηςστην Κίνα. Έχουμε από καιρό δεσμευτεί να παρέχουμε προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και ελπίζουμε ειλικρινά να είναι ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Επικάλυψη καρβιδίου tantalum (TAC)Σε μικροσκοπική διατομή：

Επισκόπηση τουΗ αλυσίδα βιομηχανίας επιταξίας ημιαγωγών τσιπ：