Δαχτυλίδι χαλαζία υψηλής καθαρότητας

1.Βασικά Χαρακτηριστικά & Πλεονεκτήματα

• Αφυδροξυλιωμένος λιωμένος χαλαζίας ποιότητας ημιαγωγών με SiO2 ≥ 99,999% και αυστηρά ελεγχόμενες μεταλλικές ακαθαρσίες

• Σταθερή συνεχής λειτουργία έως 1100 °C, με βραχυπρόθεσμη ικανότητα κοντά στους 1200 °C

• Ισχυρή αντίσταση σε χημικές χημικές ουσίες με βάση το φθόριο και το χλώριο και την έκθεση στο πλάσμα υψηλής ενέργειας

• Χαμηλή θερμική διαστολή και καλή απόδοση θερμικού σοκ κάτω από επαναλαμβανόμενους κύκλους θερμοκρασίας θαλάμου

• Χαμηλή απαέρωση υπό κενό για προστασία της πίεσης της βάσης του θαλάμου και της σύνθεσης αερίου διεργασίας

• Έλεγχος διαστάσεων σε επίπεδο Micron με γυαλισμένες επιφάνειες επαφής για σταθερή εφαρμογή θαλάμου και ορισμό ορίων πλάσματος

• Σχέδια με δυνατότητα διαμόρφωσης: επίπεδοι δακτύλιοι, βαθμιδωτοί δακτύλιοι χάραξης, δακτύλιοι εντοπισμού/συγκράτησης και πλήρως προσαρμοσμένα προφίλ για μεγάλες πλατφόρμες εργαλείων χάραξης

2.Τυπικές Εφαρμογές

Οι δακτύλιοι χάραξης υψηλής καθαρότητας χαλαζία χρησιμοποιούνται σε θαλάμους επεξεργασίας ξηρού πλάσματος για:

• Βήματα χάραξης πλάσματος λογικής και μνήμης

• Διεργασίες χάραξης συσκευών ισχύος SiC και GaN

• Χαρακτική δομής υψηλής αναλογίας

• Επεξεργασία πλάσματος οπτικού και σύνθετου ημιαγωγού υποστρώματος

• Προηγμένη χάραξη πλάσματος συσκευασίας και σχετικά βήματα καθαρισμού

• RIE / ICP εργαστηριακά εργαλεία και εργαλεία χάραξης παραγωγής

3.Βασικές Τεχνικές Παράμετροι

• Υλικό: αφυδροξυλιωμένος λιωμένος χαλαζίας ποιότητας ημιαγωγών, SiO2 ≥ 99,999%

• Συμβατότητα γκοφρέτας: πυρίτιο 2 / 4 / 6 / 8 / 12 ιντσών, SiC, GaN και ζαφείρι

• Θερμοκρασία λειτουργίας: −20 °C έως 1100 °C συνεχής. βραχυπρόθεσμη κορυφή περίπου 1200 °C

• Βασικές λειτουργίες: περιορισμός άκρων πλάσματος, καθοδήγηση ροής αερίου, προστασία άκρων και απομόνωση θαλάμου

• Ποιότητα κατεργασίας: ανοχές σε επίπεδο micron, γυαλισμένες επιφάνειες, ελεγχόμενες άκρες και καθαρό φινίρισμα

• Επιλογές δομής: επίπεδος δακτύλιος, βαθμιδωτός δακτύλιος χάραξης, δακτύλιος εντοπισμού/συγκράτησης και προσαρμοσμένες γεωμετρίες

• Προσαρμογή: εξωτερική/εσωτερική διάμετρος, πάχος, ύψος βήματος, χαρακτηριστικά εντοπισμού, λοξοτομές και λεπτομέρειες διεπαφής ανά σχέδιο

4.Γιατί να επιλέξετε δαχτυλίδια χαλαζία υψηλής καθαρότητας VeTek Etch;

Η VeTek Semiconductor προμηθεύει υλικό χαλαζία κρίσιμης σημασίας για τη διαδικασία για εργαλεία χάραξης και θερμικών εργαλείων. Για τους δακτυλίους χάραξης, η εστίαση είναι:

• Η καθαρότητα του υλικού και η καθαριότητα της επιφάνειας είναι κατάλληλα για προηγμένα περιβάλλοντα ξηρής χάραξης

• Ακρίβεια διαστάσεων που υποστηρίζει σταθερό έλεγχο των ορίων πλάσματος και επαναλαμβανόμενη εφαρμογή θαλάμου

• Ευελιξία σχεδιασμού για αντικατάσταση τύπου OEM και πλήρως προσαρμοσμένες διεπαφές θαλάμου

• Μια πλήρης σειρά εξαρτημάτων χαλαζία που περιλαμβάνει επίσης δοχεία γκοφρέτας, σωλήνες φούρνου, βάρκες και σχετικά εξαρτήματα διεργασίας

Συνδυάζοντας υψηλή καθαρότητα, ανθεκτικότητα πλάσματος και αυστηρό έλεγχο γεωμετρίας, οι δακτύλιοι χάραξης υψηλής καθαρότητας VeTek συμβάλλουν στη βελτίωση της ομοιομορφίας χάραξης σε όλη την επιφάνεια, μειώνουν τα ελαττώματα που σχετίζονται με τις άκρες και υποστηρίζουν μεγαλύτερους, πιο σταθερούς κύκλους παραγωγής σε εργαλεία χάραξης ξηρού πλάσματος.