Μενού Ιστού

Αναζήτηση προϊόντων

Γλώσσα

Προϊόντα

Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης

Οι κλιβάνοι οξείδωσης και διάχυσης χρησιμοποιούνται σε διάφορα πεδία όπως συσκευές ημιαγωγών, διακριτές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, ηλιακά κύτταρα και πλήρη παραγωγή ολοκληρωμένου κυκλώματος μεγάλης κλίμακας. Χρησιμοποιούνται για διαδικασίες, όπως διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση, κράμα και πυροσυσσωμάτωση των πλακιδίων.


Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής που ειδικεύεται στην παραγωγή γραφίτη υψηλής καθαρότητας, καρβιδίου πυριτίου και χαλαζία σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε εξαρτήματα φούρνου υψηλής ποιότητας για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών και βρίσκονται στην πρώτη γραμμή της τεχνολογίας επιφανειακής επικάλυψης, όπως CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon κ.λπ.


Τα πλεονεκτήματα των συστατικών καρβιδίου Silicon Silicon Vetek:

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας (έως 1600 ℃)

● Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και θερμική σταθερότητα

● Καλή χημική αντοχή στη διάβρωση

● Χαμηρός συντελεστής θερμικής επέκτασης

● Υψηλή δύναμη και σκληρότητα

● Μεγάλη διάρκεια ζωής


Στους κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, λόγω της παρουσίας υψηλής θερμοκρασίας και των διαβρωτικών αερίων, πολλά συστατικά απαιτούν τη χρήση ανθεκτικών σε υλικά υψηλής θερμοκρασίας και ανθεκτικά στη διάβρωση, μεταξύ των οποίων το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) είναι μια επιλογή που χρησιμοποιείται συνήθως. Τα παρακάτω είναι τα κοινά συστατικά καρβιδίου πυριτίου που βρίσκονται σε κλιβάνους οξείδωσης και φούρνους διάχυσης:



● σκάφος πλακιδίων

Το σκάφος πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου είναι ένα δοχείο που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακών πυριτίου, τα οποία μπορούν να αντέξουν σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν θα αντιδράσουν με πλακίδια πυριτίου.


● Σωλήνας φούρνου

Ο σωλήνας του κλιβάνου είναι το συστατικό πυρήνα του κλιβάνου διάχυσης, που χρησιμοποιείται για την προσαρμογή των θαλάσσιων πλακών και τον έλεγχο του περιβάλλοντος αντίδρασης. Οι σωλήνες φούρνου καρβιδίου πυριτίου έχουν εξαιρετική απόδοση υψηλής θερμοκρασίας και αντοχής στη διάβρωση.


● Πλάκα διαφυγής

Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της ροής αέρα και της κατανομής θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο


● Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείων

Χρησιμοποιείται για την προστασία των θερμοστοιχείων μέτρησης της θερμοκρασίας από άμεση επαφή με διαβρωτικά αέρια.


● Κουπί

Τα κουτάκια του καρβιδίου του πυριτίου είναι ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση και χρησιμοποιούνται για τη μεταφορά σκαφών πυριτίου ή σκάφη χαλαζία που μεταφέρουν πλακίδια πυριτίου στους σωλήνες διάχυσης.


● Εγκεκέλτιος αερίου

Χρησιμοποιείται για την εισαγωγή αερίου αντίδρασης στον κλίβανο, πρέπει να είναι ανθεκτικό στη υψηλή θερμοκρασία και τη διάβρωση.


● Μεταφορέας σκαφών

Ο μεταφορέας σκαφών με καραμέλα πυριτίου χρησιμοποιείται για να διορθώσει και να υποστηρίξει τα πλακίδια πυριτίου, τα οποία έχουν πλεονεκτήματα όπως η υψηλή αντοχή, η αντίσταση στη διάβρωση και η καλή δομική σταθερότητα.


● Πόρτα φούρνου

Οι επικαλύψεις ή τα εξαρτήματα του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο εσωτερικό της πόρτας του κλιβάνου.


● Στοιχείο θέρμανσης

Τα στοιχεία θέρμανσης καρβιδίου πυριτίου είναι κατάλληλα για υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή ισχύ και μπορούν γρήγορα να αυξήσουν τις θερμοκρασίες σε πάνω από 1000 ℃.


● Sic Liner

Χρησιμοποιείται για την προστασία του εσωτερικού τοίχου των σωλήνων του κλιβάνου, μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της απώλειας της θερμικής ενέργειας και να αντέξει σκληρά περιβάλλοντα όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή πίεση.

View as  
 
Μεταφορέας σκάφους υψηλής καθαρότητας SIC

Μεταφορέας σκάφους υψηλής καθαρότητας SIC

Το VeTek Semiconductor προσφέρει εξατομικευμένο μεταφορέα γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας. Κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, διαθέτει υποδοχές για να συγκρατεί τη γκοφρέτα στη θέση της, εμποδίζοντάς την να γλιστράει κατά την επεξεργασία. Η επίστρωση CVD SiC είναι επίσης διαθέσιμη εάν απαιτείται. Ως επαγγελματίας και ισχυρός κατασκευαστής και προμηθευτής ημιαγωγών, η VeTek Semiconductor's High purity Wafer Wafer SiC είναι ανταγωνιστική τιμή και υψηλή ποιότητα. Η VeTek Semiconductor ανυπομονεί να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Υψηλής καθαρότητας SIC Paddle Paddle

Υψηλής καθαρότητας SIC Paddle Paddle

Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντος Paddle High Purity SIC στην Κίνα. Τα κιβώτια υψηλής καθαρότητας SIC προβολής χρησιμοποιούνται συνήθως σε φούρνους διάχυσης ημιαγωγών ως πλατφόρμες μεταφοράς πλακιδίων ή φόρτωσης.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Κατακόρυφη στήλη και βάθρο και βάθρο

Κατακόρυφη στήλη και βάθρο και βάθρο

Η κάθετη στήλη Bofer Bofer και βάθρο του Vetek Semiconductor είναι κατασκευασμένο από υλικά από χαλαζία υψηλής καθαρότητας ή κεραμικά άνθρακα (SIC), με εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, χημική σταθερότητα και μηχανική αντοχή και αποτελεί αναπόσπαστο βασικό συστατικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Καλωσορίστε την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Συνεχής βάρκα

Συνεχής βάρκα

Το Vetek Semiconductor Lincowuous Wafer Boat είναι ένας προηγμένος εξοπλισμός για την επεξεργασία ημιαγωγών. Η δομή του προϊόντος έχει σχεδιαστεί προσεκτικά για να εξασφαλίσει αποτελεσματική επεξεργασία και παραγωγή δισκίων ακριβείας. Το Veteksemi υποστηρίζει προσαρμοσμένες λύσεις προϊόντων και προσβλέπει στη διαβούλευση σας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Οριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC

Οριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC

Η VeTek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής δακτυλίου οδηγού με επικάλυψη TaC, οριζόντιου φορέα γκοφρέτας SiC και υποδοχέων με επικάλυψη SiC στην Κίνα. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε τέλεια τεχνική υποστήριξη και απόλυτες λύσεις προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Καλώς ήρθατε να επικοινωνήσετε μαζί μας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
SiC Wafer Boat

SiC Wafer Boat

Το σκάφος SIC Wafer χρησιμοποιείται για τη μεταφορά του δισκίου, κυρίως για τη διαδικασία οξείδωσης και διάχυσης, για να διασφαλιστεί ότι η θερμοκρασία μπορεί να κατανεμηθεί ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου. Η σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και η υψηλή θερμική αγωγιμότητα των υλικών SIC εξασφαλίζουν αποτελεσματική και αξιόπιστη επεξεργασία ημιαγωγών. Η Vetek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
Συστάσεις ειδήσεων
Πόσο γνωρίζετε για το cvd sic; - Vetek Semiconductor
Πόσο γνωρίζετε για το cvd sic; - Vetek SemiconductorΔείτε περισσότερα >>
Διαδικασία ημιαγωγών: εναπόθεση χημικών ατμών (CVD)
Διαδικασία ημιαγωγών: εναπόθεση χημικών ατμών (CVD)Δείτε περισσότερα >>
Ποια είναι η επιταξιακή διαδικασία;
Ποια είναι η επιταξιακή διαδικασία;Δείτε περισσότερα >>
Έρευνα SIC SIC SIC και Homoepitaxial Process Research
Έρευνα SIC SIC SIC και Homoepitaxial Process ResearchΔείτε περισσότερα >>
Ποιο είναι το υλικό πυρήνα για την ανάπτυξη του SIC;
Ποιο είναι το υλικό πυρήνα για την ανάπτυξη του SIC;Δείτε περισσότερα >>
Νανοϋλικά καρβιδίου πυριτίου
Νανοϋλικά καρβιδίου πυριτίουΔείτε περισσότερα >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept