SIC PLANSVER

Ⅰ.Product Χρήση Επισκόπηση

Τα κουτάκια SIC Plonvers χρησιμοποιούνται κυρίως στον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών ως συστατικά στήριξης και μεταφοράς πλακιδίων. Η βασική του λειτουργία είναι να επεξεργάζεται σταθερά και με ακρίβεια τις δισκότητες πυριτίου υπό ακραίες συνθήκες διεργασίας, όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή διάβρωση, εξασφαλίζοντας μια ομαλή και αποτελεσματική διαδικασία παραγωγής.

Ⅱ.advantages και χαρακτηριστικά των υλικών SIC

Το SIC είναι ένα προηγμένο κεραμικό υλικό του οποίου οι εξαιρετικές φυσικές ιδιότητες του δίνουν ένα απαράμιλλο πλεονέκτημα στο πεδίο ημιαγωγών. Τα παρακάτω είναι οι βασικές φυσικές παράμετροι που σχετίζονται με τα κουτάκια SIC:

● Υψηλή καθαρότητα: Η χρήση υλικού SIC υψηλής καθαρότητας μπορεί να ελαχιστοποιήσει τη μόλυνση της διαδικασίας και να βελτιώσει την απόδοση του προϊόντος.

● Εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Το SIC έχει σημείο τήξης μέχρι 2830 ° C, το οποίο του επιτρέπει να διατηρεί δομική ακεραιότητα σε ακραία θερμοκρασία περιβάλλοντα όπως η χάραξη στο πλάσμα και η ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας και η μακροπρόθεσμη θερμοκρασία λειτουργίας μπορεί να φτάσει πάνω από 1000 ° C.

● Υψηλή σκληρότητα και αντίσταση φθοράς: Η σκληρότητα του Mohs είναι 9-9.5, δεύτερη μόνο στο Diamond, δίνοντας SIC Pansver Paddles εξαιρετική αντοχή στη φθορά και διατηρώντας τη σταθερότητα διαστάσεων κατά τη διάρκεια της μετάδοσης δίσκων υψηλής συχνότητας.

● Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: Η θερμική αγωγιμότητα των κεραμικών SIC είναι τόσο υψηλή όσο 120-250 β/(M · K) (τυπική τιμή), η οποία μπορεί γρήγορα να διαλύσει τη θερμότητα και να αποφύγει την τοπική υπερθέρμανση που μπορεί να βλάψει το δίσκο.

● χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: Ο συντελεστής χαμηλής θερμικής διαστολής (περίπου 4,0 × 10⁻⁶ /k) εξασφαλίζει σταθερότητα διαστάσεων όταν η θερμοκρασία αλλάζει, αποφεύγει το στρες που προκαλείται από τη θερμική επέκταση και τη συστολή και συνεπώς μειώνει τον κίνδυνο βλάβης του δίσκου.

Ⅲ. Σενάρια εφαρμογής των κουπιών SIC

Οι μοναδικές ιδιότητες των πετάλων SIC Playver τους επιτρέπουν να διαδραματίσουν βασικό ρόλο σε πολλαπλούς συνδέσμους κατασκευής ημιαγωγών:

● Εξοπλισμός χάραξης πλάσματος: Στον θάλαμο χάραξης πλάσματος, τα κιβώτια SIC προβολής χρησιμεύουν ως υποστηρίγματα πλακιδίων, τα οποία μπορούν να αντέξουν τη βομβαρδισμό του πλάσματος και τη διαβρωτική διάβρωση του αερίου, διατηρώντας παράλληλα τη σταθερότητα διαστάσεων, εξασφαλίζοντας την ακρίβεια χάραξης και την επέκταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού.

● Εξοπλισμός εναπόθεσης λεπτού φιλμ (CVD/PVD): Στη διαδικασία της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και της φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), χρησιμοποιούνται κουτάκια SIC για την υποστήριξη των πλακών. Η εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και η θερμική αγωγιμότητα βοηθούν στην ομοιόμορφα θερμαντικά των πλακών και την πρόληψη της μόλυνσης των σωματιδίων που παράγεται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης λεπτού μεμβράνης.

● Σύστημα μεταφοράς πλακιδίων: Στο αυτοματοποιημένο σύστημα μεταφοράς πλακιδίων, τα κουτάκια SIC μπορούν να αντέξουν τη μηχανική κίνηση υψηλής συχνότητας λόγω της υψηλής σκληρότητας και της αντίστασης της φθοράς τους, εξασφαλίζοντας την ακριβή και γρήγορη μεταφορά των πλακών μεταξύ διαφορετικών θαλάμων διεργασιών, μειώνοντας τον κίνδυνο βλάβης και μόλυνσης.

● Διαδικασία ανόπτησης υψηλής θερμοκρασίας: Στον φούρνο ανόπτησης υψηλής θερμοκρασίας, τα κουτάκια SIC μπορούν να αντέξουν τα περιβάλλοντα θερμοκρασίας εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας, να παρέχουν σταθερή υποστήριξη για τα πλακίδια και να εξασφαλίσουν την ομοιομορφία και την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας ανόπτησης.

Το Veteksemicon γνωρίζει καλά τις αυστηρές απαιτήσεις των διαδικασιών ημιαγωγών για την ποιότητα του προϊόντος. Ως εκ τούτου, υποστηρίζουμε προσαρμοσμένες υπηρεσίες και μπορούμε να παρέχουμε προσαρμοσμένο σχεδιασμό και παραγωγή κουπιών SIC σύμφωνα με τον συγκεκριμένο εξοπλισμό και τις απαιτήσεις της διαδικασίας. Και θα ελέγξουμε επίσης τον αυστηρό έλεγχο ποιότητας για να διασφαλίσουμε ότι κάθε προϊόν υφίσταται αυστηρές επιθεωρήσεις ποιότητας για να διασφαλίσει ότι πληροί τα υψηλότερα πρότυπα της βιομηχανίας.

Το πιο σημαντικό, η τεχνική ομάδα του Vetek Semiconductor θα σας προσφέρει ολοκληρωμένες τεχνικές διαβουλεύσεις και λύσεις προϊόντων. Η επιλογή του Paddle του SIC SIC σημαίνει ότι επιλέγετε υψηλότερη αποτελεσματικότητα παραγωγής, μεγαλύτερη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού και καλύτερη απόδοση προϊόντων. Ανυπομονώ για την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.