Προϊόντα

Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης

Οι κλιβάνοι οξείδωσης και διάχυσης χρησιμοποιούνται σε διάφορα πεδία όπως συσκευές ημιαγωγών, διακριτές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, ηλιακά κύτταρα και πλήρη παραγωγή ολοκληρωμένου κυκλώματος μεγάλης κλίμακας. Χρησιμοποιούνται για διαδικασίες, όπως διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση, κράμα και πυροσυσσωμάτωση των πλακιδίων.


Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής που ειδικεύεται στην παραγωγή γραφίτη υψηλής καθαρότητας, καρβιδίου πυριτίου και χαλαζία σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε εξαρτήματα φούρνου υψηλής ποιότητας για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών και βρίσκονται στην πρώτη γραμμή της τεχνολογίας επιφανειακής επικάλυψης, όπως CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon κ.λπ.


Τα πλεονεκτήματα των συστατικών καρβιδίου Silicon Silicon Vetek:

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας (έως 1600 ℃)

● Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και θερμική σταθερότητα

● Καλή χημική αντοχή στη διάβρωση

● Χαμηρός συντελεστής θερμικής επέκτασης

● Υψηλή δύναμη και σκληρότητα

● Μεγάλη διάρκεια ζωής


Στους κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, λόγω της παρουσίας υψηλής θερμοκρασίας και των διαβρωτικών αερίων, πολλά συστατικά απαιτούν τη χρήση ανθεκτικών σε υλικά υψηλής θερμοκρασίας και ανθεκτικά στη διάβρωση, μεταξύ των οποίων το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) είναι μια επιλογή που χρησιμοποιείται συνήθως. Τα παρακάτω είναι τα κοινά συστατικά καρβιδίου πυριτίου που βρίσκονται σε κλιβάνους οξείδωσης και φούρνους διάχυσης:



● σκάφος πλακιδίων

Το σκάφος πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου είναι ένα δοχείο που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακών πυριτίου, τα οποία μπορούν να αντέξουν σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν θα αντιδράσουν με πλακίδια πυριτίου.


● Σωλήνας φούρνου

Ο σωλήνας του κλιβάνου είναι το συστατικό πυρήνα του κλιβάνου διάχυσης, που χρησιμοποιείται για την προσαρμογή των θαλάσσιων πλακών και τον έλεγχο του περιβάλλοντος αντίδρασης. Οι σωλήνες φούρνου καρβιδίου πυριτίου έχουν εξαιρετική απόδοση υψηλής θερμοκρασίας και αντοχής στη διάβρωση.


● Πλάκα διαφυγής

Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της ροής αέρα και της κατανομής θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο


● Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείων

Χρησιμοποιείται για την προστασία των θερμοστοιχείων μέτρησης της θερμοκρασίας από άμεση επαφή με διαβρωτικά αέρια.


● Κουπί

Τα κουτάκια του καρβιδίου του πυριτίου είναι ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση και χρησιμοποιούνται για τη μεταφορά σκαφών πυριτίου ή σκάφη χαλαζία που μεταφέρουν πλακίδια πυριτίου στους σωλήνες διάχυσης.


● Εγκεκέλτιος αερίου

Χρησιμοποιείται για την εισαγωγή αερίου αντίδρασης στον κλίβανο, πρέπει να είναι ανθεκτικό στη υψηλή θερμοκρασία και τη διάβρωση.


● Μεταφορέας σκαφών

Ο μεταφορέας σκαφών με καραμέλα πυριτίου χρησιμοποιείται για να διορθώσει και να υποστηρίξει τα πλακίδια πυριτίου, τα οποία έχουν πλεονεκτήματα όπως η υψηλή αντοχή, η αντίσταση στη διάβρωση και η καλή δομική σταθερότητα.


● Πόρτα φούρνου

Οι επικαλύψεις ή τα εξαρτήματα του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο εσωτερικό της πόρτας του κλιβάνου.


● Στοιχείο θέρμανσης

Τα στοιχεία θέρμανσης καρβιδίου πυριτίου είναι κατάλληλα για υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή ισχύ και μπορούν γρήγορα να αυξήσουν τις θερμοκρασίες σε πάνω από 1000 ℃.


● Sic Liner

Χρησιμοποιείται για την προστασία του εσωτερικού τοίχου των σωλήνων του κλιβάνου, μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της απώλειας της θερμικής ενέργειας και να αντέξει σκληρά περιβάλλοντα όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή πίεση.

View as  
 
Σκάφος πλακιδίου πυριτίου

Σκάφος πλακιδίου πυριτίου

Το σκάφος καραμπιδικού πυριτίου υψηλής καθαρότητας του Vetek Semiconductor είναι κατασκευασμένο από εξαιρετικά καθαρό υλικό καρβιδίου πυριτίου με εξαιρετική θερμική σταθερότητα, μηχανική αντοχή και χημική αντοχή. Το σκάφος πλακιδίων υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται σε εφαρμογές ζεστού ζώνη στην κατασκευή ημιαγωγών, ειδικά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, και διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στην προστασία των πλακών, στη μεταφορά υλικών και στη διατήρηση σταθερών διεργασιών. Το Vetek Semiconductor θα συνεχίσει να εργάζεται σκληρά για να καινοτομήσει και να βελτιώσει την απόδοση του καυσίμου καραμελίου υψηλής καθαρότητας για να καλύψει τις εξελισσόμενες ανάγκες της κατασκευής ημιαγωγών. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα. Φαίνεται ελεύθερος να μας ρωτήσω.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept