Κλίβανος Οξείδωσης και Διάχυσης

Οι Φούρνοι Οξείδωσης και Διάχυσης χρησιμοποιούνται σε διάφορους τομείς όπως συσκευές ημιαγωγών, διακριτές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, ηλιακά κύτταρα και μεγάλης κλίμακας κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Χρησιμοποιούνται για διεργασίες που περιλαμβάνουν διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση, κράμα και πυροσυσσωμάτωση δισκίων.

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής που ειδικεύεται στην παραγωγή εξαρτημάτων γραφίτη υψηλής καθαρότητας, καρβιδίου του πυριτίου και χαλαζία σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε εξαρτήματα κλιβάνων υψηλής ποιότητας για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών και βρισκόμαστε στην πρώτη γραμμή της τεχνολογίας επίστρωσης επιφανειών, όπως CVD-SiC, CVD-TaC, πυρογονάνθρακες κ.λπ.

Τα πλεονεκτήματα των εξαρτημάτων καρβιδίου του πυριτίου VeTek Semiconductor:

Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία (έως 1600℃)

Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και θερμική σταθερότητα

Καλή αντοχή στη χημική διάβρωση

Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής

Υψηλή αντοχή και σκληρότητα

Μεγάλη διάρκεια ζωής

Σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, λόγω της παρουσίας υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικών αερίων, πολλά εξαρτήματα απαιτούν τη χρήση υλικών υψηλής θερμοκρασίας και αντοχής στη διάβρωση, μεταξύ των οποίων το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη επιλογή. Τα ακόλουθα είναι κοινά συστατικά καρβιδίου του πυριτίου που βρίσκονται σε κλιβάνους οξείδωσης και κλιβάνους διάχυσης:

Βάρκα με γκοφρέτα

Το σκάφος γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου είναι ένα δοχείο που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά γκοφρέτες πυριτίου, οι οποίες αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν αντιδρούν με γκοφρέτες πυριτίου.

Σωλήνας φούρνου

Ο σωλήνας του κλιβάνου είναι το βασικό συστατικό του κλιβάνου διάχυσης, που χρησιμοποιείται για την υποδοχή πλακών πυριτίου και τον έλεγχο του περιβάλλοντος αντίδρασης. Οι σωλήνες κλιβάνου καρβιδίου του πυριτίου έχουν εξαιρετική απόδοση σε υψηλή θερμοκρασία και αντοχή στη διάβρωση.

Πλάκα διαφράγματος

Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της ροής αέρα και της κατανομής θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο

Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείου

Χρησιμοποιείται για την προστασία των θερμοστοιχείων μέτρησης θερμοκρασίας από την άμεση επαφή με διαβρωτικά αέρια.

Πρόβολο Κουπί

Τα κουπιά προβόλου από καρβίδιο πυριτίου είναι ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση και χρησιμοποιούνται για τη μεταφορά πλοίων πυριτίου ή σκαφών χαλαζία που μεταφέρουν γκοφρέτες πυριτίου στους σωλήνες του κλιβάνου διάχυσης.

Ψεκαστήρας αερίου

Χρησιμοποιείται για την εισαγωγή αερίου αντίδρασης στον κλίβανο, πρέπει να είναι ανθεκτικό σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση.

Μεταφορέας σκαφών

Ο φορέας βάρκας γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται για τη στερέωση και τη στήριξη πλακών πυριτίου, οι οποίες έχουν πλεονεκτήματα όπως υψηλή αντοχή, αντοχή στη διάβρωση και καλή δομική σταθερότητα.

Πόρτα Φούρνου

Επιστρώσεις ή εξαρτήματα καρβιδίου του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο εσωτερικό της πόρτας του κλιβάνου.

Στοιχείο θέρμανσης

Τα θερμαντικά στοιχεία καρβιδίου του πυριτίου είναι κατάλληλα για υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή ισχύ και μπορούν να αυξήσουν γρήγορα τις θερμοκρασίες σε πάνω από 1000℃.

SiC Liner

Χρησιμοποιείται για την προστασία του εσωτερικού τοιχώματος των σωλήνων κλιβάνου, μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της απώλειας θερμικής ενέργειας και να αντέχει σε σκληρά περιβάλλοντα όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή πίεση.