Μενού Ιστού

Αναζήτηση προϊόντων

Γλώσσα

Προϊόντα

Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης

Οι κλιβάνοι οξείδωσης και διάχυσης χρησιμοποιούνται σε διάφορα πεδία όπως συσκευές ημιαγωγών, διακριτές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, ηλιακά κύτταρα και πλήρη παραγωγή ολοκληρωμένου κυκλώματος μεγάλης κλίμακας. Χρησιμοποιούνται για διαδικασίες, όπως διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση, κράμα και πυροσυσσωμάτωση των πλακιδίων.


Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής που ειδικεύεται στην παραγωγή γραφίτη υψηλής καθαρότητας, καρβιδίου πυριτίου και χαλαζία σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε εξαρτήματα φούρνου υψηλής ποιότητας για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών και βρίσκονται στην πρώτη γραμμή της τεχνολογίας επιφανειακής επικάλυψης, όπως CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon κ.λπ.


Τα πλεονεκτήματα των συστατικών καρβιδίου Silicon Silicon Vetek:

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας (έως 1600 ℃)

● Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και θερμική σταθερότητα

● Καλή χημική αντοχή στη διάβρωση

● Χαμηρός συντελεστής θερμικής επέκτασης

● Υψηλή δύναμη και σκληρότητα

● Μεγάλη διάρκεια ζωής


Στους κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, λόγω της παρουσίας υψηλής θερμοκρασίας και των διαβρωτικών αερίων, πολλά συστατικά απαιτούν τη χρήση ανθεκτικών σε υλικά υψηλής θερμοκρασίας και ανθεκτικά στη διάβρωση, μεταξύ των οποίων το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) είναι μια επιλογή που χρησιμοποιείται συνήθως. Τα παρακάτω είναι τα κοινά συστατικά καρβιδίου πυριτίου που βρίσκονται σε κλιβάνους οξείδωσης και φούρνους διάχυσης:



● σκάφος πλακιδίων

Το σκάφος πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου είναι ένα δοχείο που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακών πυριτίου, τα οποία μπορούν να αντέξουν σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν θα αντιδράσουν με πλακίδια πυριτίου.


● Σωλήνας φούρνου

Ο σωλήνας του κλιβάνου είναι το συστατικό πυρήνα του κλιβάνου διάχυσης, που χρησιμοποιείται για την προσαρμογή των θαλάσσιων πλακών και τον έλεγχο του περιβάλλοντος αντίδρασης. Οι σωλήνες φούρνου καρβιδίου πυριτίου έχουν εξαιρετική απόδοση υψηλής θερμοκρασίας και αντοχής στη διάβρωση.


● Πλάκα διαφυγής

Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της ροής αέρα και της κατανομής θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο


● Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείων

Χρησιμοποιείται για την προστασία των θερμοστοιχείων μέτρησης της θερμοκρασίας από άμεση επαφή με διαβρωτικά αέρια.


● Κουπί

Τα κουτάκια του καρβιδίου του πυριτίου είναι ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση και χρησιμοποιούνται για τη μεταφορά σκαφών πυριτίου ή σκάφη χαλαζία που μεταφέρουν πλακίδια πυριτίου στους σωλήνες διάχυσης.


● Εγκεκέλτιος αερίου

Χρησιμοποιείται για την εισαγωγή αερίου αντίδρασης στον κλίβανο, πρέπει να είναι ανθεκτικό στη υψηλή θερμοκρασία και τη διάβρωση.


● Μεταφορέας σκαφών

Ο μεταφορέας σκαφών με καραμέλα πυριτίου χρησιμοποιείται για να διορθώσει και να υποστηρίξει τα πλακίδια πυριτίου, τα οποία έχουν πλεονεκτήματα όπως η υψηλή αντοχή, η αντίσταση στη διάβρωση και η καλή δομική σταθερότητα.


● Πόρτα φούρνου

Οι επικαλύψεις ή τα εξαρτήματα του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο εσωτερικό της πόρτας του κλιβάνου.


● Στοιχείο θέρμανσης

Τα στοιχεία θέρμανσης καρβιδίου πυριτίου είναι κατάλληλα για υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή ισχύ και μπορούν γρήγορα να αυξήσουν τις θερμοκρασίες σε πάνω από 1000 ℃.


● Sic Liner

Χρησιμοποιείται για την προστασία του εσωτερικού τοίχου των σωλήνων του κλιβάνου, μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της απώλειας της θερμικής ενέργειας και να αντέξει σκληρά περιβάλλοντα όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή πίεση.

View as  
 
Κεραμικό σκάφος κεραμικού πλακιδίου πυριτίου

Κεραμικό σκάφος κεραμικού πλακιδίου πυριτίου

Το Vetek Semiconductor ειδικεύεται στην παροχή υψηλής ποιότητας σκάφους, βάθρα και προσαρμοσμένους φορείς πλακιδίων σε κατακόρυφες/στήλες και οριζόντιες διαμορφώσεις για την ικανοποίηση διαφόρων απαιτήσεων διεργασιών ημιαγωγών. Ως κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής ταινιών επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου, το κεραμικό δισκίο του πυριτίου μας ευνοείται από τις ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές για την υψηλή αποτελεσματικότητα κόστους και την άριστη ποιότητα και χρησιμοποιούνται ευρέως σε προηγμένες διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Η Vetek Semiconductor δεσμεύεται να δημιουργήσει μακροπρόθεσμες και σταθερές συνεταιριστικές σχέσεις με τους παγκόσμιους πελάτες και ειδικά ελπίζει να γίνει ο αξιόπιστος συνεργάτης σας ημιαγωγών στην Κίνα.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Κουπί προβόλου καρβιδίου πυριτίου (SiC).

Κουπί προβόλου καρβιδίου πυριτίου (SiC).

Ο ρόλος του καρβιδίου του πυριτίου (SiC) Cantilever Paddle στη βιομηχανία ημιαγωγών είναι να υποστηρίζει και να μεταφέρει γκοφρέτες. Σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως η διάχυση και η οξείδωση, το κουπί SiC cantilever μπορεί να μεταφέρει σταθερά βάρκες και γκοφρέτες χωρίς παραμόρφωση ή ζημιά λόγω υψηλής θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας την ομαλή εξέλιξη της διαδικασίας. Το να κάνουμε τη διάχυση, την οξείδωση και άλλες διεργασίες πιο ομοιόμορφες είναι ζωτικής σημασίας για τη βελτίωση της συνοχής και της απόδοσης της επεξεργασίας του πλακιδίου. Το VeTek Semiconductor χρησιμοποιεί προηγμένη τεχνολογία για την κατασκευή κουπιών με πρόβολο SiC με καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας για να διασφαλίσει ότι οι γκοφρέτες δεν θα μολυνθούν. Η VeTek Semiconductor προσβλέπει σε μακροχρόνια συνεργασία μαζί σας για τα προϊόντα Cantilever Paddle Carbide Silicon (SiC).
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Μεταφορέας πλακιδίων πυριτίου

Μεταφορέας πλακιδίων πυριτίου

Ως επαγγελματίας προμηθευτής μεταφορέα πλακιδίων Carbide Carbide στην Κίνα, ο Vetek Semiconductor SIC Wafer Carrier είναι ένα εργαλείο που χρησιμοποιείται ειδικά για το χειρισμό και την επεξεργασία των πλακιδίων ημιαγωγών, οι οποίες παίζουν αναντικατάστατο ρόλο στη διαδικασία του Semiconductor Wafer. Καλώς ήλθατε στην περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Βάθρο πυριτίου

Βάθρο πυριτίου

Το βάθρο πυριτίου Silicon Vetek αποτελεί βασικό συστατικό στις διεργασίες διάχυσης και οξείδωσης του ημιαγωγού. Ως αφοσιωμένη πλατφόρμα για τη μεταφορά σκαφών πυριτίου σε φούρνους υψηλής θερμοκρασίας, το βάθρο πυριτίου έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα, συμπεριλαμβανομένης της βελτιωμένης ομοιομορφίας θερμοκρασίας, της βελτιστοποιημένης ποιότητας των πλακιδίων και της βελτιωμένης απόδοσης των συσκευών ημιαγωγών. Για περισσότερες πληροφορίες προϊόντος, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Δακτύλιος κεραμικής σφραγίδας SIC

Δακτύλιος κεραμικής σφραγίδας SIC

Ως εργοστάσιο μεγάλης κλίμακας και προμηθευτής προϊόντων δακτυλίων κεραμικών σφραγίδων SIC στην Κίνα, ο δακτύλιος κεραμικής σφραγίδας SIC του Vetek έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στο βιομηχανικό πεδίο λόγω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας, της εξαιρετικής χημικής αντοχής και της αντοχής στη διάβρωση και της υψηλής αντοχής και της ακαμψίας. Καλωσορίστε τα περαιτέρω ερωτήματά σας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>
Φούρνος διάχυσης SIC

Φούρνος διάχυσης SIC

Ως κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής εξοπλισμού διάχυσης κλιβάνου στην Κίνα, ο σωλήνας φούρνου SIC Semiconductor Vetek έχει σημαντικά υψηλή αντοχή κάμψης, εξαιρετική αντίσταση στην οξείδωση, αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή στη φθορά και εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες υψηλής θερμοκρασίας. Καθιστώντας το απαραίτητο υλικό εξοπλισμού σε εφαρμογές διάχυσης. Ο Vetek Semiconductor δεσμεύεται να κατασκευάσει και να παρέχει υψηλής ποιότητας σωλήνα διάχυσης SIC και χαιρετίζει τις περαιτέρω έρευνες σας.
Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
Συστάσεις ειδήσεων
Τι είναι το κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου;
Τι είναι το κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου;Δείτε περισσότερα >>
Τεχνολογία CVD καινοτομία πίσω από το βραβείο Νόμπελ
Τεχνολογία CVD καινοτομία πίσω από το βραβείο ΝόμπελΔείτε περισσότερα >>
Ποιες είναι οι διαφορές μεταξύ MBE και MOCVD Technologies;
Ποιες είναι οι διαφορές μεταξύ MBE και MOCVD Technologies;Δείτε περισσότερα >>
Τι είναι ένας επιταξιακός κλίβανος EPI; - Vetek Semiconductor
Τι είναι ένας επιταξιακός κλίβανος EPI; - Vetek SemiconductorΔείτε περισσότερα >>
Μπορεί να αντισταθεί σε ισότροπο γραφίτη ακραία θερμότητα σε φούρνους υψηλής θερμοκρασίας
Μπορεί να αντισταθεί σε ισότροπο γραφίτη ακραία θερμότητα σε φούρνους υψηλής θερμοκρασίαςΔείτε περισσότερα >>
Από τη διαδικασία κατασκευής ηλεκτροστατικών αναρρόφησης έως κατασκευαστές μαζικής παραγωγής
Από τη διαδικασία κατασκευής ηλεκτροστατικών αναρρόφησης έως κατασκευαστές μαζικής παραγωγήςΔείτε περισσότερα >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept