Σκάφος καρυδιού πυριτίου sic

Το Veteksemicon Sic Wafer Boat είναι ένας φορέας πυρήνα που σχεδιάστηκε ειδικά για διαδικασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας. Χρησιμοποιώντας ισοστατικά συμπιεσμένο γραφίτη υψηλής καθαρότητας ως υπόστρωμα του, το προϊόν αυτό χρησιμοποιεί πατενταρισμένη τεχνολογία εναπόθεσης χημικών ατμών για να σχηματίσει ένα πυκνό, μη πορώδες προστατευτικό στρώμα καρβιδίου πυριτίου στην επιφάνεια.

Αυτό το στρώμα συνδυάζει άψογα την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη με την εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση του καρβιδίου του πυριτίου. Η αυστηρά ελεγχόμενη επικάλυψη επιτυγχάνει πάχος 80-120μm, αντιστέκοντας αποτελεσματικά τη διάβρωση από διάφορες όξινες και αλκαλικές ατμόσφαιρες, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο μόλυνσης μετάλλων. Διατηρεί τη δομική σταθερότητα και την ακεραιότητα των διαστάσεων ακόμη και σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, παρέχοντας αξιόπιστη προστασία και υποστήριξη για πλακίδια κατά τη διάρκεια κρίσιμων διεργασιών, όπως η οξείδωση, η διάχυση και η επιταξιακή ανάπτυξη, επεκτείνοντας αποτελεσματικά τη διάρκεια ζωής των δισκίων περισσότερο από τρεις φορές από αυτή των συμβατικών σκαφών γραφίτη.

Ⅰ. Τεχνικές παραμέτρους

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Boat Πλεονεκτήματα

• Εξαιρετική αντίσταση στη διάβρωση

Η επίστρωση SIC στο σκάφος Veteksemicon Wafer εναποτίθεται χρησιμοποιώντας την ιδιόκτητη διαδικασία CVD υψηλής θερμοκρασίας, με αποτέλεσμα μια πυκνή, ομοιόμορφη δομή που είναι εντελώς απαλλαγμένη από πόρους και ρωγμές. Αυτό το στερεό φραγμό απομονώνει αποτελεσματικά τις γκοφρέτες από το περιβάλλον του κλιβάνου. Ισχυρές οξειδωτικές ατμόσφαιρες, φθοριωμένες ενώσεις και άλλα διαβρωτικά αέρια είναι αδιαπέραστα σε αυτό το προστατευτικό στρώμα. Αυτό σημαίνει ότι οι γκοφρέτες σας προστατεύονται από τη μόλυνση, ενώ το ίδιο το σκάφος παραμένει άθικτο μέσω επαναλαμβανόμενων ακραίων διαδικασιών, επεκτείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του.

• Υλικά εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας

Καταλαβαίνουμε ότι ακόμη και η παραμικρή μόλυνση μπορεί να καταστήσει μια ολόκληρη παρτίδα των πλακιδίων άχρηστη. Ως εκ τούτου, το Veteksemicon ελέγχει αυστηρά τις πρώτες ύλες, χρησιμοποιώντας εισαγόμενο ισοστικά συμπιεσμένο γραφίτη με καθαρότητα που υπερβαίνει το 99,9995% ως υπόστρωμα. Η επικάλυψη SIC που έχει κατατεθεί σε αυτό το υπόστρωμα επιτυγχάνει επίσης καθαρότητα 99,999%, με κρίσιμες ακαθαρσίες όπως νατρίου, κάλιο, σίδηρο και βαρέα μέταλλα που διατηρούνται σε εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα (PPB). Αυτή η σχεδόν ενσωματωμένη καθαρότητα εξασφαλίζει ότι δεν απελευθερώνονται μολυσματικές ουσίες σε υψηλές θερμοκρασίες, εξαλείφοντας θεμελιωδώς τον κίνδυνο υποβάθμισης της απόδοσης των συσκευών λόγω προβλημάτων που σχετίζονται με τον φορέα.

• Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Η κατασκευή ημιαγωγών απαιτεί εξαιρετικά συνεπείς θερμικές διεργασίες. Ο συντελεστής θερμικής επέκτασης του Veteksemicon Wafer Boat είναι σχολαστικά σχεδιασμένο για να ταιριάζει στενά με αυτόν των πλακών πυριτίου. Κατά τη διάρκεια της ταχείας θέρμανσης και της ψύξης, το σκάφος και το πλακίδιο μετακινούνται σε συγχρονισμό, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο ελαττωμάτων πλέγματος και στρέβλωσης που προκαλούνται από θερμικό στρες. Μπορεί να αντέχει σε συνεχείς θερμοκρασίες λειτουργίας μέχρι 1600 ℃, διατηρώντας εξαιρετική μηχανική αντοχή και σταθερότητα διαστάσεων ακόμη και σε αυτές τις υψηλές θερμοκρασίες. Αυτό εξασφαλίζει την επαναληψιμότητα και την αξιοπιστία σε κάθε διεργασία, παρέχοντας μια σταθερή βάση για τον έλεγχο ανοχής στην κατασκευή τσιπ.

• Ανθεκτική μηχανική αντοχή

Η αξία των προϊόντων μας δεν έγκειται μόνο στην αρχική επένδυση αλλά και στο μακροπρόθεσμο κόστος ιδιοκτησίας. Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά εξαρτήματα χαλαζία ή γραφίτη, τα σκάφη Veteksemicon Sic Wafer προσφέρουν εξαιρετική φθορά και αντοχή στην κρούση. Η υψηλή επιφανειακή τους σκληρότητα αντιστέκεται στις γρατζουνιές και τα συντρίμμια κατά τη διάρκεια του χειρισμού και του καθαρισμού. Αυτή η σκληρότητα τους επιτρέπει να αντέχουν εύκολα πάνω από 200 κύκλους διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας και τις απαραίτητες διαδικασίες καθαρισμού, μειώνοντας σημαντικά το κόστος των προμηθειών, το κόστος των αποθεμάτων και το χρόνο διακοπής του εξοπλισμού που σχετίζονται με την συχνή αντικατάσταση εξαρτημάτων.

• Έγκριση επαλήθευσης της οικολογικής αλυσίδας

Η επαλήθευση οικολογικής αλυσίδας Veteksemicon Sic Wafer καλύπτει τις πρώτες ύλες στην παραγωγή, έχει περάσει τη διεθνή τυποποιημένη πιστοποίηση και έχει μια σειρά από κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες για να εξασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά της στους τομείς των ημιαγωγών και των νέων ενεργειακών πεδίων.

Ⅲ. Κύρια πεδία εφαρμογών

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές εργασίες ή ρυθμίσεις δοκιμών δείγματος, παρακαλούμε επικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξης για να διερευνήσετε τον τρόπο με τον οποίο το Veteksemicon μπορεί να ενισχύσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.

Αποθήκη προϊόντων Veteksemicon