Τι είναι το Notch on Wafers;

Γκοφρέτες πυριτίουαποτελούν το θεμέλιο των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και συσκευών ημιαγωγών. Έχουν ένα ενδιαφέρον χαρακτηριστικό - επίπεδες άκρες ή μικροσκοπικές αυλακώσεις στα πλάγια. Δεν είναι ελάττωμα, αλλά ένας σκόπιμα σχεδιασμένος λειτουργικός δείκτης.Στην πραγματικότητα, αυτή η εγκοπή χρησιμεύει ως κατευθυντική αναφορά και δείκτης ταυτότητας σε όλη τη διαδικασία κατασκευής.

Στις πρώτες μέρες, οι γκοφρέτες χρησιμοποιούσαν ως δείκτη ως επί το πλείστον ένα «επίπεδο», που σημαίνει ένα κοντό ευθύ τμήμα που αλέθεται στην κυκλική άκρη. Η θέση και ο αριθμός αυτών των διαμερισμάτων χρησιμοποιήθηκαν για τη διάκριση των κρυσταλλικών προσανατολισμών και των τύπων ντόπινγκ. Καθώς το μέγεθος της γκοφρέτας αυξήθηκε και η ακρίβεια της διαδικασίας βελτιώθηκε, οι γκοφρέτες 200 mm και 300 mm έχουν τυποποιηθεί σε μεγάλο βαθμό σε ένα μικρό σχέδιο εγκοπής σε σχήμα τόξου. Η θέση αυτής της εγκοπής ορίζεται από πρότυπα και βρίσκεται σε σταθερό προσανατολισμό, που χρησιμοποιείται για να υποδείξει τον προσανατολισμό των κρυστάλλων της γκοφρέτας (για παράδειγμα <100> ή <111>) και για να παρέχει ένα κοινό σημείο αναφοράς για τον επόμενο εξοπλισμό.

Ποια είναι η λειτουργία της εγκοπής γκοφρέτας; 

• Πρώτον, παρέχει μια αναφορά για την ευθυγράμμιση γκοφρέτας. Βασικά βήματα όπως η λιθογραφία, η χάραξη και η εμφύτευση ιόντων απαιτούν στοίβαξη πολλαπλών στρωμάτων σχεδίων. Εάν το σύστημα συντεταγμένων κάθε στρώσης δεν είναι συνεπές, οι τελικές συσκευές θα είναι κακώς ευθυγραμμισμένες και θα απορριφθούν. Ανιχνεύοντας τη θέση της εγκοπής, ο εξοπλισμός μπορεί γρήγορα να δημιουργήσει ένα ενοποιημένο σύστημα συντεταγμένων και στη συνέχεια να χρησιμοποιήσει σημάδια ευθυγράμμισης για να επιτύχει ακριβή επικάλυψη.
• Δεύτερον, κωδικοποιεί πληροφορίες γκοφρέτας. Διαφορετικοί προσανατολισμοί κρυστάλλων και διαφορετικοί τύποι ντόπινγκ (όπως τύπου P και τύπου N) έχουν ξεχωριστές ιδιότητες υλικού και σχεδιαστικά ζητήματα. Ο προσανατολισμός της εγκοπής, σε συνδυασμό με σημάνσεις στο πίσω μέρος και άλλα μέσα, επιτρέπει στη γραμμή παραγωγής να αναγνωρίζει γρήγορα τις γκοφρέτες κατά τη διάρκεια του αυτοματοποιημένου χειρισμού και ταξινόμησης, αποφεύγοντας την ανάμειξη μεταξύ διαφορετικών τύπων προϊόντων.
• Τρίτον, εξασφαλίζει ασφάλεια στον αυτοματοποιημένο χειρισμό. Οι σύγχρονες κατασκευές χρησιμοποιούν εκτενώς τους βραχίονες ρομπότ και τα συστήματα αυτοματοποιημένης διαχείρισης υλικών (AMHS). Αυτά τα συστήματα βασίζονται στην εγκοπή για τον προσδιορισμό της μπροστινής/πίσω πλευράς και του προσανατολισμού της γκοφρέτας, αποτρέποντας την εσφαλμένη φόρτωση ή την ανατροπή που διαφορετικά θα οδηγούσε σε απώλεια απόδοσης.

Για τους μηχανικούς συσκευών και διεργασιών, η εγκοπή σε μια γκοφρέτα μπορεί να φαίνεται ασήμαντη, αλλά διατρέχει ολόκληρη την αλυσίδα διεργασίας από το τράβηγμα κρυστάλλων, την επιταξία και την κατασκευή γκοφρέτας μέχρι τη δοκιμή προσυσκευασίας. Όποτε εμπλέκεται η "κατεύθυνση" - προσανατολισμός κρυστάλλου, ευθυγράμμιση διάταξης, προσανατολισμός τάσης ή ακόμα και ο σχεδιασμός της δομής ορισμένων συσκευών ισχύος - αυτός ο μικρός γεωμετρικός δείκτης βρίσκεται σχεδόν πάντα στο παρασκήνιο. Μόλις κατανοήσετε τον ρόλο της εγκοπής, γίνεται πολύ πιο εύκολο να παρακολουθήσετε πώς μια γκοφρέτα «κινείται» στη γραμμή παραγωγής και πώς κάθε βήμα της διαδικασίας χτίζει το σύστημα συντεταγμένων του γύρω από αυτό το κομμάτι πυριτίου.