Αδιαφανής ασπίδα και κλείστρο από χαλαζία υψηλής καθαρότητας για MOCVD

1. Τεχνικές προδιαγραφές

Παρέχουμε μηχανουργική κατεργασία υψηλής ακρίβειας με βάση τα τεχνικά σας σχέδια για να διασφαλίσουμε την τέλεια εφαρμογή με τα συγκεκριμένα μοντέλα εξοπλισμού σας.

2. Πεδία βασικών εφαρμογών

● Προστασία διαδικασίας MOCVD: Χρησιμεύουν ως βασικές εσωτερικές ασπίδες/χιτώνια για την προστασία του περιβάλλοντος αντίδρασης.

● Επιταξία ημιαγωγών: Χρησιμοποιείται ως παντζούρια υψηλής ακρίβειας για σταθεροποίηση ροής και θερμοκρασίας κατά την ανάπτυξη λεπτής μεμβράνης.

● Κατασκευή ημιαγωγών ευρείας ζώνης: Συμβατό με περιβάλλοντα υψηλής ζήτησης για GaN και άλλα προηγμένα υλικά.

3. Γιατί να επιλέξετε VETEK Quartz Solutions;

● Ανώτερη Διαχείριση Θερμικής Ακτινοβολίας: Ο γαλακτώδης λευκός χαλαζίας μας περιέχει υψηλή πυκνότητα μικροφυσαλίδων που διασκορπίζουν αποτελεσματικά και εμποδίζουν τη θερμική ακτινοβολία υψηλής θερμοκρασίας (>1000°C). Απορροφά το ορατό και το κοντινό υπέρυθρο φως από τα θερμαντικά στοιχεία και το μετατρέπει σε υπέρυθρη ακτινοβολία, εξασφαλίζοντας εξαιρετικά ομοιόμορφη θέρμανση.
● Έλεγχος μόλυνσης & Εύκολη Συντήρηση: Ως θυσιαστική ή αντικαταστάσιμη εσωτερική επένδυση, το Quartz Shield διατηρεί τον θάλαμο αντίδρασης καθαρό αποτρέποντας την εναπόθεση υποπροϊόντων σε ακριβούς τοίχους θαλάμου και θερμαντήρες. Αυτά τα εξαρτήματα μπορούν να αναγεννηθούν μέσω υγρού καθαρισμού (όπως διαλύματα SPM+DHF) ή να αντικατασταθούν εύκολα για να εξασφαλίσουν υψηλές αποδόσεις γκοφρέτας.
● Εξαιρετική χημική αντοχή: Ο χαλαζίας VETEK έχει κατασκευαστεί για να αντέχει σε συχνούς θερμικούς κύκλους και να αντιστέκεται στη διάβρωση από μεταλλικά οργανικά (όπως TMGa) και υδρίδια (όπως το AsH3).
● Έλεγχος διαδικασίας ακριβείας: Τα ρολά Quartz διατηρούν υψηλή σταθερότητα διαστάσεων υπό υπέρυθρη θέρμανση ή θέρμανση με νήματα. Η χαμηλή θερμική τους αδράνεια επιτρέπει ταχεία μηχανική απόκριση, επιτρέποντας τον ακριβή έλεγχο της ανάπτυξης «ατομικού επιπέδου» και αποτρέποντας τη διασταυρούμενη μόλυνση κατά τη διάρκεια της εναλλαγής πολλαπλών πλακιδίων ή πολλαπλών διεργασιών.
● Οικονομική εναλλακτική λύση: Για έργα με αυστηρές απαιτήσεις προϋπολογισμού, τα προϊόντα χαλαζία μας παρέχουν ένα αξιόπιστο σημείο εισόδου σε σύγκριση με τον επικαλυμμένο γραφίτη, προσφέροντας ουσιαστική προστασία και λειτουργικότητα για τα συστήματα MOCVD.