ALD FUSED QUARTZ PEDESTAL

Το VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal παίζει βασικό ρόλο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών ως δομή στήριξης γιασκάφος χαλαζία, το οποίο χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση τουόστια. Το βάθρο Fused Quartz βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης εναπόθεσης φιλμ με τη διατήρηση μιας σταθερής θερμοκρασίας, η οποία επηρεάζει άμεσα την απόδοση και την αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών. Επιπλέον, το βάθρο χαλαζία εξασφαλίζει την ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας και του φωτός στο θάλαμο της διαδικασίας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική ποιότητα της διαδικασίας εναπόθεσης.

ALD FUSED QUARTZ Πλεονεκτήματα βάθρου

Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας: Το σημείο μαλάκυνσης του συντηγμένου βάθρου χαλαζία είναι τόσο υψηλό όσο περίπου 1730 ° C και μπορεί να αντέξει τη λειτουργία υψηλής θερμοκρασίας 1100 ° C έως 1250 ° C για μεγάλο χρονικό διάστημα και μπορεί να εκτεθεί σε ακραία θερμοκρασία περιβάλλοντα μέχρι 1450 ° C για μικρό χρονικό διάστημα.

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: Ο συντηγμένος χαλαζίας είναι εξαιρετικά χημικά αδρανής σε όλα σχεδόν τα οξέα εκτός από το υδροφθορικό οξύ. Η αντοχή του στα οξέα είναι 30 φορές υψηλότερη από τα κεραμικά και 150 φορές υψηλότερη από τον ανοξείδωτο χάλυβα. Ο λιωμένος χαλαζίας είναι χημικά απαράμιλλος σε υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας τον ιδανικό υλικό για πολύπλοκες χημικές διεργασίες.

Θερμική σταθερότητα: Ένα βασικό χαρακτηριστικό του υλικού Fused Quartz Pedestal είναι ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής του. Αυτό σημαίνει ότι μπορεί εύκολα να χειριστεί τις δραματικές διακυμάνσεις της θερμοκρασίας χωρίς να ραγίσει. Για παράδειγμα, ο λιωμένος χαλαζίας πυριτίας μπορεί να θερμανθεί γρήγορα στους 1100°C και να βυθιστεί απευθείας σε κρύο νερό χωρίς ζημιά, ένα σημαντικό χαρακτηριστικό σε συνθήκες παραγωγής υψηλής πίεσης.

Αυστηρή διαδικασία παραγωγής: Η διαδικασία παραγωγής των βάθρων λιωμένου πυριτίου τηρεί αυστηρά τα υψηλά πρότυπα ποιότητας. Η διαδικασία παραγωγής χρησιμοποιεί διαδικασίες θερμής διαμόρφωσης και συγκόλλησης, οι οποίες συνήθως ολοκληρώνονται σε περιβάλλον καθαρού δωματίου κατηγορίας 10.000. Στη συνέχεια, το βάθρο από λιωμένο γυαλί χαλαζία καθαρίζεται επιμελώς με εξαιρετικά καθαρό νερό (18 MΩ) για να διασφαλιστεί η καθαρότητα του προϊόντος και η βέλτιστη απόδοση. Κάθε τελικό προϊόν ελέγχεται αυστηρά, καθαρίζεται και συσκευάζεται σε καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 1.000 ή υψηλότερο ώστε να πληροί τα υψηλά πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Αδιαφανές πυριτικό υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας

Το VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal χρησιμοποιεί αδιαφανές υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας για την αποτελεσματική απομόνωση της θερμότητας και του φωτός. Η εξαιρετική θερμοθωράκιση και οι ιδιότητες θωράκισης του φωτός του επιτρέπουν να διατηρεί ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας στο θάλαμο διεργασίας, εξασφαλίζοντας ομοιομορφία και συνοχή του λεπτούαπόθεση ταινιώνστην επιφάνεια του δίσκου.

Πεδία Εφαρμογής

Τα βάθρα λιωμένου χαλαζία χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλούς τομείς της βιομηχανίας ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής τους απόδοσης. Στοδιαδικασία εναπόθεσης ατομικού στρώματος (ALD)., υποστηρίζει τον ακριβή έλεγχο της ανάπτυξης του φιλμ και διασφαλίζει την πρόοδο των συσκευών ημιαγωγών. ΣτοΔιαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών χαμηλής πίεσης (LPCVD), η θερμική σταθερότητα και η ικανότητα θωράκισης φωτός του βάθρου χαλαζία υψηλής καθαρότητας παρέχουν εγγυήσεις για την ομοιόμορφη εναπόθεση λεπτών μεμβρανών, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση και την απόδοση της συσκευής.

Επιπλέον, στη διαδικασία διάχυσης, η ανθεκτικότητα σε υψηλή θερμοκρασία και η ανθεκτικότητα στη χημική διάβρωση του συντηγμένου βάθρου χαλαζία εξασφαλίζουν την αξιοπιστία και τη συνοχή της διαδικασίας ντόπινγκ υλικού ημιαγωγού. Αυτές οι βασικές διαδικασίες καθορίζουν την ηλεκτρική απόδοση των συσκευών ημιαγωγών και τα υλικά με υψηλής ποιότητας συντηγμένου χαλαζία διαδραματίζουν απαραίτητο ρόλο στην επίτευξη των καλύτερων αποτελεσμάτων αυτών των διαδικασιών.

Vetek Semiconductor ALD FUSED QUARTZ Καταστήματα βάθρου: