SiC Coating γραφίτης θερμαντήρας MOCVD

Το MOCVD είναι μια τεχνολογία ανάπτυξης λεπτών μεμβρανών ακριβείας που χρησιμοποιείται ευρέως σε παραγωγή ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικών και μικροηλεκτρονικών συσκευών. Μέσω της τεχνολογίας MOCVD, οι μεμβράνες ημιαγωγών υψηλής ποιότητας μπορούν να κατατεθούν σε υποστρώματα (όπως πυρίτιο, ζαφείρι, καρβίδιο πυριτίου κ.λπ.).

Στον εξοπλισμό MOCVD, ο θερμαντήρας γραφίτη SiC Coating MOCVD παρέχει ένα ομοιόμορφο και σταθερό περιβάλλον θέρμανσης στον θάλαμο αντίδρασης υψηλής θερμοκρασίας, επιτρέποντας τη συνέχιση της χημικής αντίδρασης αέριας φάσης, εναποθέτοντας έτσι το επιθυμητό λεπτό φιλμ στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Ο θερμαντήρας γραφίτη MOCVD SiC Coating της VeTek Semiconductor είναι κατασκευασμένος από υψηλής ποιότητας υλικό γραφίτη με επίστρωση SiC. Ο θερμαντήρας γραφίτη MOCVD με επίστρωση SiC παράγει θερμότητα μέσω της αρχής της θέρμανσης με αντίσταση.

Ο πυρήνας του θερμαντήρα γραφίτη SiC Coating MOCVD είναι το υπόστρωμα γραφίτη. Το ρεύμα εφαρμόζεται μέσω ενός εξωτερικού τροφοδοτικού και τα χαρακτηριστικά αντίστασης του γραφίτη χρησιμοποιούνται για την παραγωγή θερμότητας για την επίτευξη της απαιτούμενης υψηλής θερμοκρασίας. Η θερμική αγωγιμότητα του υποστρώματος γραφίτη είναι εξαιρετική, η οποία μπορεί να μεταφέρει γρήγορα τη θερμότητα και να μεταφέρει ομοιόμορφα τη θερμοκρασία σε ολόκληρη την επιφάνεια του θερμαντήρα. Ταυτόχρονα, η επίστρωση SiC δεν επηρεάζει τη θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη, επιτρέποντας στον θερμαντήρα να ανταποκρίνεται γρήγορα στις αλλαγές θερμοκρασίας και να εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας.

Ο καθαρός γραφίτης είναι επιρρεπής σε οξείδωση υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας. Η επίστρωση SiC απομονώνει αποτελεσματικά τον γραφίτη από την άμεση επαφή με το οξυγόνο, αποτρέποντας έτσι τις αντιδράσεις οξείδωσης και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του θερμαντήρα. Επιπλέον, ο εξοπλισμός MOCVD χρησιμοποιεί διαβρωτικά αέρια (όπως αμμωνία, υδρογόνο κ.λπ.) για εναπόθεση χημικών ατμών. Η χημική σταθερότητα της επίστρωσης SiC της επιτρέπει να αντιστέκεται αποτελεσματικά στη διάβρωση αυτών των διαβρωτικών αερίων και να προστατεύει το υπόστρωμα γραφίτη.

Κάτω από υψηλές θερμοκρασίες, τα μη επικαλυμμένα υλικά γραφίτη μπορεί να απελευθερώσουν σωματίδια άνθρακα, τα οποία θα επηρεάσουν την ποιότητα εναπόθεσης του φιλμ. Η εφαρμογή επικάλυψης SiC αναστέλλει την απελευθέρωση σωματιδίων άνθρακα, επιτρέποντας τη διεξαγωγή της διαδικασίας MOCVD σε καθαρό περιβάλλον, ικανοποιώντας τις ανάγκες της κατασκευής ημιαγωγών με υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας.

Τέλος, ο θερμαντήρας γραφίτη SiC Coating MOCVD σχεδιάζεται συνήθως σε κυκλικό ή άλλο κανονικό σχήμα για να εξασφαλίζει ομοιόμορφη θερμοκρασία στην επιφάνεια του υποστρώματος. Η ομοιομορφία θερμοκρασίας είναι κρίσιμη για την ομοιόμορφη ανάπτυξη παχύρρευστων μεμβρανών, ειδικά στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης MOCVD ενώσεων III-V όπως το GaN και το InP.

Η VeTeK Semiconductor παρέχει επαγγελματικές υπηρεσίες προσαρμογής. Οι κορυφαίες στον κλάδο δυνατότητες μηχανικής κατεργασίας και επίστρωσης SiC μας επιτρέπουν να κατασκευάζουμε θερμαντήρες ανώτατου επιπέδου για εξοπλισμό MOCVD, κατάλληλους για τον περισσότερο εξοπλισμό MOCVD.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD

Vetek Semiconductor SIC Coating Graphite MOCVD Θερμαντήρα