Δορυφορικός μεταφορέας δορυφορικών πλακιδίων Aixtron

Ο δορυφορικός φορέας δορυφόρων Aixtron αποτελεί αναπόσπαστο μέρος του εξοπλισμού Aixtron MOCVD, που χρησιμοποιείται ειδικά για τη μεταφορά πλακιδίων για επιταξιακή ανάπτυξη. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για τοεπιταξιακή ανάπτυξηΔιαδικασία συσκευών καρβιδίου GaN και πυριτίου (SIC). Ο μοναδικός σχεδιασμός του "δορυφόρου" όχι μόνο εξασφαλίζει την ομοιομορφία της ροής αερίου, αλλά βελτιώνει και την ομοιομορφία της εναπόθεσης ταινιών στην επιφάνεια του δίσκου.

Aixtron'sμεταφορείςείναι συνήθως κατασκευασμένα απόκαρβίδιο πυριτίου (sic)ή γραφίτη επικαλυμμένης με CVD. Μεταξύ αυτών, το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Ο γραφίτης επικαλυμμένος με CVD είναι επικαλυμμένος με ένα φιλμ καρβιδίου πυριτίου μέσω μιας διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), η οποία μπορεί να ενισχύσει την αντίσταση της διάβρωσης και τη μηχανική αντοχή του. Τα υλικά γραφίτη SIC και επικαλυμμένα μπορεί να αντέχουν σε θερμοκρασίες μέχρι 1.400 ° C -1.600 ° C και να έχουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, η οποία είναι κρίσιμη για την επιταξιακή διαδικασία ανάπτυξης.

Ο φορέας δορυφορικού δορυφόρου Aixtron χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά και την περιστροφή των πλακών στοΔιαδικασία MOCVDγια να εξασφαλιστεί η ομοιόμορφη ροή αερίου και η ομοιόμορφη εναπόθεση κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης.Οι συγκεκριμένες λειτουργίες έχουν ως εξής:

● περιστροφή πλακιδίων και ομοιόμορφη εναπόθεση: Μέσα από την περιστροφή του δορυφορικού φορέα Aixtron, το δίσκο μπορεί να διατηρήσει σταθερή κίνηση κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης, επιτρέποντας το αέριο να ρέει ομοιόμορφα πάνω από την επιφάνεια του δίσκου για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη εναπόθεση υλικών.

● Υψηλής θερμοκρασίας ρουλεμάν και σταθερότητα: Τα υλικά γραφίτη ή επικαλυμμένα με επικαλυμμένα με πυρίτιο μπορούν να αντέξουν τις θερμοκρασίες μέχρι τους 1.400 ° C -1.600 ° C. Αυτό το χαρακτηριστικό διασφαλίζει ότι το δίσκο δεν θα παραμορφωθεί κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης υψηλής θερμοκρασίας, εμποδίζοντας παράλληλα τη θερμική επέκταση του ίδιου του φορέα να επηρεάσει την επιταξιακή διαδικασία.

● Μειωμένη παραγωγή σωματιδίων: Τα υλικά φορέα υψηλής ποιότητας (όπως το SIC) έχουν ομαλές επιφάνειες που μειώνουν την παραγωγή σωματιδίων κατά τη διάρκεια της εναπόθεσης ατμών, ελαχιστοποιώντας έτσι τη δυνατότητα μόλυνσης, η οποία είναι κρίσιμη για την παραγωγή υλικών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.

Ο δορυφορικός φορέας δορυφορικών πλακιδίων Veteksemicon διατίθεται σε 100mm, 150mm, 200mm και ακόμη μεγαλύτερα μεγέθη πλακιδίων και μπορεί να παρέχει προσαρμοσμένες υπηρεσίες προϊόντων βάσει των απαιτήσεων εξοπλισμού και διαδικασιών σας. Ελπίζουμε ειλικρινά να είναι ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Δεδομένα SEM της κρυσταλλικής δομής CVD SIC Film：

Καταστήματα παραγωγής φορέων δορυφορικών πλακιδίων Aixtron: