SIC Coated Deep UV LED Sensceptor

SIC Coated Deep UV LED Sensceptor είναι το συστατικό ρουλεμάν πυρήνα στοMOCVD (μεταλλικός οργανισμός εναπόθεσης χημικών ατμών) εξοπλισμός). Ο αισθητήρας επηρεάζει άμεσα την ομοιομορφία, τον έλεγχο πάχους και την ποιότητα του υλικού της βαθιάς επιταξιακής ανάπτυξης LED UV, ειδικά στην ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος του νιτριδίου αλουμινίου (ALN) με υψηλή περιεκτικότητα σε αλουμίνιο, ο σχεδιασμός και η απόδοση της ευαισθησίας είναι κρίσιμες.

Το SIC επικαλυμμένο με το Deep UV LED Sensceptor είναι ειδικά βελτιστοποιημένο για βαθιά επιταξία LED UV και έχει σχεδιαστεί με βάση ακριβώς με βάση τα θερμικά, μηχανικά και χημικά περιβαλλοντικά χαρακτηριστικά για την κάλυψη αυστηρών απαιτήσεων διεργασιών.

Το Vetek Semiconductor χρησιμοποιεί προηγμένη τεχνολογία επεξεργασίας για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας του ευαισθησία εντός του εύρους θερμοκρασίας λειτουργίας, αποφεύγοντας τη μη ομοιόμορφη ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος που προκαλείται από την κλίση της θερμοκρασίας. Η επεξεργασία ακριβείας ελέγχει την τραχύτητα της επιφάνειας, ελαχιστοποιεί τη μόλυνση των σωματιδίων και βελτιώνει την αποτελεσματικότητα της θερμικής αγωγιμότητας της επιφανειακής επαφής του δίσκου.

Το Vetek Semiconductor χρησιμοποιεί το SGL Graphite ως υλικό και η επιφάνεια επεξεργάζεται μεΕπικάλυψη CVD SIC, που μπορεί να αντέξει το NH3, HCL και ατμόσφαιρα υψηλής θερμοκρασίας για μεγάλο χρονικό διάστημα. Το SIC επικαλυμμένο με το SIC του Vetek Semiconductor Deep UV LED Sensceptor ταιριάζει με τον συντελεστή θερμικής επέκτασης των επιταξιακών πλακιδίων ALN/GAN, μειώνοντας τη στρέβλωση ή τη ρωγμή που προκαλείται από το θερμικό στρες κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.

Το πιο σημαντικό είναι ότι το SIC του Semiconductor του Vetek Semiconductor προσαρμόζεται τέλεια στον κύριο εξοπλισμό MOCVD (συμπεριλαμβανομένων των VeeCo K465I, EPIK 700, Aixtron Crius κ.λπ.). Υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες για μέγεθος πλακιδίων (2 ~ 8 ίντσες), σχεδιασμό υποδοχής δίσκου, θερμοκρασία διαδικασίας και άλλες απαιτήσεις.

Σενάρια εφαρμογής:

● Προετοιμασία LED Deep UV: Που ισχύει για την επιταξιακή διαδικασία συσκευών στη ζώνη κάτω από 260 nm (απολύμανση UV-C, αποστείρωση και άλλα πεδία).

● Επιταξία ημιαγωγού νιτριδίου: Χρησιμοποιείται για επιταξιακό παρασκεύασμα υλικών ημιαγωγών όπως νιτρίδιο γαλλίου (GAN) και νιτριδικό αλουμινίου (ALN).

● Επιταξονικά πειράματα έρευνας: Βαθιά επιταξία UV και νέα πειράματα ανάπτυξης υλικών σε πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα.

Με την υποστήριξη μιας ισχυρής τεχνικής ομάδας, η Vetek Semiconductor είναι σε θέση να αναπτύξει ευαισθησία με μοναδικές προδιαγραφές και λειτουργίες ανάλογα με τις ανάγκες των πελατών, να υποστηρίζει συγκεκριμένες διαδικασίες παραγωγής και να παρέχει μακροπρόθεσμες υπηρεσίες.

Δεδομένα SEM της ταινίας επικάλυψης CVD:

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης CVD:

Είναι ημιαγωγόςSIC Coated Deep UV LED Sensceptor Products Products: