Βασιζόμενη σε πυρίτιο επιταξιακό ευαισθησία

Ο επιταξιακός ευαισθησίας του Vetekseicon είναι ένα βασικό συστατικό στο σύστημα K465I Gan MOCVD της VEECO για την υποστήριξη και τη θέρμανση του υποστρώματος πυριτίου του υλικού GAN κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης. Επιπλέον, το GAN στο επιταξιακό υπόστρωμα του πυριτίου χρησιμοποιεί υψηλή καθαρότητα,Υλικό γραφίτη υψηλής ποιότηταςως υπόστρωμα, το οποίο παρέχει καλή σταθερότητα και θερμική αγωγιμότητα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξικής ανάπτυξης. Το υπόστρωμα είναι σε θέση να αντέχει σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την αξιοπιστία της επιταξιακής διαδικασίας ανάπτυξης.

Ⅰ. Βασικοί ρόλοι στοΕπιταξιακή διαδικασία

(1) Παρέχετε μια σταθερή πλατφόρμα για επιταξιακή ανάπτυξη

Στη διαδικασία MOCVD, τα επιταξιακά στρώματα GaN εναποτίθενται σε υποστρώματα πυριτίου σε υψηλές θερμοκρασίες (> 1000 ° C) και ο ευαισθησίας είναι υπεύθυνος για τη μεταφορά των δισκίων πυριτίου και τη διασφάλιση της σταθερότητας της θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης.

Ο αισθητήρας με βάση το πυρίτιο χρησιμοποιεί ένα υλικό που είναι συμβατό με το υπόστρωμα SI, το οποίο μειώνει τον κίνδυνο παρακολούθησης και πυρόλυσης του επιταξιακού στρώματος Gan-on-Si με την ελαχιστοποίηση των τάσεων που προκαλούνται από τους αναντιστοιχίες του συντελεστή θερμικής επέκτασης (CTE).

(2) Βελτιστοποιήστε τη διανομή θερμότητας για να εξασφαλίσετε την επιταξιακή ομοιομορφία

Δεδομένου ότι η κατανομή της θερμοκρασίας στο θάλαμο αντίδρασης MOCVD επηρεάζει άμεσα την ποιότητα της κρυστάλλωσης GAN, η επικάλυψη SIC μπορεί να ενισχύσει τη θερμική αγωγιμότητα, να μειώσει τις μεταβολές της θερμοκρασίας και να βελτιστοποιήσει το πάχος του επιταξιακού στρώματος και την ομοιομορφία του ντόπινγκ.

Η χρήση υψηλής θερμικής αγωγιμότητας SIC ή υπόστρωμα πυριτίου υψηλής καθαρότητας συμβάλλει στη βελτίωση της θερμικής σταθερότητας και στην αποφυγή του σχηματισμού του καυτού σημείου, βελτιώνοντας έτσι αποτελεσματικά την απόδοση των επιταξιακών πλακών.

(3) Βελτιστοποίηση της ροής αερίου και της μείωσης της μόλυνσης

Έλεγχος ροής Laminar: Συνήθως ο γεωμετρικός σχεδιασμός της ευαισθησίας (όπως η επιφάνεια της επιφάνειας) μπορεί να επηρεάσει άμεσα το πρότυπο ροής του αερίου αντίδρασης. Για παράδειγμα, ο ευαισθητής του Semixlab μειώνει την αναταραχή βελτιστοποιώντας το σχεδιασμό για να εξασφαλίσει ότι το πρόδρομο αέριο (όπως το TMGA, NH₃) καλύπτει ομοιόμορφα την επιφάνεια του δίσκου, βελτιώνοντας έτσι σημαντικά την ομοιομορφία του επιταξιακού στρώματος.

Πρόληψη της διάχυσης της ακαθαρσίας: Σε συνδυασμό με την εξαιρετική θερμική διαχείριση και την αντοχή στη διάβρωση της επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου, η επικάλυψη καρβιδίου υψηλής πυκνότητας μπορεί να αποτρέψει τις ακαθαρσίες στο υπόστρωμα του γραφίτη από τη διάχυση του επιταξιακού στρώματος, αποφεύγοντας την αποικοδόμηση της απόδοσης των συσκευών που προκαλείται από την κολλοποίηση του άνθρακα.

Ⅱ. Φυσικές ιδιότητες τουΙσοστατικός γραφίτης