Μεταφορέας σκάφους υψηλής καθαρότητας SIC

Ο φορέας βάρκας πλακιδίων SiC υψηλής καθαρότητας VeTekSemi είναι ένα σημαντικό ρουλεμάν που χρησιμοποιείται σε κλιβάνους ανόπτησης, κλιβάνους διάχυσης και άλλο εξοπλισμό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Ο μεταφορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας είναι συνήθως κατασκευασμένος από υλικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας και περιλαμβάνει κυρίως τα ακόλουθα μέρη:

• Σώμα στήριξης σκάφους: Μια δομή παρόμοια με ένα βραχίονα, που χρησιμοποιείται ειδικά για μεταφοράγκοφρέτες πυριτίουή άλλα υλικά ημιαγωγών.

• Δομή υποστήριξης: Ο σχεδιασμός της δομής στήριξης του επιτρέπει να αντέχει βαριά φορτία σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν παραμορφώνεται ή καταστρέφεται κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας σε υψηλή θερμοκρασία.

υλικό καρβιδίου πυριτίου

Φυσικές ιδιότητες τουΑνακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου：

Εάν οι απαιτήσεις διαδικασίας παραγωγής είναι υψηλότερες,Επίστρωση CVD SiCΜπορεί να πραγματοποιηθεί στον φορέα σκαφών υψηλής καθαρότητας SIC για να γίνει η καθαρότητα να φτάσει πάνω από 99,99995%, βελτιώνοντας περαιτέρω την υψηλή αντοχή της θερμοκρασίας.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD:

Κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας σε υψηλές θερμοκρασίες, ο φορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας επιτρέπει στη γκοφρέτα πυριτίου να θερμαίνεται ομοιόμορφα για να αποφευχθεί η τοπική υπερθέρμανση. Επιπλέον, η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία του υλικού καρβιδίου του πυριτίου του επιτρέπει να διατηρεί τη δομική σταθερότητα σε θερμοκρασίες 1200°C ή και υψηλότερες.

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας διάχυσης ή ανόπτησης, το κουπί του προβόλου και ο φορέας σκάφους υψηλής καθαρότητας SIC συνεργάζονται. Οπρόβολο κουπίσπρώχνει αργά τον φορέα σκαφών υψηλής καθαρότητας SIC που μεταφέρει το δισκίο πυριτίου στο θάλαμο του κλιβάνου και τον σταματά σε μια καθορισμένη θέση για επεξεργασία. 

Ο φορέας σκάφους υψηλής καθαρότητας Sic Wafer διατηρεί επαφή με το δίσκο πυριτίου και είναι σταθερή σε συγκεκριμένη θέση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θερμικής επεξεργασίας, ενώ το κουπί πρόβολου βοηθά να διατηρηθεί ολόκληρη η δομή στη σωστή θέση εξασφαλίζοντας παράλληλα την ομοιομορφία της θερμοκρασίας.

Ο φορέας βάρκας γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας και το κουπί προβόλου συνεργάζονται για να εξασφαλίσουν την ακρίβεια και τη σταθερότητα της διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Το Vetek Semiconductor σας παρέχει προσαρμοσμένο φορέα σκάφους υψηλής καθαρότητας σύμφωνα με τις ανάγκες σας. Ανυπομονώ για το ερώτημά σας.

VeTek SemiconductorΚαταστήματα μεταφοράς σκαφών γκοφρέτας SiC υψηλής καθαρότητας: