CVD SIC Επικάλυψη γραφίτη

Το CVD SIC Coating Graphite Sensceptor είναι ειδικά σχεδιασμένος για την κατασκευή υψηλής ακρίβειας στη βιομηχανία ημιαγωγών. Το υπόστρωμα γραφίτη είναι επικαλυμμένο με στρώμα SIC υψηλής καθαρότητας με τη διαδικασία CVD, η οποία έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση και αντοχή στην οξείδωση και μπορεί να λειτουργήσει σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και κενού. Αυτό το βάθρο χρησιμοποιείται ευρέως σε MOCVD, PECVD, PVD και άλλο εξοπλισμό για την υποστήριξη της επεξεργασίας και του χειρισμού των πλακιδίων και άλλων υλικών υψηλής ακρίβειας.

Βασικά πλεονεκτήματα:

● Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας: Ο ίδιος ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας έχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα. Αφού επικαλύπτεται με επικάλυψη SIC, μπορεί να αντέξει σε ακραία περιβάλλοντα υψηλότερης θερμοκρασίας και είναι κατάλληλη για διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας στην επεξεργασία ημιαγωγών.

● Γωνίααντίσταση ιόντων: Η επικάλυψη CVD είναι ανθεκτική στη διάβρωση οξέος και αλκαλίων και μπορεί να έχει μακρά διάρκεια ζωής στη διαδικασία CVD.

● Ψηλά hΑντοχή και αντίσταση οξείδωσης: Η επικάλυψη CVD SIC έχει εξαιρετική σκληρότητα, αντίσταση σε γρατζουνιές και αντίσταση οξείδωσης σε υψηλές θερμοκρασίες για να διατηρηθεί η σταθερότητα του υλικού.

● Καλή θερμική αγωγιμότητα: Ο συνδυασμός του υποστρώματος γραφίτη και του CVD SIC Coating Sensceptor κάνει τη βάση να έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, η οποία μπορεί να διεξάγει αποτελεσματικά τη θερμότητα και να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της παραγωγής.

Προδιαγραφές προϊόντων:

● Υλικό: Υποστρώμα γραφίτη + επικάλυψη CVD SIC

● Πάχος επικάλυψης: Μπορεί να προσαρμοστεί ανάλογα με τις ανάγκες των πελατών

● Εφαρμόσιμο περιβάλλον: Υψηλή θερμοκρασία, κενό, διαβρωτικό φυσικό περιβάλλον

Προσαρμοσμένη υπηρεσία:

Παρέχουμε εξαιρετικά προσαρμοσμένες υπηρεσίες για την κάλυψη των αναγκών του διαφορετικού εξοπλισμού και διαδικασιών των πελατών. Σύμφωνα με τη συγκεκριμένη εφαρμογή του πελάτη, μπορούν να παρέχονται βάσεις γραφίτη με διαφορετικά πάχη επικάλυψης, επιφανειακές επεξεργασίες και επίπεδα ακρίβειας.

Το Veteksemi εργάζεται πάντα στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου CVD Silicon και διαθέτει την κορυφαία παραγωγή γραφίτη και το επίπεδο κατασκευής του CVD SIC. Εάν χρειάζεστε περισσότερες πληροφορίες προϊόντων ή προσαρμοσμένες υπηρεσίες, επικοινωνήστε με το Vetek Semiconductor, θα σας παρέχουμε ολόψυχα επαγγελματική υποστήριξη.

Δεδομένα SEM της κρυσταλλικής δομής CVD SIC:

Είναι ημιαγωγόςCVD SIC Coating Graphite Sonsceptor Products Products: