CVD Carbide Silicon (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier

Χαρακτηριστικά προϊόντος

· Βασικός Εξοπλισμός:Σχεδιασμένο για συστήματα ταχείας θερμικής ανόπτησης (RTA) και ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP).

· Primary Aεφαρμογή: Βελτιστοποιημένο για διαδικασίες ανόπτησης γκοφρετών ημιαγωγών.

· Opeβαθμολογία Teθερμοκρασία:Σταθερή λειτουργία από 200°C έως 700°C.

· Excellent Therκακή ομοιομορφία: Εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας για συνεπή επεξεργασία γκοφρέτας.

· Χαμηλό ΣωματίδιοGενέργεια: Η πυκνή επίστρωση CVD SiC ελαχιστοποιεί τη μόλυνση και βελτιώνει την απόδοση παραγωγής.

· Ανώτερη χημική αντοχή:Ανθεκτικό στην οξείδωση και τα διαβρωτικά αέρια διεργασίας κατά τη θερμική επεξεργασία.

· Εξαιρετικόςg Θερμal Αντίσταση κραδασμών: Διατηρεί τη δομική ακεραιότητα μέσω επαναλαμβανόμενων ταχέων κύκλων θέρμανσης και ψύξης.

· Μεγάλη διάρκεια ζωής:Η ανθεκτική στη φθορά επίστρωση SiC παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του εξαρτήματος και μειώνει το κόστος συντήρησης.

· ΕθιμοΒιομηχανοποίηση:Διατίθεται σε διάφορα μεγέθη και διαμορφώσεις για να ταιριάζει με διαφορετικό εξοπλισμό RTP/RTA.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

·Ταχεία θερμική ανόπτηση (RTA)

· Ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP)

· Ανόπτηση γκοφρέτας πυριτίου

· Ενεργοποίηση Dopant

· Οξείδωση

· Διάχυση

·Κατασκευή σύνθετων ημιαγωγών

·Κατασκευή MEMS

·Επεξεργασία ημιαγωγών ισχύος

FAQ

1. Τι είναι ένας φορέας RTP/RTA;

Ένας φορέας RTP/RTA είναι ένα εξάρτημα υποστήριξης γκοφρέτας που χρησιμοποιείται σε συστήματα ταχείας θερμικής επεξεργασίας και ταχείας θερμικής ανόπτησης. Συγκρατεί με ασφάλεια τις γκοφρέτες ημιαγωγών ενώ παρέχει ομοιόμορφη μεταφορά θερμότητας σε όλο τον θερμικό κύκλο.

2. Γιατί προτιμάται η επίστρωση CVD SiC;

Σε σύγκριση με τον γυμνό γραφίτη, η επίστρωση CVD SiC προσφέρει ανώτερη αντοχή στην οξείδωση, χαμηλότερη παραγωγή σωματιδίων, καλύτερη χημική σταθερότητα και σημαντικά μεγαλύτερη διάρκεια ζωής.

3. Μπορεί η VETEK να παρέχει προσαρμοσμένους φορείς RTP/RTA;

Ναί. Η VETEK προσφέρει προσαρμοσμένους φορείς RTP/RTA με βάση τα σχέδια πελατών.