Προϊόντα

Διαδικασία Επιτάξεως SiC

Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.


Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .


Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών

Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN) και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.


Θερμομονωτές

Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.


Σκοπός:

 ● Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).

● Δέκτης ALD(Semiconductor).

● Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)


Σύγκριση επικάλυψης SiC και επίστρωσης TaC:

Ούτω TaC
Κύρια Χαρακτηριστικά Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας)
Καθαρότητα >99,9999% >99,9999%
Πυκνότητα (g/cm3) 3.21 15
Σκληρότητα (kg/mm2) 2900-3300 6,7-7,2
Αντίσταση [Ωcm] 0,1-15.000 <1
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K) 200-360 22
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃) 4,5-5 6.3
Εφαρμογή Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα) Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός


View as  
 
Ανταλλακτικό επικάλυψης TAC

Ανταλλακτικό επικάλυψης TAC

Η επίστρωση TAC χρησιμοποιείται επί του παρόντος κυρίως σε διεργασίες όπως η ανάπτυξη μονής κρυστάλλου πυριτίου (μέθοδος PVT), ο επιταξιακός δίσκος (συμπεριλαμβανομένου του επιταράτου του σιλικόνου, η επιταξία LED), σε συνδυασμό με την καλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα της πλάκας επίστρωσης TAC, το πλάκα Tac της Veteksemicon. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης μας.
Gan στον δέκτη EPI

Gan στον δέκτη EPI

Το GAN στο SIC EPI Sensceptor διαδραματίζει ζωτικό ρόλο στην επεξεργασία των ημιαγωγών μέσω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας, της ικανότητας επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας και της χημικής σταθερότητας και εξασφαλίζει την υψηλή απόδοση και την ποιότητα του υλικού της διαδικασίας επιταξικής ανάπτυξης GAN. Το Vetek Semiconductor είναι επαγγελματίας κατασκευαστής της Gan της China στο SIC Epi Sensceptor, προσβλέπουμε ειλικρινά στην περαιτέρω διαβούλευσή σας.
Φορέας επικάλυψης CVD TAC

Φορέας επικάλυψης CVD TAC

Ο φορέας επικάλυψης CVD TAC είναι κυρίως σχεδιασμένος για την επιταξιακή διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Το εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης του φορέα CVD TAC, η εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και η εξαιρετική θερμική σταθερότητα καθορίζουν την απαραίτητη δυνατότητα αυτού του προϊόντος στην επιταξιακή διαδικασία ημιαγωγών. Καλωσορίστε την περαιτέρω ερώτησή σας.
Δέκτης γραφίτη με επίστρωση TaC

Δέκτης γραφίτη με επίστρωση TaC

Το VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor χρησιμοποιεί τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) για την προετοιμασία επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου στην επιφάνεια των τμημάτων γραφίτη. Αυτή η διαδικασία είναι η πιο ώριμη και έχει τις καλύτερες ιδιότητες επίστρωσης. Το TaC Coated Graphite Susceptor μπορεί να επεκτείνει τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων γραφίτη, να εμποδίσει τη μετανάστευση ακαθαρσιών γραφίτη και να εξασφαλίσει την ποιότητα της επιτάξεως. Ανυπομονούμε για το ερώτημά σας.
TAC Coating Subser

TAC Coating Subser

Το Vetek Semiconductor παρουσιάζει το TAC Coating Sensceptor, με την εξαιρετική επίστρωση TAC, αυτή η ευαισθησία προσφέρει μια πληθώρα πλεονεκτημάτων που το ξεχωρίζουν από τις συμβατικές λύσεις. Ενσωμάτωση απρόσκοπτα σε υπάρχοντα συστήματα, το TAC Coating Sensceptor από την Vetek Semiconductor Εγγυήσεις και την αποτελεσματική λειτουργία. Η αξιόπιστη απόδοση και η υψηλής ποιότητας επικάλυψη TAC παρέχουν σταθερά εξαιρετικά αποτελέσματα σε διαδικασίες επιταξίας SIC. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές και να προσβλέπουμε στον μακροπρόθεσμο συνεργάτη σας στην Κίνα.
Πλάκα περιστροφής επικάλυψης TAC

Πλάκα περιστροφής επικάλυψης TAC

Η πλάκα περιστροφής επίστρωσης TAC που παράγεται από το Vetek Semiconductor διαθέτει εξαιρετική επίστρωση TAC, με την εξαιρετική επίστρωση TAC, η πλάκα περιστροφής TAC, η οποία έχει αξιοσημείωτη αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και χημική αδράνεια, η οποία την ξεχωρίζει από τις παραδοσιακές λύσεις.
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Διαδικασία Επιτάξεως SiC που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept