Θερμαντήρας επίστρωσης TAC

Ο θερμαντήρας επικάλυψης TAC είναι ένα στοιχείο θέρμανσης υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Η επιφάνεια του είναι επικαλυμμένη με υλικό καρβιδίου ταντάλου (TAC), το οποίο δίνει στον θερμαντήρα εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, χημική αντοχή στη διάβρωση και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα.

Οι κύριες εφαρμογές του θερμαντήρα επίστρωσης TAC στην κατασκευή ημιαγωγών περιλαμβάνουν:

 ✔ Κατά τη διάρκεια της επιταξιακής διαδικασίας ανάπτυξης του νιτριδίου γαλλίου (GAN), ο θερμαντήρας επικάλυψης TAC παρέχει ένα ακριβώς ελεγχόμενο περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας για να διασφαλιστεί ότι το επιταξιακό στρώμα εναποτίθεται στο υπόστρωμα με ομοιόμορφο ρυθμό και υψηλή ποιότητα. Η σταθερή παραγωγή θερμότητας βοηθά στην επίτευξη ακριβούς ελέγχου των υλικών λεπτών φιλμ, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση της συσκευής.

 ✔ Επιπλέον, στη διαδικασία εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD), σε συνδυασμό με την αντίσταση σε υψηλή θερμοκρασία και τη θερμική αγωγιμότητα της επικάλυψης TaC, ο θερμαντήρας επίστρωσης TaC χρησιμοποιείται συνήθως για τη θέρμανση του αερίου αντίδρασης και παρέχοντας ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας. προάγει τη χημική του αντίδραση στην επιφάνεια του υποστρώματος, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία της επιταξιακής στρώσης και σχηματίζοντας ένα φιλμ υψηλής ποιότητας.

 ✔ Ως ηγέτης του κλάδου στα προϊόντα TaC Coating Heater, η VeTek Semiconducto υποστηρίζει πάντα υπηρεσίες προσαρμογής προϊόντων και ικανοποιητικές τιμές προϊόντων. Ανεξάρτητα από τις συγκεκριμένες απαιτήσεις σας, θα ταιριάξουμε την καλύτερη λύση για τις ανάγκες σας για τον θερμαντήρα επίστρωσης TaC και περιμένουμε τη συμβουλή σας ανά πάσα στιγμή.