MOCVD επικαλυμμένο με SiC Susceptor

Τεχνικές Παράμετροι

CVD SIC FILM ΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ

Ορισμός και σύνθεση προϊόντος

Το VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor είναι ένα εξάρτημα υψηλής ποιότητας που φέρει γκοφρέτα σχεδιασμένο ειδικά για την επιταξιακή επεξεργασία ημιαγωγών τρίτης γενιάς, όπως το GaN και το SiC. Αυτό το προϊόν ενσωματώνει τις ανώτερες φυσικές ιδιότητες δύο υλικών υψηλής απόδοσης:

Υπόστρωμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας: Κατασκευάζεται με χρήση τεχνολογίας ισοστατικής συμπίεσης για να διασφαλιστεί ότι το βασικό υλικό διαθέτει εξαιρετική δομική ακεραιότητα, υψηλή πυκνότητα και σταθερότητα θερμικής επεξεργασίας.

Επίστρωση CVD SiC: Ένα πυκνό προστατευτικό στρώμα από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) αναπτύσσεται στην επιφάνεια του γραφίτη μέσω της προηγμένης τεχνολογίας Chemical Vapor Deposition (CVD).

Γιατί το VETEK είναι η εγγύηση απόδοσης σας

Απόλυτη ακρίβεια στον έλεγχο θερμικής ομοιομορφίας: Σε αντίθεση με τους συμβατικούς φορείς, οι υποδοχείς VETEK επιτυγχάνουν εξαιρετικά συγχρονισμένη μεταφορά θερμότητας σε ολόκληρη την επιφάνεια μέσω ελέγχου ακρίβειας κλίμακας νανομέτρων του πάχους της επίστρωσης και της θερμικής αντίστασης. Αυτή η εξελιγμένη θερμική διαχείριση ελαχιστοποιεί αποτελεσματικά την τυπική απόκλιση μήκους κύματος (STD) στην επιφάνεια του πλακιδίου, ενισχύοντας σημαντικά τόσο την ποιότητα ενός πλακιδίου όσο και τη συνολική συνοχή της παρτίδας.

Μακροχρόνια προστασία με μηδενική μόλυνση σωματιδίων: Σε θαλάμους αντίδρασης MOCVD που περιέχουν εξαιρετικά διαβρωτικά αέρια, τα συνηθισμένα βάθρα γραφίτη είναι επιρρεπή σε απολέπιση σωματιδίων. Η επίστρωση CVD SiC της VETEK διαθέτει εξαιρετική χημική αδράνεια, λειτουργώντας ως αδιαπέραστη ασπίδα που σφραγίζει τους μικροπόρους του γραφίτη. Αυτό διασφαλίζει την πλήρη απομόνωση των ακαθαρσιών του υποστρώματος, αποτρέποντας τυχόν μόλυνση των επιταξιακών στρωμάτων GaN ή SiC.

Εξαιρετική αντοχή στην κόπωση και διάρκεια ζωής:Χάρη στην ιδιόκτητη διαδικασία επεξεργασίας διεπαφής της VETEK, η επίστρωση SiC μας επιτυγχάνει βελτιστοποιημένη θερμική διαστολή με το υπόστρωμα γραφίτη. Ακόμη και υπό θερμικό κύκλο υψηλής συχνότητας μεταξύ ακραίων θερμοκρασιών, η επίστρωση διατηρεί ανώτερη πρόσφυση χωρίς να ξεφλουδίζει ή να δημιουργεί μικρορωγμές. Αυτό μειώνει σημαντικά τη συχνότητα συντήρησης ανταλλακτικών και μειώνει το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Το εργαστήριό μας