Οριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC

Προσφορές ημιαγωγώνΟριζόντιος μεταφορέας SIC SIC/Το σκάφος έχει ένα εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης (περίπου 2700 ° C), το οποίο επιτρέπει τοΟριζόντιος μεταφορέας SIC SIC/Σκάφος για να εργάζεστε σταθερά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας χωρίς παραμόρφωση ή υποβάθμιση. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι ιδιαίτερα σημαντικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε διαδικασίες όπως η ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας ή η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD).

ΟΟριζόντιος φορέας γκοφρέτας SiC/Το Boat παίζει συγκεκριμένα τους ακόλουθους ρόλους στη διαδικασία μεταφοράς βαφερέ:

Μεταφορά και υποστήριξη από πλακίδια πυριτίου: Το Horizontal SiC Wafer Boat χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά και υποστήριξη πλακών πυριτίου κατά την κατασκευή ημιαγωγών. Μπορεί να τακτοποιήσει σταθερά πολλαπλές γκοφρέτες πυριτίου μαζί για να διασφαλίσει ότι παραμένουν σε καλή θέση και σταθερότητα σε όλη τη διαδικασία επεξεργασίας.

Ομοιόμορφη θέρμανση και ψύξη: Λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας του SIC, το σκάφος του δίσκου μπορεί να διανείμει αποτελεσματικά τη θερμότητα ομοιόμορφα σε όλες τις πλακές πυριτίου. Αυτό βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης θέρμανσης ή ψύξης των δισκίων πυριτίου κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας τη συνέπεια και την αξιοπιστία της διαδικασίας επεξεργασίας.

Αποτρέψτε τη μόλυνση: Η χημική σταθερότητα του SiC του επιτρέπει να αποδίδει καλά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά αέρια, μειώνοντας έτσι την έκθεση των πλακών πυριτίου σε πιθανούς ρύπους ή αντιδρώντα, διασφαλίζοντας την καθαρότητα και την ποιότητα των πλακών πυριτίου.

Στην πραγματικότητα, το Horizontal SiC Wafer Boat μπορεί να παίξει τον παραπάνω ρόλο λόγω των μοναδικών χαρακτηριστικών του προϊόντος:

Εξαιρετική χημική σταθερότητα: Το υλικό SIC έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση σε μια ποικιλία χημικών μέσων. Κατά τη διαδικασία επεξεργασίας των διαβρωτικών αερίων ή υγρών, το σκάφος SIC μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη χημική διάβρωση και να προστατεύσει τα πλακίδια πυριτίου από μόλυνση ή βλάβη.

Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του SIC βοηθά στην ομοιόμορφη διανομή θερμότητας στη διαδικασία φορέα και μείωση της συσσώρευσης θερμότητας. Αυτό μπορεί να βελτιώσει την ακρίβεια του ελέγχου της θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας ακριβείας και να εξασφαλίσει ομοιόμορφη θέρμανση ή ψύξη πλακιδίων πυριτίου.

Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: Ο συντελεστής χαμηλής θερμικής διαστολής του υλικού SIC σημαίνει ότι η μεταβολή της μεταβολής του σκάφους SIC είναι πολύ μικρός κατά τη διάρκεια των μεταβολών της θερμοκρασίας. Αυτό βοηθά στη διατήρηση της σταθερότητας των διαστάσεων κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας και αποτρέπει την παραμόρφωση ή τη μετατόπιση θέσης των πλακών πυριτίου που προκαλούνται από θερμική επέκταση.

Βασικές φυσικές ιδιότητες του οριζόντιου μεταφορέα SIC:

Συγκρίνετε το κατάστημα παραγωγής ημιαγωγών:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας ημιαγωγών chip: