CVD SIC επικάλυψη Dummy Wafer

Χαρακτηριστικά προϊόντος του Veteksemi CVD Sic Coating Dummy Wafer:

● Αντίσταση αερίου υψηλής θερμοκρασίας: Το SIC Dummy Wafer έχει εξαιρετική αντίσταση στη διάβρωση αερίου υψηλής θερμοκρασίας, κατάλληλη για χρήση σε ακραίες συνθήκες. Αυτή η ανθεκτικότητα εξασφαλίζει συνεπείς επιδόσεις ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα.

● Μακροπρόθεσμη δομική ακεραιότητα: Τα εικονικά πλακίδια επίστρωσης CVD SIC έχουν σχεδιαστεί για να αντισταθούν στην κάμψη και την παραμόρφωση σε μεγάλες χρονικές περιόδους. Η ανθεκτικότητά τους διασφαλίζει ότι παραμένουν αξιόπιστοι σε πολλούς κύκλους δοκιμών, μειώνοντας την ανάγκη για συχνή αντικατάσταση.

● Επιφάνεια χωρίς σωματίδια: Οι εικονικές πλακώσεις SIC έχουν μια εύκολη στην καθαρή επιφάνεια που ελαχιστοποιεί τα προβλήματα σωματιδίων, τα οποία είναι κρίσιμα για τη διατήρηση ενός περιβάλλοντος χωρίς μόλυνση. Αυτό το χαρακτηριστικό υποστηρίζει αποτελέσματα υψηλής ποιότητας και μειώνει τον κίνδυνο ελαττωμάτων.

● Χημική σταθερότητα: Η χημική σταθερότητα του εικονικού πλακιδίου με επικάλυψη SIC του δίνει τη δυνατότητα να αντέχει σε μια ποικιλία από διαβρωτικές ουσίες χωρίς υποβάθμιση. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι κρίσιμο για τη διατήρηση της ακεραιότητας του δισκίου κατά τη διάρκεια της χημικής έκθεσης.

Ειδικές χρήσεις των εικονικών εικονικών πλακιδίων:

● Δοκιμή και πειραματισμός: Τα εικονικά πλακίδια με επικάλυψη SIC είναι απαραίτητα σε όλα τα στάδια της παραγωγής ημιαγωγών, παρέχοντας ένα ασφαλές και αξιόπιστο μέσο δοκιμών και πειραματισμού. Είναι απαραίτητα στην αρχή της παραγωγικής διαδικασίας, εξασφαλίζοντας ότι όλες οι παράμετροι είναι βέλτιστες πριν χρησιμοποιηθούν οι πολύτιμες δίσκοι παραγωγής.

● Προστασία κατά τη διάχυση: Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας διάχυσης, τα εικονικά πλακίδια διαδραματίζουν ζωτικό ρόλο με την προστασία των τυποποιημένων πλακών πυριτίου. Αυτή η προστατευτική λειτουργία εμποδίζει τη ζημιά και τη μόλυνση, διατηρώντας έτσι την ακεραιότητα και την ποιότητα του αρχικού δίσκου.

● Ακρίβεια μέτρησης: Αυτές οι γκοφρέτες χρησιμοποιούνται προσεκτικά για τη μέτρηση του πάχους του φιλμ, της αντίστασης στην πίεση και του ανακλαστικού δείκτη. Επίσης, βοηθούν στην ανίχνευση της παρουσίας φλόγας και στην αξιολόγηση των διαστάσεων του προτύπου στη λιθογραφία, συμβάλλοντας σημαντικά στην ακρίβεια της διαδικασίας και τη μείωση των ελαττωμάτων.

Στην πραγματικότητα, το Vetek Semiconductor υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες προϊόντων και μπορεί να παρέχει σειριοποίηση καθορισμένη από το χρήστη σε κάθε εικονικό δίσκο επικάλυψης CVD σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών, επιτρέποντας προσαρμοσμένο μέγεθος και πάχος. Η προσαρμοσμένη χάραξη λέιζερ εξαλείφει περαιτέρω τον κίνδυνο διασταυρούμενης μόλυνσης, εξασφαλίζοντας υψηλό βαθμό καθαρότητας και αξιοπιστίας.

Δεδομένα SEM της ταινίας επικάλυψης CVD: