Πιεζοηλεκτρικές γκοφρέτες PZT (PZT σε Si/SOI)

1. Τεχνική Αρχιτεκτονική

Οι γκοφρέτες μας διαθέτουν μια εξελιγμένη δομή στοίβας πολλαπλών στρωμάτων που έχει σχεδιαστεί για να εξασφαλίζει βέλτιστη πρόσφυση, αγωγιμότητα και πιεζοηλεκτρική απόκριση κατά τη διάρκεια της σύνθετης επεξεργασίας MEMS:

 ●Κορυφαίο ηλεκτρόδιο (Επίπεδο κλειδιού): Pt (Πλατινένιο).

● Piezo Layer (Core Layer): PZT.

● Ενδιάμεσα στρώματα: Περιλαμβάνει Buffer Layer, Bottom Electrode και Adhesion Layer για βελτιστοποίηση του προσανατολισμού των κόκκων και της δομικής σταθερότητας.

● Υπόστρωμα: Συμβατό με γκοφρέτες Si ή SOI.

2. Διασφάλιση Ποιότητας & Ανάλυση Μικροδομών

Εξασφαλίζουμε υψηλή αξιοπιστία μέσω αυστηρών τεχνικών χαρακτηρισμών:

 ●Ανάλυση SEM: Οι εικόνες Ηλεκτρονικής Μικροσκοπίας Σάρωσης (SEM) αποκαλύπτουν μια πυκνή μορφολογία επιφάνειας χωρίς ρωγμές με ομοιόμορφη κατανομή μεγέθους κόκκων, ιδανική για εφαρμογές MEMS υψηλής αξιοπιστίας.

 ●Χαρακτηρισμός XRD: Τα μοτίβα περίθλασης ακτίνων Χ (XRD) επιβεβαιώνουν τον σχηματισμό καθαρής φάσης περοβσκίτη με ισχυρό (100) προτιμώμενο προσανατολισμό, διασφαλίζοντας μέγιστους συντελεστές πιεζοηλεκτρικής απόδοσης.

3. Τεχνικές Προδιαγραφές (Χαρακτηριστικά)

4. Βασικές Εφαρμογές

 ● Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT): Συστοιχίες μικρογραφίας υψηλής συχνότητας για αισθητήρες δακτυλικών αποτυπωμάτων, αναγνώριση χειρονομιών και ραντάρ υπερήχων αυτοκινήτου.

 ● Επικοινωνία: Κλειδί για την κατασκευή φίλτρων FBAR ή SAW σε 5G/6G για την επίτευξη μεγαλύτερου εύρους ζώνης και μικρότερης απώλειας εισαγωγής.

 ● Ακουστικό MEMS: Παρέχει ισχυρή μεταβατική απόκριση για ηχεία MEMS και βελτιώνει την αναλογία σήματος προς θόρυβο (SNR) για μικρόφωνα MEMS.

 ● Έλεγχος υγρών ακριβείας: Δόνηση υψηλής ταχύτητας μέσω της λειτουργίας d31 για ακριβή έλεγχο σε κλίμακα νανολίτρων του όγκου σταγονιδίων στις κεφαλές εκτύπωσης inkjet.

 ● Ιατρική & Ομορφιά (Μικροάντληση): Οδηγεί ιατρικούς νεφελοποιητές ή καλλυντικές αντλίες υπερήχων με υψηλή αξιοπιστία και συμπαγές μέγεθος.

5. Υπηρεσίες προσαρμογής

Εκτός από την τυπική εναπόθεση σε γκοφρέτες Si, παρέχουμε επίσης προσαρμοσμένες υπηρεσίες εναπόθεσης:

 ●Προσαρμογή φιλμ & πάχους: Εναπόθεση συγκεκριμένων τύπων φιλμ και προσαρμοσμένου πάχους σύμφωνα με τις απαιτήσεις σχεδιασμού.

 ●OEM Χυτήριο: Αποδοχή γκοφρετών που παρέχονται από πελάτες για υψηλής ποιότητας ανάπτυξη πιεζοηλεκτρικών λεπτών φιλμ.

 ●Υποστήριξη υποστρώματος SOI: Εξειδικευμένη εναπόθεση σε γκοφρέτες SOI με τις ακόλουθες προδιαγραφές: