Επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου

Η VeTek semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής υλικών επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν εξαρτήματα επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου CVD, εξαρτήματα επίστρωσης πυροσυσσωματωμένου TaC για ανάπτυξη κρυστάλλων SiC ή διαδικασία επιτάξεως ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το VeTek Semiconductor έχει καλό έλεγχο στην ποιότητα. Η VeTek Semiconductor είναι αφιερωμένη στο να γίνει καινοτόμος στη βιομηχανία επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου μέσω της συνεχούς έρευνας και ανάπτυξης επαναληπτικών τεχνολογιών.

Τα κύρια προϊόντα είναιΔακτύλιος οδηγός με επίστρωση TaC, Δακτύλιος οδηγός τριών πετάλων με επίστρωση CVD TaC, Καρβίδιο τανταλίου με επικάλυψη TaC Halfmoon, CVD TaC επίστρωση πλανητικού επιταξιακού υποδοχέα SiC, Δαχτυλίδι επικάλυψης καρβιδίου τανταλίου, Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου, TaC Coating Rotation Susceptor, Δαχτυλίδι από καρβίδιο τανταλίου, Πλάκα περιστροφής επίστρωσης TaC, Υποδοχέας γκοφρέτας με επικάλυψη TaC, Δακτύλιος εκτροπέα με επίστρωση TaC, Κάλυμμα επικάλυψης CVD TaC, Τσοκ με επίστρωση TaCκ.λπ., η καθαρότητα είναι κάτω από 5 ppm, μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών.

Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία Chemical Vapor Deposition (CVD). Το πλεονέκτημα φαίνεται στην παρακάτω εικόνα: