Προϊόντα
Δαχτυλίδι επίστρωσης TAC
  • Δαχτυλίδι επίστρωσης TACΔαχτυλίδι επίστρωσης TAC

Δαχτυλίδι επίστρωσης TAC

Ο δακτύλιος επίστρωσης TAC είναι ένα συστατικό υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για χρήση σε διεργασίες ημιαγωγών, ο δακτύλιος επίστρωσης TAC του Vetek έχει υψηλή θερμική σταθερότητα, αντίσταση στη χημική διάβρωση και εξαιρετική μηχανική αντοχή και χρησιμοποιείται ειδικά για τη συγκράτηση και την υποστήριξη των πλακών SIC κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, Όπου ο ακριβής έλεγχος και η ανθεκτικότητα είναι απαραίτητες για την επίτευξη υψηλής ποιότητας πλακιδίων. Ανυπομονούμε για την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.

Ο δακτύλιος TAC επικάλυψης του Vetek Semiconductor είναι κατασκευασμένος από γραφίτη υψηλής ποιότητας και επικαλύπτεται με καρβίδιο του τανταλίου (TAC), ένα υλικό που είναι γνωστό για τις ανώτερες ιδιότητές του, είναι ένα απαραίτητο συστατικό στην επεξεργασία του Semiconductor Wafer.


Τα βασικά χαρακτηριστικά και τα οφέλη του δακτυλίου επίστρωσης TAC του Vetek Semiconductor:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

●  Υψηλή θερμική σταθερότητα: Ένα από τα χαρακτηριστικά standout του δακτυλίου επίστρωσης καρβιδίου Tantalum είναι η ικανότητά του να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες, έναν κρίσιμο παράγοντα στη χάραξη ημιαγωγών. Η διαδικασία χάραξης SIC περιλαμβάνει έκθεση σε αυξημένες θερμοκρασίες και αντιδραστικά αέρια και η επίστρωση καρβιδίου του ταντάλου εξασφαλίζει ότι ο δακτύλιος παραμένει σταθερός και διατηρεί τη δομική του ακεραιότητα ακόμη και υπό αυτές τις σκληρές συνθήκες. Αυτή η θερμική ανθεκτικότητα διασφαλίζει ότι το στοιχείο συνεχίζει να εκτελεί βέλτιστα σε εκτεταμένες περιόδους.


● Ενισχυμένη μηχανική αντοχή: Ο συνδυασμός γραφίτη υψηλής αντοχής και επίστρωσης TAC έχει ως αποτέλεσμα ένα συστατικό με βελτιωμένες μηχανικές ιδιότητες, καθιστώντας τον δακτύλιο επικαλυμμένο με TAC εξαιρετικά ανθεκτικό στη φθορά. Η μηχανική του αντοχή είναι ζωτικής σημασίας για τη συγκράτηση των SIC Geafers σταθερά, εξασφαλίζοντας την ακριβή χάραξη και την πρόληψη οποιασδήποτε παραμόρφωσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.


●  Αντοχή στη χημική διάβρωση: Σε διεργασίες ημιαγωγών, όπως η χάραξη SIC, τα συστατικά συχνά εκτίθενται σε επιθετικά χημικά και αντιδραστικά αέρια. Η επίστρωση καρβιδίου του ταντάλου παρέχει εξαιρετική προστασία από τη διάβρωση, επεκτείνοντας σημαντικά την ωφέλιμη ζωή του δακτυλίου και ελαχιστοποιώντας την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις. Αυτή η αντίσταση είναι ιδιαίτερα σημαντική στη διαδικασία χάραξης, όπου τα συστατικά βρίσκονται σε συνεχή επαφή με χημικά αντιδραστικές ουσίες.


● Superior Coatitac Coatingsng για βελτιωμένη απόδοση: Η επίστρωση καρβιδίου τανταλίου στον δακτύλιο γραφίτη παρέχει μια στιβαρή επιφάνεια που ενισχύει τη συνολική απόδοση του εξαρτήματος. Το καρβίδιο του τανταλίου είναι γνωστό για το υψηλό του σημείο τήξης (περίπου 3.880°C) και την εξαιρετική του αντοχή στις χημικές αντιδράσεις, ειδικά σε επιθετικά περιβάλλοντα που συνήθως συναντώνται κατά τις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Αυτή η επίστρωση καρβιδίου τανταλίου βελτιώνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του προϊόντος, παρέχοντας ανώτερη ανθεκτικότητα σε σύγκριση με τους μη επικαλυμμένους δακτυλίους γραφίτη.


● Ενισχυμένη μηχανική αντοχή: Ο συνδυασμός γραφίτη υψηλής αντοχής και επίστρωσης TAC έχει ως αποτέλεσμα ένα συστατικό με βελτιωμένες μηχανικές ιδιότητες, καθιστώντας τον δακτύλιο επικαλυμμένο με TAC εξαιρετικά ανθεκτικό στη φθορά. Η μηχανική του αντοχή είναι ζωτικής σημασίας για τη συγκράτηση των SIC Geafers σταθερά, εξασφαλίζοντας την ακριβή χάραξη και την πρόληψη οποιασδήποτε παραμόρφωσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.


Ως κορυφαίος προμηθευτής δακτυλίων επίστρωσης TAC, κατασκευαστής και εργοστάσιο στην Κίνα, η Vetek Semiconductor έχει εδώ και καιρό δεσμευτεί να παρέχει προηγμένα προϊόντα δακτυλίων επίστρωσης TAC και τεχνικές λύσεις για τη βιομηχανία επεξεργασίας ημιαγωγών και υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες προϊόντων. Ο Veteksemi προσβλέπει ειλικρινά να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.


Φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης TAC

Φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης TAC
Πυκνότητα επικάλυψης TAC
14.3 (g/cm3)
Ειδική εκπομπή
0.3
Συντελεστής θερμικής διαστολής
6,3*10-6
Σκληρότητα επίστρωσης TAC (HK)
2000 HK
Αντίσταση
1×10-5Ohm*cm
Θερμική σταθερότητα
<2500 ℃
Μεταβολές μεγέθους γραφίτη
-10~-20 μμ
Πάχος επικάλυψης
≥20um Τυπική τιμή (35um ± 10um)

Καταστήματα προϊόντων δακτυλίου επίστρωσης TaC VeTek ημιαγωγών

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


Hot Tags: Δακτύλιος επίστρωσης TaC
Αποστολή Ερώτησης
Πληροφορίες επαφής
  • Διεύθυνση

    Wangda Road, οδός Ziyang, κομητεία Wuyi, πόλη Jinhua, επαρχία Zhejiang, Κίνα

  • ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ

    anny@veteksemi.com

Για ερωτήσεις σχετικά με την επίστρωση καρβιδίου πυριτίου, την επίστρωση καρβιδίου τανταλίου, τον ειδικό γραφίτη ή τον τιμοκατάλογο, αφήστε το email σας σε εμάς και θα επικοινωνήσουμε μαζί μας εντός 24 ωρών.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept