Δακτύλιος σφράγισης επικαλυμμένου με SIC για επιταξία

Ⅰ. Τι είναι το SIC επικαλυμμένο δακτύλιο σφράγισης;

Ο δακτύλιος σφράγισης επικαλυμμένου με SIC (δακτύλιος σφράγισης με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου) είναι ένα συστατικό στεγανοποίησης ακριβείας που έχει σχεδιαστεί για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, πολύ διαβρωτικού ημιαγωγού. Ο πυρήνας του είναι μέσω της διαδικασίας εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) ή της φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), της επιφάνειας του υποστρώματος του γραφίτη ή του σύνθετου υλικού άνθρακα που καλύπτεται ομοιόμορφα με ένα στρώμα επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC).  

Ⅱ. Σύνθεση προϊόντων και τεχνολογία πυρήνα  

1. Υλικό υποστρώματος:

Σύνθετο υλικό γραφίτη ή άνθρακα-άνθρακα: Το βασικό υλικό έχει το πλεονέκτημα της υψηλής αντοχής στη θερμότητα (μπορεί να αντέξει περισσότερο από 2000 ℃) και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, εξασφαλίζοντας έτσι τη σταθερότητα των διαστάσεων υπό ακραίες συνθήκες όπως η υψηλή θερμοκρασία.  

Δομή κατεργασίας ακριβείας: Ο σχεδιασμός δακτυλίου ακριβείας μπορεί να προσαρμοστεί τέλεια στην κοιλότητα του εξοπλισμού ημιαγωγών, εξασφαλίζοντας έτσι την επιπεδότητα της επιφάνειας σφράγισης και την καλή αεροστεγή.  

2. Λειτουργική επικάλυψη:  

Επικάλυψη SIC υψηλής καθαρότητας (καθαρότητα ≥99,99%): Το πάχος της συνάφειας είναι συνήθως 10-50μm, μέσω της διαδικασίας CVD για να σχηματίσει ένα στρώμα πυκνής μη πορώδους επιφάνειας δομής, δίνοντας την επιφάνεια του δακτυλίου σφράγισης εξαιρετική χημική αδράνεια και μηχανικές ιδιότητες.

Ⅲ. Βασικές φυσικές ιδιότητες και πλεονεκτήματα του δακτυλίου σφράγισης με επικάλυψη SIC για επιταξία

Οι δακτύλιοι στεγανοποίησης SIC της Veteksemicon είναι ιδανικοί για διαδικασίες επιταξίας ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής τους απόδοσης υπό ακραίες συνθήκες. Παρακάτω είναι οι συγκεκριμένες φυσικές ιδιότητες του προϊόντος:

Iv. Βασικές εφαρμογές στην επεξεργασία επιταξίας ημιαγωγών  

Ο δακτύλιος σφράγισης επικαλυμμένου με SIC για επιταξία χρησιμοποιείται κυρίως σε MOCVD (μεταλλική οργανική εναπόθεση χημικών ατμών) και MBE (επιταξία μοριακής δέσμης) και άλλο εξοπλισμό διεργασίας, συγκεκριμένες λειτουργίες περιλαμβάνουν:  

1. Εξοπλισμός ημιαγωγών Επιμελητήριο Αεροπορική προστασία στεγανότητας

Οι δακτύλιοι στεγανοποίησης που επικαλούνται με SIC εξασφαλίζουν ότι οι διαστασιολογικές ανοχές (συνήθως εντός ± 0,01mm) της διεπαφής με το θάλαμο εξοπλισμού (π.χ. φλάντζα, άξονας βάσης) είναι όσο το δυνατόν μικρότερο με την προσαρμογή της δομής του δακτυλίου. 

Ταυτόχρονα, ο δακτύλιος στεγανοποίησης είναι η ακρίβεια που έχει κατασκευαστεί χρησιμοποιώντας εργαλεία CNC για να εξασφαλίσει μια ομοιόμορφη προσαρμογή σε ολόκληρη την περιφέρεια της επιφάνειας επαφής, εξαλείφοντας μικροσκοπικά κενά. Αυτό εμποδίζει αποτελεσματικά τη διαρροή των αερίων διεργασίας (π.χ., H₂, NH₃), εξασφαλίζει την καθαρότητα του περιβάλλοντος ανάπτυξης επιταξιακής στρώσης και βελτιώνει την απόδοση του δίσκου.  

Από την άλλη πλευρά, η καλή στεγανότητα του αερίου μπορεί επίσης να εμποδίσει την εισβολή των εξωτερικών ρύπων (O₂, H₂O), αποφεύγοντας έτσι αποτελεσματικά τα ελαττώματα στο επιταξιακό στρώμα (όπως οι εκτοπίσεις, το ανομοιογενές ντόπινγκ των ακαθαρσιών).  

2. Υποστήριξη δυναμικής σφράγισης υψηλής θερμοκρασίας  

Η υιοθέτηση της αρχής της συνεργικής αντιο-παραμορφωτικής επικάλυψης του υποστρώματος: Λόγω του χαμηλού συντελεστή θερμικής διαστολής του γραφίτη (CTE ≈ 4,5 × 10-⁶/° C) είναι πολύ μικρή και σε ακραίες υψηλές θερμοκρασίες (＞ 1000 ℃), η επέκταση είναι μόνο 1/5 της ποσότητας των μεταλλικών στεγανιών, η αποτελεσματική αποφυγή της επιφανειακής διαχωρισμού που προκαλεί την θερμό της θερμού που προκαλεί την θερμό της θερμού. Σε συνδυασμό με την εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα της επίστρωσης SIC (HV2500 ή περισσότερο), μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στις γρατζουνιές στην επιφάνεια σφράγισης που προκαλείται από μηχανική δόνηση ή πρόσκρουση των σωματιδίων και να διατηρήσει μικροσκοπική επίπεδη επίπεδη.

V. Συστάσεις συντήρησης

1. Ελέγξτε κανονικά την φθορά της επιφάνειας σφράγισης (συνιστάται τριμηνιαία επιθεώρηση οπτικού μικροσκοπίου) για να αποφευχθεί η ξαφνική αποτυχία.  

2. Χρησιμοποιήστε ειδικά καθαριστικά (όπως άνυδρη αιθανόλη) για την απομάκρυνση των καταθέσεων, απαγορεύουν τη μηχανική λείανση για να αποφευχθεί η βλάβη της επικάλυψης SIC.