Υποστήριξη περιστροφής γραφίτη

Το Seffeptor του Wafer είναι απαραίτητη για την επιταξιακή διαδικασία ανάπτυξης. Κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης, το υπόστρωμα δίσκων τοποθετείται στο Sensceptor.Vetek Semiconductor's High-Fority Graphite περιστρεφόμενους προσανατολιστές χρησιμοποιούνται σε εξοπλισμό επεξεργασίας υλικών υπό περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής κενού. Στην επιταξιακή ανάπτυξη του νιτριδίου του γαλλίου (διαδικασία MOCVD), διαδραματίζουν υποστηρικτικό ρόλο στην περιστροφή του υποστρώματος. Ο περιστρεφόμενος γραφίτης του Vetek Semiconductor έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

● Υψηλή καθαρότητα: Το περιεχόμενο ακαθαρσιών σε προστασίες από γραφίτη υψηλής καθαρότητας είναι κάτω από 5ppm. Αυτό το επίπεδο γραφίτη καθαρότητας μπορεί να αποφύγει την απελευθέρωση ακαθαρσιών σε υψηλές θερμοκρασίες για να εξασφαλίσει την καθαριότητα της διαδικασίας εναπόθεσης. Ως εκ τούτου, δεν απαιτείται επίστρωση για την κάλυψη των απαιτήσεων εργασίας.

Γραφίτης υψηλής καθαρότητας

● Εξαιρετικές θερμικές ιδιότητες: Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και η θερμική αγωγιμότητά του είναι πολύ υψηλότερη από άλλα υλικά. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι μικρός και μπορεί να διατηρήσει σταθερή απόδοση όταν αντιμετωπίζει αλλαγές θερμοκρασίας.

● Καλές μηχανικές ιδιότητες: Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας έχει καλή αντοχή στη φθορά και σκληρότητα, η οποία μπορεί να ανταποκριθεί στις πολύπλοκες απαιτήσεις της διαδικασίας CVD.

● Εξαιρετική αγωγιμότητα: Η αγωγιμότητα είναι εκατό φορές υψηλότερη από αυτή των γενικών μη μεταλλικών ορυκτών.

● Χημική σταθερότητα: Μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από οξέα, αλκαλικά και οργανικούς διαλύτες

Επιπλέον, ως κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής υψηλής περιεκτικότητας σε γραφίτη που περιστρέφεται από την Κίνα, ο Vetek Semiconductor προμηθεύει επίσης υψηλής ποιότηταςSIC Coated Graphite Sensceptor για MOCVD, Βαρέλι με επικάλυψη SIC, Υποστήριξη γραφίτη επικαλυμμένο με TACκαιMOCVD SIC COATINGE.Η Vetek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και υποστηρίζει επίσης προσαρμοσμένες υπηρεσίες. Ανυπομονούμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Είναι ημιαγωγόςΜετρητικά καταστήματα προϊόντων από γραφίτη: