SIC επικαλυμμένη με επικάλυψη για LPE PE2061S

Η VeTek Semiconductor είναι μια επαγγελματική επάνω πλάκα με επίστρωση SiC Κίνας για κατασκευαστή και προμηθευτή LPE PE2061S.

Το VeTeK Semiconductor SiC Coated Top Plate για LPE PE2061S σε επιταξιακό εξοπλισμό σιλικόνης, που χρησιμοποιείται σε συνδυασμό με έναν υποδοχέα σώματος τύπου βαρελιού για τη στήριξη και συγκράτηση των επιταξιακών πλακιδίων (ή υποστρωμάτων) κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης.

Η επάνω πλάκα με επίστρωση SiC για LPE PE2061S είναι συνήθως κατασκευασμένη από σταθερό σε υψηλή θερμοκρασία υλικό γραφίτη. Το VeTek Semiconductor εξετάζει προσεκτικά παράγοντες όπως ο συντελεστής θερμικής διαστολής κατά την επιλογή του καταλληλότερου υλικού γραφίτη, εξασφαλίζοντας ισχυρό δεσμό με την επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου.

Η επάνω πλάκα με επίστρωση SiC για LPE PE2061S παρουσιάζει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή για να αντέχει σε υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτικό περιβάλλον κατά την ανάπτυξη της επιταξίας. Αυτό εξασφαλίζει μακροπρόθεσμη σταθερότητα, αξιοπιστία και προστασία των γκοφρετών.

Στον επιταξιακό εξοπλισμό πυριτίου, η κύρια λειτουργία ολόκληρου του αντιδραστήρα με επίστρωση CVD SiC είναι να υποστηρίζει τα πλακίδια και να παρέχει μια ομοιόμορφη επιφάνεια υποστρώματος για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων. Επιπλέον, επιτρέπει προσαρμογές στη θέση και τον προσανατολισμό των πλακών, διευκολύνοντας τον έλεγχο της θερμοκρασίας και της δυναμικής των υγρών κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανάπτυξης για να επιτευχθούν οι επιθυμητές συνθήκες ανάπτυξης και τα χαρακτηριστικά επιταξιακού στρώματος.

Τα προϊόντα του Vetek Semiconductor προσφέρουν υψηλή ακρίβεια και ομοιόμορφη επικάλυψη. Η ενσωμάτωση ενός ρυθμιστικού στρώματος επεκτείνει επίσης τη διάρκεια ζωής του προϊόντος. Σε επιταξιακό εξοπλισμό πυριτίου, που χρησιμοποιείται σε συνδυασμό με ένα σωματικό σύστημα τύπου βαρελιού για να υποστηρίξει και να κρατήσει τις επιταξιακές πλακές (ή τα υποστρώματα) κατά τη διάρκεια της επιταξιακής διαδικασίας ανάπτυξης.

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης CVD:

Ημιαγωγός αντιπροσώπων

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας τσιπ ημιαγωγών: