Φορέας επικάλυψης CVD TAC

Το Vetek Semiconductor είναι επαγγελματίας ηγέτης China CVD TAC Coating Carrier, Epitaxy Sensceptor,Υποστήριξη γραφίτη επικαλυμμένο με TACκατασκευαστής.

Μέσω της συνεχιζόμενης έρευνας και της υλικής καινοτομίας, ο φορέας επικάλυψης CVD TAC της Vetek Semiconductor διαδραματίζει πολύ κρίσιμο ρόλο στην επιταξιακή διαδικασία, συμπεριλαμβανομένων κυρίως των ακόλουθων πτυχών:

Προστασία υποστρώματος: Ο φορέας επικάλυψης CVD TAC παρέχει εξαιρετική χημική σταθερότητα και θερμική σταθερότητα, εμποδίζοντας αποτελεσματικά την υψηλή θερμοκρασία και τα διαβρωτικά αέρια να διαβρώσουν το υπόστρωμα και το εσωτερικό τοίχωμα του αντιδραστήρα, εξασφαλίζοντας την καθαρότητα και τη σταθερότητα του περιβάλλοντος διεργασίας.

Θερμική ομοιομορφία: Σε συνδυασμό με την υψηλή θερμική αγωγιμότητα του φορέα επικάλυψης CVD TAC, εξασφαλίζει την ομοιομορφία της κατανομής της θερμοκρασίας μέσα στον αντιδραστήρα, βελτιστοποιεί την ποιότητα των κρυστάλλων και το πάχος της ομοιομορφίας του επιταξιακού στρώματος και ενισχύει τη συνοχή της απόδοσης του τελικού προϊόντος.

Έλεγχος μόλυνσης σωματιδίων: Δεδομένου ότι οι μεταφορείς επικαλυμμένων με CVD TAC έχουν εξαιρετικά χαμηλά ποσοστά παραγωγής σωματιδίων, οι ομαλές επιφανειακές ιδιότητες μειώνουν σημαντικά τον κίνδυνο μόλυνσης των σωματιδίων, βελτιώνοντας έτσι την καθαρότητα και την απόδοση κατά την επιταξιακή ανάπτυξη.

Διάρκεια ζωής εκτεταμένου εξοπλισμού: Σε συνδυασμό με την εξαιρετική αντοχή στη φθορά και την αντίσταση στη διάβρωση του φορέα επικάλυψης CVD TAC, επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των συστατικών του θαλάμου αντίδρασης, μειώνει το κόστος διακοπής και συντήρησης του εξοπλισμού και βελτιώνει την αποτελεσματικότητα της παραγωγής.

Συνδυάζοντας τα παραπάνω χαρακτηριστικά, ο φορέας επικάλυψης CVD TAC της Vetek βελτιώνει μόνο την αξιοπιστία της διαδικασίας και την ποιότητα του προϊόντος στην επιταξιακή διαδικασία ανάπτυξης, αλλά παρέχει επίσης μια οικονομικά αποδοτική λύση για την κατασκευή ημιαγωγών.

Επικάλυψη καρβιδίου σε μικροσκοπική διατομή:

Φυσικές ιδιότητες του φορέα επικάλυψης CVD TAC:

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Shop: