CVD SIC Pancake Sensceptor

Είναι ημιαγωγός Η CVD SIC Pancake Sensceptor κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας την τελευταία τεχνολογία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για να εξασφαλίσει εξαιρετική ανθεκτικότητα και ακραία προσαρμοστικότητα της θερμοκρασίας. Τα παρακάτω είναι οι κύριες φυσικές του ιδιότητες:

● Θερμική σταθερότητα: Η υψηλή θερμική σταθερότητα της CVD SIC εξασφαλίζει σταθερή απόδοση υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας.

● Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: Το υλικό έχει εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, ο οποίος ελαχιστοποιεί τη στρέβλωση και την παραμόρφωση που προκαλείται από τις μεταβολές της θερμοκρασίας.

● Χημική αντοχή στη διάβρωση: Η εξαιρετική χημική αντίσταση της επιτρέπει να διατηρεί υψηλή απόδοση σε διάφορα σκληρά περιβάλλοντα.

Ακριβής υποστήριξη και βελτιστοποιημένη μεταφορά θερμότητας

Το SIC επικαλυμμένο με το SIC Coated του Veteksemi έχει σχεδιαστεί για να φιλοξενεί πλακίδια ημιαγωγών και να παρέχει εξαιρετική υποστήριξη κατά τη διάρκεια της επιταξιακής εναπόθεσης. Το SIC Pancake Sensceptor έχει σχεδιαστεί χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία υπολογιστικής προσομοίωσης για την ελαχιστοποίηση της στρέβλωσης και της παραμόρφωσης υπό διαφορετικές συνθήκες θερμοκρασίας και πίεσης. Ο τυπικός συντελεστής θερμικής διαστολής είναι περίπου 4,0 × 10^-6/° C, πράγμα που σημαίνει ότι η σταθερότητά του διαστάσεων είναι σημαντικά καλύτερη από τα παραδοσιακά υλικά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας έτσι τη συνοχή του πάχους του δίσκου (συνήθως 200 mm έως 300 mm).

Επιπλέον, το CVD Pancake Sensceptor υπερέχει στη μεταφορά θερμότητας, με θερμική αγωγιμότητα μέχρι 120 W/M · k. Αυτή η υψηλή θερμική αγωγιμότητα μπορεί να διεξάγει γρήγορα και αποτελεσματικά τη θερμότητα, να ενισχύσει την ομοιομορφία της θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο, να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας κατά τη διάρκεια της επιταξιακής εναπόθεσης και να μειώσει τα ελαττώματα εναπόθεσης που προκαλούνται από ανομοιογενή θερμότητα. Η βελτιστοποιημένη απόδοση της μεταφοράς θερμότητας είναι κρίσιμη για τη βελτίωση της ποιότητας εναπόθεσης, η οποία μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τις διακυμάνσεις της διαδικασίας και να βελτιώσει την απόδοση.

Μέσα από αυτές τις βελτιστοποιήσεις σχεδιασμού και απόδοσης, ο CVD Sicake Sensceptor της Vetek Semiconductor παρέχει μια σταθερή βάση για την κατασκευή ημιαγωγών, εξασφαλίζοντας την αξιοπιστία και τη συνέπεια κάτω από τις σκληρές συνθήκες επεξεργασίας και την ικανοποίηση των αυστηρών απαιτήσεων της σύγχρονης βιομηχανίας ημιαγωγών για υψηλή ακρίβεια και ποιότητα.

Κρυσταλλική δομή CVD SIC Film

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD
Ιδιοκτησία	Τυπική αξία
Κρυσταλλική δομή	FCC β φάσης Πολυκρυσταλλικές, κυρίως (111) προσανατολισμένες
Πυκνότητα	3.21 g/cm3
Σκληρότητα	2500 Vickers Hardness (500g φορτίο)
Μέγεθος κόκκων	2~10μm
Χημική καθαρότητα	99.99995%
Θερμότητα	640 J · kg-1· Κ-1
Θερμοκρασία εξάχνωσης	2700 ℃
Κάμψη	415 MPa RT 4 σημεία
Συγκριτικό του Young	430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Θερμική αγωγιμότητα	300W · Μ-1· Κ-1
Θερμική επέκταση (CTE)	4,5 × 10-6K-1