Δαχτυλίδι κάλυψης γκοφρέτας με επίστρωση TaC

Βασικά Τεχνικά Πλεονεκτήματα

• Εξαιρετική χημική αντοχή: Σχεδιασμένο για να αντέχει σε σκληρά αέρια χάραξης (H2, NH3, HCl) σε θερμοκρασίες μεταξύ 1200°C και 2000°C.

• Αντιστοίχιση θερμικής διαστολής: Η ιδιόκτητη διαδικασία CVD μας διασφαλίζει ότι η επίστρωση TaC έχει βελτιστοποιημένη αντιστοίχιση CTE (Συντελεστής Θερμικής Διαστολής) με το υπόστρωμα γραφίτη, αποτρέποντας το ξεφλούδισμα ή το ράγισμα κατά τη διάρκεια της ταχείας θερμικής ανακύκλωσης.

• Ανώτερος έλεγχος σωματιδίων: Σφραγίζοντας πλήρως τον πορώδες γραφίτη, το στρώμα TaC εξαλείφει την απόρριψη σωματιδίων, αυξάνοντας άμεσα την απόδοση του πλακιδίου και μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας του αντιδραστήρα.

• Εκτεταμένη διάρκεια ζωής: Εξαιρετικά ανθεκτική στη φθορά επιφάνεια που αντέχει σε επαναλαμβανόμενους κύκλους καθαρισμού, προσφέροντας σημαντικά χαμηλότερο κόστος ιδιοκτησίας (CoO) σε σύγκριση με εναλλακτικές λύσεις χωρίς επίστρωση ή με επίστρωση SiC.

Επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (TaC) σε μικροσκοπική διατομή

Παράμετρος προϊόντος του δακτυλίου κάλυψης γραφίτη με επικάλυψη TaC

Γιατί να επιλέξετε τα δαχτυλίδια κάλυψης TaC μας;

Κατανοούμε ότι στην κατασκευή ημιαγωγών, η αξιοπιστία ισούται με την κερδοφορία. Οι δακτύλιοι κάλυψης γραφίτη με επίστρωση TaC έχουν ελεγχθεί κατά παρτίδες για την πυκνότητα και την καθαρότητα της επίστρωσης. Είτε κάνετε μετάβαση από την παραγωγή γκοφρέτας 6 ιντσών σε 8 ιντσών είτε βελτιστοποιείτε μια διαδικασία MOCVD υψηλής θερμοκρασίας, οι δακτύλιοι μας παρέχουν τη θερμική και χημική θωράκιση που είναι απαραίτητη για επιταξία παγκόσμιας κλάσης.