Προϊόντα
Τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγού
  • Τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγούΤεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγού

Τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγού

Η τεχνολογία θερμικού ψεκασμού Vetek Semiconductor Semiconductor είναι μια προηγμένη διαδικασία που ψεκάζει υλικά σε λιωμένη ή ημι-τηγμένη κατάσταση στην επιφάνεια ενός υποστρώματος για να σχηματίσει μια επίστρωση. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, κυρίως για τη δημιουργία επικαλύψεων με συγκεκριμένες λειτουργίες στην επιφάνεια του υποστρώματος, όπως αγωγιμότητα, μόνωση, αντοχή στη διάβρωση και αντοχή στην οξείδωση. Τα κύρια πλεονεκτήματα της τεχνολογίας θερμικού ψεκασμού περιλαμβάνουν υψηλή απόδοση, ελεγχόμενο πάχος επίστρωσης και καλή πρόσφυση επίστρωσης, γεγονός που την καθιστά ιδιαίτερα σημαντική στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών που απαιτεί υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία. Ανυπομονώ για την ερώτησή σας.

Η τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγών είναι μια προηγμένη διαδικασία που ψεκάζει υλικά σε τετηγμένη ή ημιτηγμένη κατάσταση στην επιφάνεια ενός υποστρώματος για να σχηματιστεί μια επίστρωση. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, κυρίως για τη δημιουργία επικαλύψεων με συγκεκριμένες λειτουργίες στην επιφάνεια του υποστρώματος, όπως αγωγιμότητα, μόνωση, αντοχή στη διάβρωση και αντοχή στην οξείδωση. Τα κύρια πλεονεκτήματα της τεχνολογίας θερμικού ψεκασμού περιλαμβάνουν υψηλή απόδοση, ελεγχόμενο πάχος επίστρωσης και καλή πρόσφυση επίστρωσης, γεγονός που την καθιστά ιδιαίτερα σημαντική στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών που απαιτεί υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία.


Εφαρμογή τεχνολογίας θερμικού ψεκασμού σε ημιαγωγούς


Definition of dry etching

Χάραξη δέσμης πλάσματος (ξηρή χάραξη)

Συνήθως αναφέρεται στη χρήση της εκκένωσης της λάμψης για τη δημιουργία δραστικών σωματιδίων που περιέχουν φορτισμένα σωματίδια όπως πλάσμα και ηλεκτρόνια και εξαιρετικά χημικά ενεργά ουδέτερα άτομα και μόρια και ελεύθερες ρίζες, τα οποία διαχέονται στο τμήμα που πρέπει να χαθεί, να αντιδρά με το χαραγμένο υλικό, σχηματίζουν πτητικά προϊόντα και αφαιρούνται, ολοκληρώνοντας έτσι την τεχνολογία χάραξης της μεταφοράς προτύπων. Πρόκειται για μια αναντικατάστατη διαδικασία για την πραγματοποίηση της μεταφοράς υψηλής πιστότητας των λεπτών μοτίβων από πρότυπα φωτολιθογραφίας σε πλακίδια στην παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας.


Θα δημιουργηθεί ένας μεγάλος αριθμός ενεργών ελεύθερων ριζών όπως Cl και F. Όταν χαράσσουν συσκευές ημιαγωγών, διαβρώνουν τις εσωτερικές επιφάνειες άλλων τμημάτων του εξοπλισμού, συμπεριλαμβανομένων των κραμάτων αλουμινίου και των κεραμικών δομικών μερών. Αυτή η ισχυρή διάβρωση παράγει μεγάλο αριθμό σωματιδίων, τα οποία όχι μόνο απαιτούν συχνή συντήρηση του εξοπλισμού παραγωγής, αλλά προκαλούν επίσης αστοχία του θαλάμου διαδικασίας χάραξης και βλάβη στη συσκευή σε σοβαρές περιπτώσεις.


Το Y2O3 είναι ένα υλικό με πολύ σταθερές χημικές και θερμικές ιδιότητες. Το σημείο τήξης του είναι πολύ πάνω από 2400 ℃. Μπορεί να παραμείνει σταθερός σε ένα ισχυρό διαβρωτικό περιβάλλον. Η αντίσταση του στον βομβαρδισμό του πλάσματος μπορεί να επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων και να μειώσει τα σωματίδια στο θάλαμο χάραξης.

Το κύριο διάλυμα είναι η ψεκασμό επικάλυψης Y2O3 υψηλής καθαρότητας για την προστασία του θαλάμου χάραξης και άλλων βασικών εξαρτημάτων.


Hot Tags: Τεχνολογία θερμικού ψεκασμού ημιαγωγών
Αποστολή Ερώτησης
Πληροφορίες επαφής
  • Διεύθυνση

    Wangda Road, οδός Ziyang, κομητεία Wuyi, πόλη Jinhua, επαρχία Zhejiang, Κίνα

  • ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ

    anny@veteksemi.com

Για ερωτήσεις σχετικά με την επίστρωση καρβιδίου πυριτίου, την επίστρωση καρβιδίου τανταλίου, τον ειδικό γραφίτη ή τον τιμοκατάλογο, αφήστε το email σας σε εμάς και θα επικοινωνήσουμε μαζί μας εντός 24 ωρών.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept