Πλάκα διανομής αερίου χαλαζία

Οι πλάκες διανομής αερίου Quartz, γνωστές και ως ντους χαλαζία, είναι κρίσιμα στοιχεία στην κατασκευή ημιαγωγών. Αξιοποιώντας την εξαιρετική καθαρότητα, την αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας και την αντοχή στη διάβρωση του χαλαζία, αυτές οι πλάκες εξασφαλίζουν μια ομοιόμορφη και σταθερή ροή αερίων διεργασίας στην επιφάνεια του δίσκου. Αυτή η ακριβής παράδοση είναι απαραίτητη για τη διατήρηση της ποιότητας και της ομοιομορφίας των κατατεθειμένων ταινιών ή των χαραγμένων χαρακτηριστικών.

Βασικά χαρακτηριστικά του χαλαζία υψηλής καθαρότητας

● Υλικό: 99,99%χαλαζία υψηλής καθαρότητας

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας: Αντέχει θερμοκρασίες πάνω από 1000 ℃

● Αντίσταση διάβρωσης: Εξαιρετική ανθεκτικότητα έναντι αερίων διεργασιών και περιβάλλοντα πλάσματος

● Ροή αερίου ακριβείας: Ομοιόμορφη κατανομή μικρο-οπών για βέλτιστη παράδοση αερίου και ομοιομορφία εναπόθεσης

● Προσαρμόσιμος σχεδιασμός: Το μέγεθος, το πρότυπο οπών και τα χαρακτηριστικά τοποθέτησης μπορούν να προσαρμοστούν για συγκεκριμένα μοντέλα εξοπλισμού

Βασικοί ρόλοι στην κατασκευή ημιαγωγών

1. Απορρόφηση φυσικού ατμού (PVD) & Χημική εναπόθεση ατμών (CVD)

Ρόλος: Στις διεργασίες PVD και CVD, η πλάκα διανομής αερίου κατευθύνει με ακρίβεια τα αντιδραστικά αέρια (π.χ. σιλάνη, αμμωνία, οξυγόνο) ή πρόδρομους πάνω στο δίσκο για να σχηματίσουν μια επιθυμητή λεπτή μεμβράνη.

Συγκεκριμένες χρήσεις:

● Έλεγχος ομοιομορφίας: Οι μικρο-τρύπες της πλάκας εξασφαλίζουν ότι η ροή και η συγκέντρωση του αερίου είναι ομοιόμορφες σε ολόκληρη την επιφάνεια του δίσκου. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για την εναπόθεση μεμβράνων με σταθερό πάχος και απόδοση.

● Πρόληψη μόλυνσης: Η υψηλή καθαρότητα του χαλαζία εμποδίζει την πλάκα να αντιδράσει με αέρια διεργασίας ή απελευθερώνοντας ακαθαρσίες. Αυτό διατηρεί την καθαρότητα της ταινίας και εμποδίζει τα ελαττώματα στην επιφάνεια του δίσκου.

2. Απομονία χημικών ατμών με ενισχυμένη με πλάσμα (PECVD)

Ρόλος: Στο PECVD, το ντους χαλαζία όχι μόνο προσφέρει αντιδραστικά αέρια αλλά και λειτουργεί ως ηλεκτρόδιο για την παραγωγή πλάσματος.

Συγκεκριμένες χρήσεις:

● ανάφλεξη πλάσματος: Το ντους είναι συνήθως συνδεδεμένο με μια πηγή ενέργειας ραδιοσυχνοτήτων (RF) για τη δημιουργία ενός πλάσματος. Τα σωματίδια υψηλής ενέργειας εντός του πλάσματος προάγουν την αποσύνθεση των αερίων αντιδραστηρίων, επιτρέποντας την εναπόθεση φιλμ σε χαμηλότερες θερμοκρασίες.

● Θερμική σταθερότητα: Το χαλαζία παρουσιάζει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, επιτρέποντάς του να αντέχει στο περιβάλλον πλάσματος υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό βοηθά στη διατήρηση μιας ομοιόμορφης θερμοκρασίας στο θάλαμο διεργασίας, εξασφαλίζοντας περαιτέρω την ποιότητα και τη συνοχή του φιλμ.

3. Ξηρή χάραξη

Ρόλος: Σε ξηρή χάραξη, η πλάκα διανομής αερίου εισάγει αντιδραστικά αέρια χάραξης (π.χ. φθοροκαρδούς, χλώριο) στο θάλαμο χάραξης.

Συγκεκριμένες χρήσεις:

● Η ομοιομορφία της χάραξης: Η πλάκα εξασφαλίζει μια ομοιόμορφη ροή και συγκέντρωση αερίων χάραξης, η οποία εγγυάται σταθερό βάθος και προφίλ χάραξης σε ολόκληρο το δίσκο. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για την επίτευξη των ακριβών μοτίβων που απαιτούνται για τις προηγμένες συσκευές ημιαγωγών.

● Αντίσταση διάβρωσης: Οι ισχυρές διαβρωτικές ιδιότητες των αερίων χάραξης απαιτούν ένα ανθεκτικό υλικό. Η υψηλή αντοχή στη διάβρωση του Quartz επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του ντους και μειώνει τον κίνδυνο διακοπής της διαδικασίας.

4. Καθαρισμός πλακιδίων

Ρόλος: Σε συγκεκριμένες διεργασίες καθαρισμού δίσκων, χρησιμοποιείται ομοιόμορφα μια πλάκα διανομής αερίου χαλαζία για την παροχή ομοιόμορφων αερίων καθαρισμού (π.χ. όζον, αμμωνία) για την απομάκρυνση υπολειμμάτων ή μολυσματικών ουσιών.

Συγκεκριμένες χρήσεις:

● Συνεχής καθαρισμός: Η πλάκα εξασφαλίζει ότι τα αέρια καθαρισμού φτάνουν σε κάθε μέρος του δίσκου, επιτρέποντας μια διεξοδική και ομοιόμορφη διαδικασία καθαρισμού.

● Χημική συμβατότητα: Η συμβατότητα του Quartz με ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών καθαρισμού αποτρέπει τις αντιδράσεις και διατηρεί την καθαρότητα και την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας καθαρισμού.