Νέα

Αυτό το άρθρο αναλύει τους λόγους για τους οποίους η SIC επικαλύπτει ένα βασικό υλικό πυρήνα για την επιταξιακή ανάπτυξη και επικεντρώνεται στα συγκεκριμένα πλεονεκτήματα της επίστρωσης SIC στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Τα νανοϋλικά καρβιδίου πυριτίου (SIC) είναι υλικά με τουλάχιστον μία διάσταση στην κλίμακα νανομέτρου (1-100Nm). Αυτά τα υλικά μπορούν να είναι μηδενικά, ένα, δύο ή τρισδιάστατα και έχουν διαφορετικές εφαρμογές.

Το CVD SIC είναι υλικό καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που κατασκευάζεται με χημική εναπόθεση ατμών. Χρησιμοποιείται κυρίως για διάφορα εξαρτήματα και επικαλύψεις στον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών. Το ακόλουθο περιεχόμενο είναι μια εισαγωγή στις λειτουργίες ταξινόμησης προϊόντων και βασικών λειτουργιών του CVD SIC

Αυτό το άρθρο εισάγει κυρίως τους τύπους προϊόντων, τα χαρακτηριστικά του προϊόντος και τις κύριες λειτουργίες της επικάλυψης TAC στην επεξεργασία ημιαγωγών και κάνει μια ολοκληρωμένη ανάλυση και ερμηνεία των προϊόντων επικάλυψης TAC στο σύνολό τους.