Νέα της βιομηχανίας

Αυτό το άρθρο εισάγει κυρίως τους τύπους προϊόντων, τα χαρακτηριστικά του προϊόντος και τις κύριες λειτουργίες του MOCVD Sensceptor στην επεξεργασία ημιαγωγών και κάνει μια ολοκληρωμένη ανάλυση και ερμηνεία των προϊόντων SEFCVD Sensceptor στο σύνολό τους.

Ένας επικαλυμμένος με SiC υποδοχέας γραφίτη για ASM δεν είναι απλώς ένα ανταλλακτικό μέσα σε ένα σύστημα επιταξίας. Είναι ένας φορέας κρίσιμος για τη διεργασία που επηρεάζει τη θερμική ομοιομορφία, την καθαρότητα της γκοφρέτας, την ανθεκτικότητα της επίστρωσης, τη σταθερότητα του θαλάμου και το μακροπρόθεσμο κόστος παραγωγής.

Ένα κάλυμμα επίστρωσης CVD TaC δεν είναι απλώς ένα προστατευτικό καπάκι ή ένα επικαλυμμένο εξάρτημα γραφίτη. Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, μπορεί να επηρεάσει την καθαριότητα του θαλάμου, τη θερμική σταθερότητα, τη διάρκεια ζωής του μέρους και τη συνοχή της διαδικασίας.

Στην παραγωγή PECVD, πολλά προβλήματα επίστρωσης και εναπόθεσης δεν ξεκινούν με την ισχύ πλάσματος ή τη χημεία αερίων. Ξεκινούν με τον φορέα που κρατάει τις γκοφρέτες.

Η επιλογή του σωστού χωνευτηρίου χαλαζία ημιαγωγών δεν είναι μια μικρή λεπτομέρεια αγοράς. Επηρεάζει άμεσα την καθαριότητα του τήγματος, τη θερμική σταθερότητα, τη συνοχή έλξης των κρυστάλλων, τον έλεγχο απόδοσης και τον ρυθμό σέρβις ολόκληρης της γραμμής ανάπτυξης.

Η σκόνη γραφίτη υψηλής καθαρότητας έχει γίνει ένα κρίσιμο υλικό για την κατασκευή ημιαγωγών, την παραγωγή φωτοβολταϊκών, τα προηγμένα κεραμικά και τις βιομηχανικές διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας. Αλλά τι ακριβώς ορίζει τη σκόνη γραφίτη υψηλής καθαρότητας και γιατί ξεπερνά τα τυπικά υλικά γραφίτη σε απαιτητικά περιβάλλοντα;