Νέα της βιομηχανίας

Το Boat Quartz είναι ένα βασικό στοιχείο που φέρει φορτίο που χρησιμοποιείται στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται κυρίως για την επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας των πλακών, όπως η διάχυση, η οξείδωση και η ανόπτηση. Η εξαιρετική θερμική σταθερότητα, τα χαμηλά χαρακτηριστικά της ρύπανσης και η αντίσταση στη διάβρωση την καθιστούν απαραίτητο υλικό στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτό το άρθρο θα επεξεργαστεί τις υλικές, τις φυσικές ιδιότητες, την ταξινόμηση, τα σενάρια εφαρμογής του Boat Quartz και τις διαφορές του από το σκάφος γραφίτη PECVD.

Το υλικό πυρήνα του σκάφους γραφίτη PECVD είναι ισοτροπικό υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας (η καθαρότητα είναι συνήθως ≥99,999%), το οποίο έχει εξαιρετική ηλεκτρική αγωγιμότητα, θερμική αγωγιμότητα και πυκνότητα. Σε σύγκριση με τα συνηθισμένα σκάφη γραφίτη, τα σκάφη γραφίτη PECVD έχουν πολλά πλεονεκτήματα φυσικής και χημικής ιδιοκτησίας και χρησιμοποιούνται κυρίως στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, ειδικά στις διαδικασίες PECVD και CVD.

Οι δίσκοι γραφίτη MOCVD διαδραματίζουν σημαντικό ρόλο στην επιταξιακή διαδικασία. Αυτό το άρθρο κάνει μια λεπτομερή ανάλυση σχετικά με την επιλογή των δίσκων γραφίτη MOCVD από τις προοπτικές των υλικών ιδιοτήτων και των σεναρίων εφαρμογής.