Νέα της βιομηχανίας

Στην ανάπτυξη μονοκρυστάλλων SiC και AlN με τη χρήση της μεθόδου φυσικής μεταφοράς ατμών (PVT), κρίσιμα συστατικά όπως το χωνευτήριο, η θήκη σπόρων και ο δακτύλιος οδηγός παίζουν ζωτικό ρόλο. Όπως απεικονίζεται στο Σχήμα 2 [1], κατά τη διάρκεια της διαδικασίας PVT, ο κρύσταλλος των σπόρων τοποθετείται στην περιοχή χαμηλότερης θερμοκρασίας, ενώ η πρώτη ύλη SiC εκτίθεται σε υψηλότερες θερμοκρασίες (πάνω από 2400 ℃).

Τα υποστρώματα καρβιδίου πυριτίου έχουν πολλά ελαττώματα και δεν μπορούν να υποβληθούν σε επεξεργασία άμεσα. Μια συγκεκριμένη μεμονωμένη λεπτή μεμβράνη πρέπει να καλλιεργηθεί πάνω τους μέσω μιας επιταξιακής διαδικασίας για να φτιάξουν πλακίδια τσιπ. Αυτή η λεπτή μεμβράνη είναι το επιταξιακό στρώμα. Σχεδόν όλες οι συσκευές καρβιδίου πυριτίου πραγματοποιούνται σε επιταξιακά υλικά. Τα ομοιογενή επιταξιακά υλικά υψηλής ποιότητας πυριτίου αποτελούν τη βάση για την ανάπτυξη συσκευών καρβιδίου πυριτίου. Η απόδοση των επιταξιακών υλικών καθορίζει άμεσα την υλοποίηση της απόδοσης των συσκευών καρβιδίου πυριτίου.

Το καρβίδιο του πυριτίου αναδιαμορφώνει τη βιομηχανία ημιαγωγών για εφαρμογές ισχύος και υψηλής θερμοκρασίας, με τις ολοκληρωμένες ιδιότητές του, από επιταξιακά υποστρώματα έως προστατευτικά επιχρίσματα έως ηλεκτρικά οχήματα και συστήματα ανανεώσιμων πηγών ενέργειας.

Υψηλή καθαρότητα: Το επιταξιακό στρώμα πυριτίου που αναπτύσσεται με χημική εναπόθεση ατμού (CVD) έχει εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλύτερη επιπεδότητα επιφάνειας και χαμηλότερη πυκνότητα ελαττώματος από τα παραδοσιακά γκοφρέτα.

Το στερεό καρβίδιο του πυριτίου (SIC) έχει γίνει ένα από τα βασικά υλικά στην κατασκευή ημιαγωγών λόγω των μοναδικών φυσικών ιδιοτήτων του. Ακολουθεί μια ανάλυση των πλεονεκτημάτων και της πρακτικής αξίας που βασίζεται στις φυσικές του ιδιότητες και τις ειδικές εφαρμογές του σε εξοπλισμό ημιαγωγών (όπως φορείς πλακιδίων, κεφαλές ντους, δακτύλιοι εστίασης κ.λπ.).