Υψηλή καθαρότητα χαλαζία με βάρκα

Το VeTek Semiconductor's High Purity Quartz Wafer Boat είναι κατασκευασμένο από χαλαζία εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, ο οποίος έχει τα χαρακτηριστικά χαμηλής περιεκτικότητας σε υδροξύλια, υψηλής καθαρότητας και ισχυρής αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία. Αυτό το υλικό χρησιμοποιείται επίσης ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών ως υλικό για κλιβάνους διάχυσης και εξαρτήματα κλιβάνων CVD. Ως δοχείο για τη μεταφορά πλακών πυριτίου, η γκοφρέτα σκαφών υψηλής καθαρότητας Quartz έχει χρησιμοποιηθεί σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, χημικά και άλλα πεδία.

Σενάρια εφαρμογής

Πρώτον είναι το πεδίο των ημιαγωγών. Η διαδικασία θερμικής επεξεργασίας των πλακών είναι πολύ σημαντική, συμπεριλαμβανομένης της θερμικής οξείδωσης, της διάχυσης, της ανόπτησης κ.λπ. Μέσω της διαδικασίας θερμικής επεξεργασίας, δίνουμε στις γκοφρέτες νέα χαρακτηριστικά.

Οι σωλήνες πυρήνα κλιβάνου χρησιμοποιούνται για διεργασίες επεξεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών, όπως θερμική οξείδωση, διάχυση υψηλής θερμοκρασίας, ανόπτηση και εναπόθεση λεπτού φιλμ. Ο φούρνος θέρμανσης παρτίδας χρησιμοποιείται κυρίως για τη θέρμανση του σώματος του κλιβάνου με πηνία για να ολοκληρωθεί η θερμική επεξεργασία. Σύμφωνα με τις διαφορετικές δομές εργασίας, οι σωλήνες πυρήνα του κλιβάνου μπορούν να χωριστούν σε οριζόντιους κλιβάνους και κατακόρυφους φούρνους:

(1) Το σκάφος με χαλαζία υψηλής καθαρότητας του οριζόντιου φούρνου τοποθετείται οριζόντια, οπότε ονομάζεται οριζόντιος φούρνος.

Στη διαδικασία επεξεργασίας θερμότητας, το δίσκο φορτώνεται στο σκάφος με χαλαζία υψηλής καθαρότητας, που αποστέλλεται αργά στον σωλήνα του κλιβάνου χαλαζία και το δίσκο τοποθετείται σε μια σταθερή ζώνη θερμοκρασίας για επεξεργασία. Αφού περιμένει την ολοκλήρωση της διαδικασίας, το πλακίδιο που χρησιμοποιείται με χαλαζία χαλαζία σιγά -σιγά από τον φούρνο χαλαζία για να αποτρέψει την καταστροφή του δίσκου λόγω ξαφνικών αλλαγών θερμοκρασίας. Οι οριζόντιοι φούρνοι χρησιμοποιούνται ευρέως στη διαδικασία διάχυσης των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με διαμέτρους πλακιδίων μικρότερη από 200mm. 

Τα πλεονεκτήματα των οριζόντιων κλιβάνων είναι η απλή διαδικασία, η καλή ομοιομορφία μεταξύ των πλακιδίων και η δυνατότητα επεξεργασίας πολλαπλών πλακών ταυτόχρονα. Τα μειονεκτήματα είναι η αργή ταχύτητα θέρμανσης, το μεγάλο μέγεθος εξοπλισμού, η δυσκολία στον αυτοματισμό και η εύκολη είσοδος εξωτερικού αέρα κατά τη φόρτωση και εκφόρτωση γκοφρέτας.

(2)Το High Quartz Wafer Boat του κατακόρυφου κλιβάνου τοποθετείται κατακόρυφα, επομένως ονομάζεται κατακόρυφος φούρνος.

Το δίσκο φορτώνεται στον πύργο χαλαζία και σιγά -σιγά ανεβαίνει στον σωλήνα φούρνου χαλαζία για θέρμανση. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θέρμανσης, το σκάφος με χαλαζία υψηλής καθαρότητας θα περιστρέφεται αργά για να εξασφαλίσει ότι το δίσκο θερμαίνεται ομοιόμορφα. Μετά την επεξεργασία, ο πύργος χαλαζία θα κατεβαίνει αργά για να αποφευχθεί οι αλλαγές θερμοκρασίας που μπορεί να προκαλέσουν ζημιές. Οι κατακόρυφοι κλιβάνοι χρησιμοποιούνται κυρίως στη διαδικασία ολοκληρωμένου κυκλώματος των δισκίων διαμέτρου 200mm και 300mm. Η τεχνολογία πυρήνα των κατακόρυφων κλιβών έγκειται στον έλεγχο πεδίου θερμοκρασίας υψηλής ακρίβειας, στον έλεγχο των σωματιδίων, στον μικρο-περιβαλλοντικό έλεγχο και στον έλεγχο και την κινητοποίηση. Τα πλεονεκτήματα των κάθετων κλιβάνων είναι το λεπτό φυσικό στρώμα οξειδίου, η καλή ομοιομορφία, η ευκολότερη αυτοματοποίηση, το αποτύπωμα μικρού εξοπλισμού και η επεξεργασία παρτίδας. Το μειονέκτημα είναι ότι η ταχύτητα θέρμανσης είναι αργή.

Στον τομέα των φωτοβολταϊκών, η διαδικασία παραγωγής φωτοβολταϊκών κυψελών απαιτεί βάρκες χαλαζία για τη μεταφορά και τη μεταφορά πλακιδίων πυριτίου στη διαδικασία διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας. Η επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας σε ατμόσφαιρα υψηλής καθαρότητας αζώτου, οξυγόνου ή άλλης ατμόσφαιρας αδρανούς αερίου, όπως η διάχυση φωσφόρου ή η διάχυση βορίου, είναι ένα σημαντικό βήμα στη διαδικασία κατασκευής των ηλιακών κυψελών. Ο σκοπός είναι να σχηματιστεί μια σύνδεση PN στη γκοφρέτα πυριτίου.

Το σκάφος χαλαζία διαθέτει επακριβώς σχεδιασμένες υποδοχές στο εσωτερικό για να διασφαλίσει ότι η γκοφρέτα πυριτίου διατηρεί την ακριβή θέση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας διάχυσης σε υψηλή θερμοκρασία και θερμαίνεται ομοιόμορφα. Επειδή το υλικό χαλαζία έχει καλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και χημική σταθερότητα, δεν θα μολύνει τη γκοφρέτα πυριτίου, η οποία συμβάλλει στη διατήρηση υψηλής καθαριότητας του περιβάλλοντος παραγωγής.

Ως καινοτόμος και ηγέτης στο πλακίδιο της Κίνας χρησιμοποίησε αγορά με χαλαζία, είτε ασχολείσαι με τη βιομηχανία ημιαγωγών είτε τη φωτοβολταϊκή βιομηχανία, εφόσον χρειάζεσαι βάρκα με υψηλή καθαρότητα χαλαζία, παρακαλώ ζητήστε μας ένα απόσπασμα και θα μπορέσουμε να προσαρμόσουμε για εσάς σύμφωνα με τις ανάγκες σας.

VeTek Semiconductor καταστήματα προϊόντων: