Σκάφος γραφίτη για PECVD

Εφαρμογή: Το σκάφος γραφίτη Veteksemicon για PECVD είναι ένα βασικό συστατικό στη διαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένη με πλάσμα. Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την εναπόθεση υψηλής ποιότητας νιτριδίου του πυριτίου, οξειδίου του πυριτίου και άλλων λεπτών μεμβρανών σε γκοφρέτες πυριτίου, σύνθετους ημιαγωγούς και υποστρώματα πάνελ οθόνης. Η απόδοσή του καθορίζει άμεσα την ομοιομορφία του φιλμ, τη σταθερότητα της διαδικασίας και το κόστος παραγωγής.

Υπηρεσίες που μπορούν να παρέχονται: ανάλυση σεναρίου εφαρμογής πελατών, αντιστοίχιση υλικών, επίλυση τεχνικών προβλημάτων.

Εταιρικό προφίλ：Το Veteksemicon διαθέτει 2 εργαστήρια, μια ομάδα ειδικών με 20ετή εμπειρία υλικών, με δυνατότητες Ε&Α και παραγωγής, δοκιμών και επαλήθευσης.

Γενικές πληροφορίες προϊόντος

Όροι επιχείρησης προϊόντος

Κύρια πεδία εφαρμογής

Βάρκα Veteksemicon Graphite για βασικά πλεονεκτήματα PECVD

1. Υποστρώματα υψηλής καθαρότητας, που ελέγχουν τη ρύπανση από την πηγή

Επιμένουμε στη χρήση ισοστατικά συμπιεσμένου γραφίτη υψηλής καθαρότητας με σταθερή καθαρότητα άνω του 99,995% ως βασικό υλικό για να διασφαλίσουμε ότι δεν θα καθιζάνει ακαθαρσίες μετάλλων ακόμη και σε περιβάλλον συνεχούς λειτουργίας 1600°C. Αυτή η αυστηρή απαίτηση υλικού μπορεί να αποφύγει άμεσα την υποβάθμιση της απόδοσης του πλακιδίου που προκαλείται από τη μόλυνση του φορέα, παρέχοντας την πιο θεμελιώδη εγγύηση για την εναπόθεση υψηλής ποιότητας μεμβρανών νιτριδίου του πυριτίου ή οξειδίου του πυριτίου.

2. Ακριβές θερμικό πεδίο και δομικός σχεδιασμός για την εξασφάλιση της ομοιομορφίας της διαδικασίας

Μέσω εκτεταμένων δεδομένων προσομοίωσης ρευστού και μετρήσεων διεργασίας, βελτιστοποιήσαμε τη γωνία σχισμής του σκάφους, το βάθος του αυλακιού καθοδήγησης και τη διαδρομή ροής αερίου. Αυτή η σχολαστική δομική θεώρηση επιτρέπει την ομοιόμορφη κατανομή των αντιδρώντων αερίων μεταξύ των πλακιδίων. Οι πραγματικές μετρήσεις δείχνουν ότι σε πλήρες φορτίο, η απόκλιση ομοιομορφίας του πάχους μεμβράνης μεταξύ των πλακών στην ίδια παρτίδα μπορεί να ελεγχθεί σταθερά εντός ±1,5%, βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση του προϊόντος.

3. Προσαρμοσμένες λύσεις επίστρωσης για την αντιμετώπιση συγκεκριμένης διάβρωσης διεργασιών

Για να ανταποκριθούμε στα διαφορετικά περιβάλλοντα αερίου διεργασίας διαφορετικών πελατών, προσφέρουμε δύο ώριμες επιλογές επίστρωσης: πυρολυτικό άνθρακα και καρβίδιο του πυριτίου. Εάν εναποθέτετε κυρίως νιτρίδιο του πυριτίου και χρησιμοποιείτε καθαρισμό υδρογόνου, η πυκνή επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα μπορεί να προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος υδρογόνου. Εάν η διαδικασία σας περιλαμβάνει αέρια καθαρισμού που περιέχουν φθόριο, τότε η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου υψηλής σκληρότητας είναι καλύτερη επιλογή. Μπορεί να επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του σκάφους από γραφίτη σε περιβάλλοντα με υψηλή διάβρωση σε περισσότερο από τρεις φορές εκείνη των συνηθισμένων μη επικαλυμμένων προϊόντων.

4. Εξαιρετική σταθερότητα θερμικού σοκ, προσαρμόσιμο σε συχνούς κύκλους θερμοκρασίας

Χάρη στη μοναδική μας φόρμουλα γραφίτη και τον εσωτερικό σχεδιασμό νευρώσεων ενίσχυσης, τα σκάφη μας από γραφίτη μπορούν να αντέξουν τους επαναλαμβανόμενους γρήγορους κραδασμούς ψύξης και θέρμανσης της διαδικασίας PECVD. Σε αυστηρές εργαστηριακές δοκιμές, μετά από 500 γρήγορους θερμικούς κύκλους από θερμοκρασία δωματίου έως 800°C, ο ρυθμός συγκράτησης της αντοχής στην κάμψη του σκάφους ξεπέρασε ακόμη το 90%, αποφεύγοντας αποτελεσματικά τη ρωγμή που προκαλείται από θερμική καταπόνηση και διασφαλίζοντας τη συνέχεια και την ασφάλεια της παραγωγής.

5. Έγκριση επαλήθευσης οικολογικής αλυσίδας

Το σκάφος Veteksemicon Graphite για την επαλήθευση της οικολογικής αλυσίδας PECVD καλύπτει τις πρώτες ύλες για την παραγωγή, έχει περάσει την πιστοποίηση διεθνών προτύπων και διαθέτει μια σειρά κατοχυρωμένων τεχνολογιών για να διασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά του στους τομείς των ημιαγωγών και των νέων ενεργειακών πόρων.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές βίβλους ή ρυθμίσεις δειγμάτων δοκιμών, επικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξης για να διερευνήσετε πώς το Veteksemicon μπορεί να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.