Γραφίτη τριών πετσετών Crucible

Vetek Semiconductor's Triedal Graphite Crucible που έχει σχεδιαστεί για τη διαδικασία ανάπτυξης του μονοκρυσταλλικού πυριτίου με μέθοδο CZ. Μέσα από την καινοτόμο δομή τριών πυγματικών, το παραδοσιακό ολοκληρωμένο χωνευτήριο μπορεί να επιλύσει αποτελεσματικά τις δυσκολίες αποσυναρμολόγησης, τη συγκέντρωση θερμικής τάσης και άλλα σημεία πόνου της βιομηχανίας και χρησιμοποιείται ευρέως σε φωτοβολταϊκές πλακές πυριτίου, πλακίδια ημιαγωγών και άλλα πεδία παραγωγής υψηλών επιπέδων.

Κύρια σημεία της διαδικασίας

1. Τεχνολογία επεξεργασίας γραφίτη Ultra-Precision

Καθαρότητα υλικού: Η χρήση του υπόστρωμα γραφίτη με ισοστατικό συμπιεσμένο με περιεκτικότητα σε τέφρα <5ppm εάν απαιτείται και γενικά ＜ 10ppm για να εξασφαλιστεί η μηδενική ρύπανση στη διαδικασία τήξης του πυριτίου

Δομική ενίσχυση: Μετά από να γραφειθεί στα 2200 ℃, η αντοχή κάμψης είναι ≥45mPa και ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι ≤4,6 × 10⁻⁶/℃

Επεξεργασία επιφανείας: Η επικάλυψη πυρολυτικού άνθρακα 10-15 μΜ εναποτίθεται με διαδικασία CVD για τη βελτίωση της αντοχής στην οξείδωση (απώλεια βάρους <1,5%/100h@1600℃).

2.

Modular Assembly: 120 ° Equipartition δομή τριών λοβών, εγκατάσταση και απόδοση αποσυναρμολόγησης αυξήθηκε κατά 300%

Σχεδιασμός απελευθέρωσης στρες: Η δομή χωρισμού διασκορπίζει αποτελεσματικά το στρες θερμικής επέκτασης και επεκτείνει τη διάρκεια ζωής σε περισσότερους από 200 κύκλους

Ακριβεία: Το χάσμα μεταξύ των βαλβίδων είναι <0,1mm και το κεραμικό συγκολλητικό υψηλής θερμοκρασίας εξασφαλίζει μηδενική διαρροή στη διαδικασία τήξης πυριτίου

3. Προσαρμοσμένες υπηρεσίες επεξεργασίας

Υποστήριξη φ16 "-φ40" πλήρους μεγέθους προσαρμογή, έλεγχος ανοχής πάχους τοιχώματος ± 0.5mm

Η δομή πυκνότητας κλίσης 1.83G/cm3 μπορεί να επιλεγεί για τη βελτιστοποίηση της διανομής θερμικού πεδίου

Παρέχετε διαδικασίες προστιθέμενης αξίας όπως η σύνθετη επίστρωση νιτριδίου βορίου και η ενίσχυση του μεταλλικού άκρου ρήνου

Τυπικό σενάριο εφαρμογής

Φωτοβολταϊκή βιομηχανία

Μονοκρυσταλλική ράβδος πυριτίου συνεχές σχέδιο: κατάλληλο για παραγωγή G12 μεγάλου μεγέθους πυριτίου, υποστήριξη ≥500kg χωρητικότητα φόρτωσης

Μπαταρία TopCon τύπου N: Η μετανάστευση εξαιρετικά χαμηλής ακαθαρσίας εγγυάται τη ζωή της μειονότητας> 2ms

Αναβάθμιση θερμικού πεδίου: Συμβατή με τα mainstream μοντέλα μονού κρυστάλλου (PVI, Ferrotec, κλπ.)

Κατασκευή ημιαγωγών

8-12 ιντσών ημιαγωγός βαθμού μονοκρυσταλλικού πυριτίου Ανάπτυξη: πληρούν τις ημι-τυποποιημένες απαιτήσεις κατηγορίας-10

ΕΙΔΙΚΟ Κρύσταλλοι: Ακριβής έλεγχος της ομοιομορφίας διανομής βορίου/φωσφόρου

Semiconductor τρίτης γενιάς: Συμβατή διαδικασία παρασκευής μονής κρυστάλλου SIC

Πεδίο επιστημονικής έρευνας

Έρευνα και ανάπτυξη εξαιρετικά λεπτών πλακών πυριτίου για διαστημικά ηλιακά κύτταρα

Δοκιμή ανάπτυξης νέων κρυστάλλων (γερμανίου, αρσενίδιο γαλλίου)

Περιορίστε την έρευνα παραμέτρων (3000 ℃ Πείραμα τήξης 3000 ℃ εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας)

Σύστημα διασφάλισης ποιότητας

ISO 9001/14001 Πιστοποίηση διπλού συστήματος

Παρέχετε αναφορά δοκιμής υλικού για τους πελάτες (ανάλυση σύνθεσης XRD, μικροδομή SEM)

Σύστημα ανιχνευσιμότητας ολόκληρης της διαδικασίας (αποθήκευση σήμανσης λέιζερ + αποθήκευση blockchain)