Δαχτυλίδι εστίασης για χάραξη

Τα μονοκρυσταλλικά δακτυλίους χάραξης πυριτίου είναι βασικά συστατικά στις διεργασίες χάραξης ημιαγωγών διατηρώντας τη σταθερότητα του περιβάλλοντος στο πλάσμα, την προστασία του εξοπλισμού και των πλακών, τη βελτιστοποίηση της αξιοποίησης των πόρων και την προσαρμογή στις προχωρημένες απαιτήσεις διεργασιών. Η απόδοσή του επηρεάζει άμεσα την απόδοση και το κόστος κατασκευής τσιπ.

Ο χαραγμένος δακτύλιος εστίασης, το ηλεκτρόδιο και κλπ (ελεγκτής θερμοκρασίας άκρων) είναι οι αναλώσιμοι πυρήνας για να εξασφαλιστεί η ομοιομορφία του πλάσματος, ο έλεγχος της θερμοκρασίας και η επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Αυτά τα εξαρτήματα συναρμολογούνται με ακρίβεια στο θάλαμο κενού της CVD, της χάραξης και του εξοπλισμού ταινιών και καθορίζουν άμεσα την ακρίβεια και την απόδοση της χάραξης από άκρη στο κέντρο του δίσκου.

Σε απάντηση της αυστηρής ζήτησης για ιδιότητες υλικών σε διαδικασίες παραγωγής υψηλής τεχνολογίας, το Veteksemi καινοτομεί χρησιμοποιώντας μονοκρυσταλλικό πυρίτιο υψηλής καθαρότητας με αντίσταση 10-20Ω · cm για την κατασκευή δακτυλίων εστίασης και την υποστήριξη των αναλώσιμων. Μέσω της συνεργατικής βελτιστοποίησης της επιστήμης των υλικών, του ηλεκτρικού σχεδιασμού και της θερμοδυναμικής, το Veteksemi είναι σε θέση να κατασκευάσει δακτυλίους εστίασης και να υποστηρίζει αναλώσιμα. Ξεπερνά τις παραδοσιακές λύσεις χαλαζία για να επιτευχθούν σημαντικές βελτιώσεις στη μακροζωία, την ακρίβεια και την αποτελεσματικότητα του κόστους.

Σύγκριση υλικού πυρήνα και βελτιστοποίηση της αντίστασης

Μονοκρυσταλλικό πυρίτιο Vs. Χαλαζίας

Core Product Advantage

1. Ακρίβεια διαδικασίας ατομικού επιπέδου

Η βελτιστοποίηση της αντίστασης + η στίλβωση εξαιρετικά προβλέψεων (RA <0,1μm) εξαλείφει τη μικροαποίθηση και τη μόλυνση των σωματιδίων για να ανταποκριθεί σε ημι-F47 πρότυπα.

Η διηλεκτρική απώλεια (TANΔ <0.001) ταιριάζει σε μεγάλο βαθμό στο διηλεκτρικό περιβάλλον του πλακιδίου, αποφεύγοντας την παραμόρφωση του ηλεκτρικού πεδίου και την υποστήριξη 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° κατακόρυφη χάραξη βαθιάς οπής.

2. Ευφυής συμβατότητα συστήματος

Ενσωματωμένη με μονάδα ελέγχου θερμοκρασίας κ.λπ., η ροή αέρα ψύξης ρυθμίζεται δυναμικά από τον θερμοστοιχείο και τον αλγόριθμο ΑΙ για να αντισταθμίσει τη θερμική μετατόπιση του θαλάμου.

Υποστήριξη προσαρμοσμένου δικτύου αντιστοίχισης RF, κατάλληλο για mainstream μηχανές όπως οι πηγές πλάσματος Amat Centura, Lam Research Kiyo και ICP/CCP.

3. Περιεκτική αποδοτικότητα κόστους

Η ζωή του μονοκρυσταλλικού πυριτίου είναι 275% μεγαλύτερη από αυτή του χαλαζία, ο κύκλος συντήρησης είναι περισσότερο από 3.000 ώρες και το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας (TCO) μειώνεται κατά 30%.

Υπηρεσία προσαρμογής κλίσης Αντίστασης (5-100Ω · CM), που ταιριάζει ακριβώς με το παράθυρο της διαδικασίας πελατών (όπως το Gan/SIC Wide Band Gap Material Gap).

Η επίδραση της αντίστασης

Εμπορικοί όροι προϊόντος

Ελάχιστη ποσότητα παραγγελίας	1 σετ
Τιμή	Επικοινωνία για προσαρμοσμένη προσφορά
Λεπτομέρειες συσκευασίας	Τυποποιημένο πακέτο εξαγωγής
Χρόνος παράδοσης	Χρόνος παράδοσης: 30-35 ημέρες μετά την επιβεβαίωση παραγγελίας
Όροι πληρωμής	T/t
Ικανότητα προμήθειας	600 σύνολα/μήνα