Υποστηρικτής της EPI

Ο Vetek Semiconductor είναι επαγγελματίας ηγέτης της China EPI που έχει αναλάβει, τον κατασκευαστή υποστήριξης γραφίτη ALD Planetary Tugor και TAC. και Η υποστήριξή μας στο EPI αποτελεί σημαντικό στοιχείο τουεπιταξιακή ανάπτυξηΣτη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Η κύρια λειτουργία του είναι να υποστηρίξει και να θερμαίνει το δίσκο έτσι ώστε ένα επιταξιακό στρώμα υψηλής ποιότητας να μπορεί να αναπτυχθεί ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου.

Οι Epi Sensceptors του Vetek Semiconductors είναι συνήθως κατασκευασμένοι από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλύπτονται με στρώμα καρβιδίου πυριτίου (SIC).Αυτός ο σχεδιασμός έχει τα ακόλουθα βασικά πλεονεκτήματα:

● Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας: Ο αισθητήρας EPI μπορεί να παραμείνει σταθερός σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας την ομοιόμορφη ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος.

● Αντίσταση διάβρωσης: Η επικάλυψη SIC έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση των χημικών αερίων, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του δίσκου.

● Θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του υλικού SIC εξασφαλίζει την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας του δίσκου κατά τη διάρκεια της θέρμανσης, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του επιταξιακού στρώματος.

● Αντιστοίχιση συντελεστή θερμικής διαστολής: Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του SIC είναι παρόμοιος με αυτόν του γραφίτη, αποφεύγοντας το πρόβλημα της απόρριψης επικάλυψης λόγω θερμικής επέκτασης και συστολής.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΕπικάλυψη CVD SIC:

Κατάστημα παραγωγής CVD SIC Coating:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας Chip Epitaxy Semiconductor: