Τεχνολογία & λύσεις

Η επιλογή του σωστού CVD SiC, επικάλυψης TaC ή Στερεού SiC καθορίζει άμεσα τα επίπεδα σωματιδίων και τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων στις γραμμές επιταξίας/χαρακτικής. Αυτό το άρθρο παρέχει σαφή όρια επιλογής ανά θερμοκρασία, ατμόσφαιρα και διαδικασία, σε συνδυασμό με σημαντικές λύσεις αντικατάστασης εξοπλισμού και βασικές μετρήσεις, για να σας βοηθήσει να λάβετε γρήγορες αποφάσεις και να μειώσετε τον κίνδυνο.

Ανακαλύψτε πώς η τεχνολογία λέιζερ με καθοδήγηση νερού της VeTek παρέχει ομοιόμορφες διαμπερείς οπές Φ0,15 mm σε υποστρώματα SiC 2 mm χωρίς κωνικότητα, ελάχιστο HAZ και υψηλή απόδοση για εφαρμογές ημιαγωγών.

Το πιο δύσκολο τεχνικό ζήτημα για τους πείρους κοίλου ανύψωσης εξοπλισμού ημιαγωγών δεν είναι η επίστρωση της εξωτερικής επιφάνειας, αλλά η επίτευξη σταθερής και ομοιόμορφης επίστρωσης CVD στο εσωτερικό τοίχωμα της κοίλης κατασκευής. Από τον έλεγχο της ομοιομορφίας της επίστρωσης εσωτερικού τοίχου έως τη διασφάλιση καθαρότητας της εσωτερικής οπής, κάθε βήμα της διαδικασίας επηρεάζει άμεσα την απόδοση της γκοφρέτας. Αυτό το άρθρο αναλύει τις βασικές προκλήσεις της επίστρωσης εσωτερικού τοιχώματος με πείρο κοίλου ανύψωσης και τις βασικές τεχνικές διαδρομές.