Κεραμικό Ηλεκτροστατικό Τσοκ Νιτριδίου Αλουμινίου (AlN).

1.Φόντα

• Κεραμικό AlN υψηλής καθαρότητας με θερμική αγωγιμότητα έως ~180 W/m·K για αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας και ομοιομορφία θερμοκρασίας

• Ισχυρή ηλεκτρική μόνωση και αντίσταση υψηλού όγκου που υποστηρίζει σταθερή σύσφιξη στα 1–3 kV (διαθέσιμες υψηλότερες τάσεις)

• Προσαρμοσμένα υλικά διηλεκτρικής στρώσης και διατάξεις ηλεκτροδίων: Coulomb ή Johnsen–Rahbek (JR). μονοζωνική ή πολυζωνική

• Γρήγορη απόδοση σφιγκτήρα και αποσφιγκτήρα, συνήθως κάτω από 0,1 δευτερόλεπτο

• Μικροδομές επιφανειακών λακκών σε διάμετρο ~300 μm, μειώνοντας την επιφάνεια επαφής έως και ~1%

• Ικανότητα υψηλής επιπεδότητας. τυπική συνολική επιπεδότητα της τάξης των 0,5–3 μm PV για πλατφόρμες κατηγορίας 300 mm

• Πυκνή μικροδομή με σχεδόν μηδενική απορρόφηση νερού και καλή χημική αντοχή για περιβάλλοντα διεργασιών

2.Τυπικές Εφαρμογές

Τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ νιτριδίου αλουμινίου χρησιμοποιούνται σε στάδια διεργασίας που απαιτούν ασφαλή συγκράτηση γκοφρέτας και ελεγχόμενη θερμική συμπεριφορά:

• Etch ξηρού πλάσματος (ICP / RIE) και σχετικές διεργασίες θαλάμου

• CVD, PEALD, θερμική ALD και άλλα στάδια εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης

• Μονάδες ανόπτησης και θερμικής διεργασίας που απαιτούν ομοιόμορφη θερμοκρασία πλακιδίων

• Στάδια επιθεώρησης, μετρολογίας και ακριβείας όπου η σύσφιξη χαμηλών σωματιδίων και η σταθερή σύσφιξη είναι κρίσιμα

3.Διαβαθμίσεις υλικού AlN – Τυπικές ιδιότητες

Η VeTek προσφέρει πολλαπλές ποιότητες νιτριδίου αλουμινίου για να εξισορροπήσει τη θερμική αγωγιμότητα, τη μηχανική αντοχή και το κόστος για σχέδια ESC:

Μονάδες: Θερμική αγωγιμότητα σε W/(m·K); διηλεκτρική ισχύς σε kV/mm. αντίσταση όγκου σε Ω·cm (25 °C). διηλεκτρική σταθερά στο 1 MHz. Οι τιμές είναι τυπικές και μπορεί να διαφέρουν ανάλογα με τη γεωμετρία της διαδικασίας και του μέρους.

4.Τυπικές παράμετροι σχεδίασης ESC

5.Γιατί Choose VeTek AlN Ηλεκτροστατικά Τσοκ;

Το VeTek Semiconductor ενσωματώνει προηγμένα κεραμικά AlN με κατασκευή ESC ακριβείας για πελάτες ημιαγωγών που χρειάζονται τόσο θερμική απόδοση όσο και αξιόπιστη σύσφιξη:

• Πολλαπλές ποιότητες AlN με θερμική αγωγιμότητα από ~90 έως ~180 W/m·K για να ταιριάζει με τους θερμικούς προϋπολογισμούς διεργασιών

• Εύκαμπτο ηλεκτρόδιο και διηλεκτρικός σχεδιασμός για συμπεριφορά σύσφιξης Coulomb ή JR

• Αυστηρός έλεγχος της επιπεδότητας, της μικροδομής της επιφάνειας και της απόδοσης ηλεκτρικής μόνωσης

• Πλήρης υποστήριξη κύκλου ζωής: σχεδιασμός, νέα κατασκευή και ανακαίνιση πολλαπλών επιπέδων

Για εργαλεία χάραξης, εναπόθεσης και θερμικών εργαλείων που εξαρτώνται από την ομοιόμορφη θερμοκρασία του πλακιδίου και την καθαρή, επαναλαμβανόμενη σύσφιξη, τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ νιτριδίου αλουμινίου VeTek παρέχουν μια κεραμική πλατφόρμα υψηλής απόδοσης που υποστηρίζεται από τεχνική υποστήριξη που εστιάζει στην εφαρμογή.