Υποδοχέας γραφίτη με επίστρωση SiC για ASM

Γενικές πληροφορίες προϊόντος

Όροι επιχείρησης προϊόντος

✔ Εφαρμογή: Το υπόστρωμα γραφίτη με επικάλυψη SiC Veteksemicon είναι βασικό αναλώσιμο για τον επιταξιακό εξοπλισμό της σειράς ASM. Υποστηρίζει άμεσα τη γκοφρέτα και παρέχει ένα ομοιόμορφο και σταθερό θερμικό πεδίο κατά τη διάρκεια της επιταξίας σε υψηλή θερμοκρασία, καθιστώντας το βασικό συστατικό για τη διασφάλιση της υψηλής ποιότητας ανάπτυξης προηγμένων υλικών ημιαγωγών όπως το GaN και το SiC.

✔ Υπηρεσίες που μπορούν να παρέχονται: ανάλυση σεναρίου εφαρμογής πελατών, αντιστοίχιση υλικών, επίλυση τεχνικών προβλημάτων. 

✔ Εταιρικό προφίλ：Το Veteksemicon διαθέτει 2 εργαστήρια, μια ομάδα ειδικών με 20ετή εμπειρία υλικών, με δυνατότητες Ε&Α και παραγωγής, δοκιμών και επαλήθευσης.

Τεχνικές Παράμετροι

Δοχείο γραφίτη με επίστρωση Veteksemicon SiC για βασικά πλεονεκτήματα ASM

1. Εξαιρετική καθαρότητα και χαμηλό ποσοστό ελαττωμάτων

Χρησιμοποιώντας ειδικό υπόστρωμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας, ποιότητας λεπτών σωματιδίων, σε συνδυασμό με την αυστηρά ελεγχόμενη διαδικασία επίστρωσης με εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), διασφαλίζουμε ότι η επίστρωση είναι πυκνή, χωρίς τρύπες και ακαθαρσίες. Αυτό μειώνει σημαντικά τον κίνδυνο μόλυνσης από σωματίδια κατά τη διάρκεια της επιταξιακής διαδικασίας, παρέχοντας ένα καθαρό περιβάλλον υποστρώματος για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας.

2. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και αντοχή στη φθορά

Η επίστρωση πυρολυτικού καρβιδίου του πυριτίου έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και χημική αδράνεια, αντιστέκεται αποτελεσματικά στη διάβρωση πηγών πυριτίου (όπως SiH4, SiHCl3), πηγών άνθρακα (όπως C3H8) και αερίων χάραξης (όπως HCl, H2) σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτό επεκτείνει σημαντικά τον κύκλο συντήρησης της βάσης και μειώνει το χρόνο διακοπής λειτουργίας του μηχανήματος που προκαλείται από την αντικατάσταση εξαρτημάτων.

3. Άριστη θερμική ομοιομορφία και σταθερότητα

Βελτιστοποιήσαμε την κατανομή του θερμικού πεδίου εντός του εύρους θερμοκρασιών λειτουργίας μέσω ακριβούς σχεδιασμού δομής υποστρώματος και ελέγχου πάχους επίστρωσης. Αυτό μεταφράζεται άμεσα σε εξαιρετικό πάχος και ομοιομορφία ειδικής αντίστασης στην επιταξιακή γκοφρέτα, συμβάλλοντας στη βελτιωμένη απόδοση κατασκευής τσιπ.

4. Εξαιρετική αντοχή πρόσφυσης επίστρωσης

Η μοναδική τεχνολογία προεπεξεργασίας επιφανειών και βαθμίδωσης επίστρωσης επιτρέπουν στην επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου να σχηματίσει μια ισχυρή στρώση συγκόλλησης με το υπόστρωμα γραφίτη, αποτρέποντας αποτελεσματικά προβλήματα αποφλοίωσης, απολέπισης ή ρωγμών της επίστρωσης που μπορεί να προκύψουν κατά τη διάρκεια μακροχρόνιου θερμικού κύκλου.

5. Ακριβές μέγεθος και δομική αναπαραγωγή

Διαθέτουμε ώριμες δυνατότητες κατεργασίας και δοκιμών CNC, που μας επιτρέπουν να αναπαράγουμε πλήρως τη σύνθετη γεωμετρία, τις διαστάσεις της κοιλότητας και τις διεπαφές τοποθέτησης της αρχικής βάσης, εξασφαλίζοντας τέλεια αντιστοίχιση και λειτουργικότητα plug-and-play με την πλατφόρμα του πελάτη.

6. Έγκριση επαλήθευσης οικολογικής αλυσίδας

Ο επικαλυμμένος γραφίτης Veteksemicon SiC για την επαλήθευση οικολογικής αλυσίδας της ASM καλύπτει τις πρώτες ύλες για την παραγωγή, έχει περάσει την πιστοποίηση διεθνών προτύπων και διαθέτει μια σειρά κατοχυρωμένων με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες για να διασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά του στους τομείς των ημιαγωγών και της νέας ενέργειας.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές βίβλους ή ρυθμίσεις δειγμάτων δοκιμών, επικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξης για να διερευνήσετε πώς το Veteksemicon μπορεί να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.

Κύρια πεδία εφαρμογής

Κατάστημα προϊόντων Ο αντίπαλός μου