Δαχτυλίδι οδηγού πορώδους γραφίτη

Βασικά Πλεονεκτήματα Προϊόντος

1. Εγγύηση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και χαμηλού ελαττώματος

Υιοθετεί μια διαδικασία καθαρισμού σε κενό υψηλής θερμοκρασίας 3000℃ για την βαθιά αφαίρεση των μη μεταλλικών ακαθαρσιών όπως το οξυγόνο και το άζωτο, αυξάνοντας την καθαρότητα του προϊόντος σε ≥99,9995%. Εξαλείφει κρυσταλλικά ελαττώματα που προκαλούνται από ακαθαρσίες (π.χ. μικροσωληνίσκους, εξαρθρήματα) από την πηγή, διασφαλίζοντας τη συνέπεια και σταθερότητα των ηλεκτρικών ιδιοτήτων των μονοκρυστάλλων SiC και θέτοντας μια σταθερή βάση για ανάπτυξη κρυστάλλων υψηλής ποιότητας.

2. Σταθερότητα εξαιρετικά υψηλών θερμοκρασιών & ακριβής ρύθμιση θερμικού πεδίου

Μπορεί να αντέξει ακραίες υψηλές θερμοκρασίες 2200℃ σε περιβάλλον αργού ή κενού, λειτουργώντας συνεχώς και σταθερά για περισσότερες από 1000 ώρες χωρίς μαλάκωμα ή παραμόρφωση. Το προϊόν έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, ο οποίος μπορεί να αποφύγει αποτελεσματικά τη ρωγμή του υλικού που προκαλείται από τη θερμική καταπόνηση. Υποστηρίζει σχεδιασμό κατανομής κλίσης πορώδους (15-30%) και βελτιστοποιεί το μέγεθος πόρων (10-200μm) σε συνδυασμό με την τεχνολογία προσομοίωσης CFD (Computational Fluid Dynamics), ελέγχοντας τη διακύμανση της κλίσης θερμοκρασίας εντός ±3℃ και βελτιώνοντας σημαντικά την ομοιομορφία του θερμικού πεδίου και τη συνέπεια της ανάπτυξης κρυστάλλων.

3. Προσαρμοσμένη προσαρμογή & ικανοποίηση πλήρους σεναρίου

• Προσαρμογή γεωμετρικού σχήματος: Μπορεί να επεξεργαστεί με ακρίβεια πολύπλοκα σχήματα, όπως δακτυλιοειδείς κάννες και πολυστρωματικές δομές θωράκισης σύμφωνα με τις δομές κλιβάνου των πελατών για να επιτύχει τέλεια ταύτιση και εγκατάσταση.
• Προσαρμογή διαδικασίας επιφάνειας: Παρέχει εξατομικευμένες υπηρεσίες επεξεργασίας επιφανειών, όπως γυάλισμα εξαιρετικά ακριβείας και ειδικές επιστρώσεις, ενισχύοντας σημαντικά την αντοχή στη διάβρωση και τη διάρκεια ζωής του προϊόντος.

4. Απόδοση-Επαληθευμένη & Αναβαθμισμένη Αποδοτικότητα

• Όταν χρησιμοποιείται ως συστατικό πυρήνα θερμικού πεδίου στη διαδικασία κρυστάλλωσης PVT SiC, έχει επαληθευτεί σε πρακτικά σενάρια:
• Ο ρυθμός ανάπτυξης των κρυστάλλων αυξάνεται κατά 15%-20% σε σύγκριση με τα παραδοσιακά προϊόντα γραφίτη, συντομεύοντας σημαντικά τον κύκλο παραγωγής.
• Η απόδοση των μονοκρυσταλλικών γκοφρετών SiC 4 ιντσών υπερβαίνει το 90%, μειώνοντας αποτελεσματικά το κόστος παραγωγής.
• Ο κύκλος συντήρησης του εξοπλισμού επεκτείνεται από τους συμβατικούς 3 μήνες σε 6 μήνες, μειώνοντας τη συχνότητα συντήρησης τερματισμού λειτουργίας και βελτιώνοντας την απόδοση παραγωγής.
  
  

Σενάρια εφαρμογής

• Συγκρότημα κλιβάνου ανάπτυξης PVT: Χρησιμεύει ως το βασικό συστατικό για την εξάχνωση του υλικού SiC και την ανάπτυξη κρυστάλλων, παρέχοντας σταθερή και ομοιόμορφη κατανομή θερμικού πεδίου για να διασφαλιστεί η ομαλή πρόοδος της διαδικασίας κρυστάλλωσης.
• Συστατικό θωράκισης θερμικού πεδίου: Η μοναδική πορώδης δομή μπορεί να ρυθμίσει αποτελεσματικά τη θερμική καταπόνηση, να μειώσει τη φθορά του εξοπλισμού και να παρατείνει τη συνολική διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.
• Αξεσουάρ Seed Crystal Support: Διαθέτει υψηλή μηχανική αντοχή για να υποστηρίζει σταθερά τους κρυστάλλους των σπόρων, διασφαλίζοντας την ακρίβεια της κατευθυντικής ανάπτυξης των κρυστάλλων.
• Στρώμα διάχυσης αερίου: Βελτιστοποιεί την απόδοση μεταφοράς αέριας φάσης, προάγει την ομοιόμορφη εξάχνωση και εναπόθεση πρώτων υλών και βελτιώνει περαιτέρω την ποιότητα και τον ρυθμό ανάπτυξης μονοκρυστάλλων.

Τεχνικές Παράμετροι

Βασικά Ανταγωνιστικά Στιγμιότυπα

• Εξαιρετική απόδοση υψηλής θερμοκρασίας: Διατηρεί τη δομική σταθερότητα στους 2200℃ χωρίς μαλάκωμα ή παραμόρφωση, υποστηρίζοντας τη συνεχή λειτουργία για περισσότερες από 1000 ώρες για να καλύψει τις ακραίες απαιτήσεις διαδικασίας.
• Προσαρμοσμένη Λύση Θερμικού Πεδίου: Βασίζεται στην τεχνολογία προσομοίωσης CFD για τη βελτιστοποίηση του σχεδιασμού κλίσης πόρων, ταιριάζοντας με ακρίβεια τις ανάγκες διαδικασίας των πελατών και βελτιώνοντας την ομοιομορφία των κρυστάλλων και την απόδοση του προϊόντος.
• Υπηρεσία ταχείας απόκρισης: Παρέχει υπηρεσίες δοκιμής αντιστοίχισης παραμέτρων διαδικασίας και παρέχει πρωτότυπες λύσεις εντός 72 ωρών, βοηθώντας τους πελάτες να επιταχύνουν τις διαδικασίες Ε&Α και παραγωγής.