Νέα της βιομηχανίας

Σε διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, ο χειρισμός, η στήριξη και η θερμική επεξεργασία των γκοφρετών βασίζονται σε ένα ειδικό υποστηρικτικό εξάρτημα - το σκάφος γκοφρέτας. Καθώς οι θερμοκρασίες της διεργασίας αυξάνονται και οι απαιτήσεις καθαριότητας και ελέγχου σωματιδίων αυξάνονται, τα παραδοσιακά σκάφη γκοφρέτας χαλαζία αποκαλύπτουν σταδιακά ζητήματα όπως η μικρή διάρκεια ζωής, οι υψηλοί ρυθμοί παραμόρφωσης και η κακή αντοχή στη διάβρωση.

Για την παραγωγή βιομηχανικής κλίμακας υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου, η επιτυχία μιας και μόνο σειράς ανάπτυξης δεν είναι ο τελικός στόχος. Η πραγματική πρόκληση έγκειται στη διασφάλιση ότι οι κρύσταλλοι που αναπτύσσονται σε διαφορετικές παρτίδες, εργαλεία και χρονικές περιόδους διατηρούν υψηλό επίπεδο συνέπειας και επαναληψιμότητας στην ποιότητα. Σε αυτό το πλαίσιο, ο ρόλος της επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου (TaC) υπερβαίνει τη βασική προστασία - γίνεται βασικός παράγοντας για τη σταθεροποίηση του παραθύρου της διαδικασίας και τη διασφάλιση της απόδοσης του προϊόντος.

Η ανάπτυξη PVT καρβιδίου του πυριτίου (SiC) περιλαμβάνει σοβαρό θερμικό κύκλο (θερμοκρασία δωματίου πάνω από 2200 ℃). Η τεράστια θερμική τάση που δημιουργείται μεταξύ της επικάλυψης και του υποστρώματος γραφίτη λόγω της αναντιστοιχίας των συντελεστών θερμικής διαστολής (CTE) είναι η βασική πρόκληση που καθορίζει τη διάρκεια ζωής της επίστρωσης και την αξιοπιστία της εφαρμογής.