CVD επικαλυμμένο με καρβίδιο τανταλίου (TaC) Susceptor

Βασικά Χαρακτηριστικά

Εφαρμογές

Οι τυπικές εφαρμογές περιλαμβάνουν:

• Επιταξιακή ανάπτυξη SiC

• GaN MOCVD Epitaxy

• AlN Epitaxial Growth

• Κατασκευή Ημιαγωγών Τρίτης Γενιάς

• Ηλεκτρονικά υψηλής ισχύος

• Συσκευές RF

• Παραγωγή MicroLED

• Συστήματα Έρευνας και Πιλοτικής Παραγωγής

Συμβατός Εξοπλισμός

Οι συμβατές πλατφόρμες περιλαμβάνουν:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Προσαρμοσμένοι αντιδραστήρες CVD & MOCVD

Επίσης διαθέσιμο:

• Γκοφρέτες

• Πλανητικούς Υποδοχείς

• βαρέλια υποδοχείς

• Δίσκοι περιστροφής

• Μέρη ημισελήνου

• Πλάκες κάλυψης

• Συναρμολογήσεις γραφίτη

• Εξαρτήματα προσαρμοσμένου θερμικού πεδίου

Τεχνικές Προδιαγραφές

Συχνές Ερωτήσεις

1. Τι είναι ένας επικαλυμμένος με CVD TaC Susceptor;

Ένα συστατικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας που προστατεύεται από μια πυκνή επίστρωση CVD TaC που χρησιμοποιείται ως φορέας γκοφρέτας κατά την επιταξιακή ανάπτυξη.

2. Γιατί να χρησιμοποιήσετε TaC coating αντί για επίστρωση SiC;

Το TaC προσφέρει υψηλότερη αντοχή στη θερμοκρασία, ανώτερη χημική σταθερότητα και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής.

3.Ποιες διεργασίες ημιαγωγών χρησιμοποιούν TaC-cβρώμης υποδοχείς;

Επιταξία SiC, GaN MOCVD, επίταση AlN και άλλες διαδικασίες ανάπτυξης κρυστάλλων σε υψηλή θερμοκρασία.

4. Μπορεί η VETEK να κατασκευάσει προσαρμοσμένους υποδοχείς;

Ναί. Παρέχουμε προσαρμοσμένα σχέδια με βάση τα σχέδια των πελατών και τις απαιτήσεις της διαδικασίας.

5. Ποιες μάρκες αντιδραστήρων υποστηρίζονται;

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare και άλλα κύρια συστήματα.